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ブルックス エキスパートサポートツール(BEST)

概要

ブルックスエクスパートサポートツール(BEST)は、SLA58XXおよびSLAMfXXシリーズ専用の、高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラを制御するWindowsベースのアプリケーションソフトウェアです。このツールを使用すれば、セットアップ、設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション(別途ライセンスキーが必要)を含む機能を利用することができます。デバイスの上部にある診断ポートとお使いのコンピュータを、専用ケーブルで接続してアクセスします。

対応する製品は下記の表をご確認ください。

製品モデルコード
製品分類
Description
SLA**5* MFC Thermal Mass Flow Controller (マスフローコントローラ)
SLA**6* MFM
Thermal Mass Flow Meter (マスフローメータ)
SLA**1* PC Pressure Controller Downstream (下流側圧力制御用プレッシャコントローラ) 
SLA**2* PC Pressure Controller Upstream (上流側圧力制御用プレッシャコントローラ)
SLA**4* MFC-RT Thermal Mass Flow Controller with Remote Transducer (RT) Input (リモートトランスデューサ入力機能付きマスフローコントローラ)


このソフトウェアにアクセスするには、
Windows 732ビットまたは64ビット)、Windows 832ビットまたは64ビット)、Windows 1032ビットまたは64ビット)が必要です。お使いのコンピュータがシステム要件を満たす場合、ソフトウェアをダウンロードし、インストールウィザードの指示に従ってください。


注記:このソフトウェアには、USBセキュリティキーは必要ありません

不明な点がある場合は、テクニカルサービスまたはお近くのブルックスインスツルメント担当者までお問い合わせください。

カタログ/資料

Filename File Type Documents By Language
Data Sheet pdf English
Quick Start Guide pdf English
Installation and Operation Manual pdf English
Installation and Operation Manual - SLA RevA, Quantim pdf English
License Agreement pdf English

ブルックスエキスパートサポートツール(BEST) V5.12.0.0

このソフトウェアにアクセスするには、Windows 7(32ビットまたは64ビット)、Windows 8(32ビットまたは64ビット)、Windows 10(32ビットまたは64ビット)、Windows XP(32ビットまたは64ビット)が必要です。

  • GF1xxおよびGP200 MFCの設定変更に対応

ブルックスエキスパートサポートツール(BEST) V5.10.0.0

このソフトウェアにアクセスするには、Windows 7(32ビットまたは64ビット)、Windows 8(32ビットまたは64ビット)、Windows 10(32ビットまたは64ビット)、Windows XP(32ビットまたは64ビット)が必要です。

GF1XXおよびGP200シリーズをサポートするようになりました。