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マスフローコントローラーサービス

legacy-mfc

CELERITY、UNIT、MYKROLISなどを含むレガシーマスフローコントローラーブランドのサポート

ブルックスインスツルメントは、マスフローコントローラーとメーターの保守または交換をご提供しております。 Celerity、UNIT、Milliporeなどの従来のMFCブランドで工場認定の校正とサービスをご提供致します。 もしくは、同等の高性能Brooks Instrumentデバイスにアップグレードすることができます。 これらのデバイスは、Brooks Instrument MFC製品の幅広い製品の一部としてサポートされています。

factory-certified

マスフローコントローラ 修理/置換ご依頼

お手持ちのMFC(マスフローコントローラ)の調子はいかがですか。 修理が必要なのに依頼先がわからない、お問い合わせ先がわからない。 などお困りではありませんか。

【対応可能メーカー名】

Tylan General, Mykrolis, Entegris, UNIT, Kinetics, Celerity

【対応可能シリーズ名】

FCシリーズ, TNシリーズ, IntelliFlow, 3XPシリーズ, UFCシリーズ, IFCシリーズ, GFシリーズ

【対応可能型式】

IFC125, IN3XP, 856X, 816X, 166X, IFII, 826X, 29XXM

上記メーカー・シリーズ・型式の修理は、是非弊社にご依頼ください! ブルックスインスツルメントでは、2018年6月まではサポートを継続。国内、韓国での2拠点での修理体制により、お預かり後、約2週間から6週間での対応が可能になりました。※1 また、GFシリーズは全世界で多数の置換実績があり、プロセス改善に貢献しております。 ※1 但し、機種、修理内容により納期がかかる場合がございます。

修理/オーバーホール ご依頼手順

  1. ページ下のご依頼フォームより、お申込み・お問い合わせください。
  2. STEP1(WEBお申込み)後、「汚染除去証明書」「チェックシート(修理依頼書)」をプリントアウトの上、ご記入ください。
    「汚染除去証明書」、「MFC修理依頼書」はWEBお申込み後、お送りするメールからダウンロード頂けます。
  3. 修理品と「汚染除去証明書」「チェックシート(修理依頼書)」を発送ください。
    発送先:〒136-0073 東京都江東区北砂1-4-4
    ITWジャパン株式会社 カスタマーサービス部 宛
    TEL:03-5633-7104
  4. 受入・検査(Brooks
  5. お見積書をお送りいたします(Brooks)
  6. ご発注
  7. 修理(Brooks)
    修理対応期間の目安:ご発注後、約2週間から4週間程度
    (但し、機種・修理内容により納期がかかる場合がございます。)
  8. 発送(Brooks)
replace-upgrade

GFシリーズ又はSLAシリーズへのアップグレード

  

事実上、全ての実績のあるレガシー製品について互換品をご提供することにより、既存のプロセスの向上を実現。2009年には、Celerity、Millipore、Mykrolis、Tylan、Tylan General、UNIT Instrumentsの各デバイスを製品群に追加し、世界をリードするサーマルマスフロー製品サプライヤーになりました。

Brooks Instrumentは、既存のシステムを置き換える為のGFまたはSLAシリーズ製品を特定し、適切なソリューションを選択するためのテクニカルサポートを提供しています。

アップグレードに関しましてサポートが必要な場合は、弊社までお問い合わせください。弊社アプリケーションエンジニア、及び担当セールスが対応致します。

Celerity, Mykrolis, Millipore, Tylan, Tylan General, UNIT Instruments
Model Mass Flow Controller  Mass Flow Meter Brooks Instrument
互換機
  Metal Sealed Elastomer Sealed Elastomer Sealed
180C   X   4850, GF40, 5850E
      X 4860, GF40 or 5860E
7300   X   SLA5850 or 5850E or GF40
      X SLA5860 or GF40
7301   X   SLA5850 or 5850E or GF40
      X SLA5860 or GF40
7301C   X   SLA5850 or 5850E or GF40
7304   X   SLA5850 or GF40
7304C   X   SLA5850 or GF40
8100   X   SLA5850 or 5850E or GF40
      X SLA5860 or GF40
8101   X   SLA5850 or 5850E or GF40
      X SLA5860 or GF40
8101C   X   SLA5850 or 5850E or GF40
8105   X   SLA5850 or GF40
8105C   X   SLA5850 or GF40
C1660 X     GF100
C1661 X     GF100
C1665 X     GF100
C7361 X     GF100
C8160 X     GF120
C8161 X     GF120
C8165 X     GF120
C8261 X     GF120
C8561 X     GF120
C8565 X     GF120
FC260   X   4850, GF40, 5850E or 5850TR
FC261   X   4850, GF40, 5850E or 5850TR
FC262   X   SLA5851 or 5851E (<=100 slpm)
FC280   X   SLA5853 or 5853E (>=100 slpm)
FC280SA   X   GF40, 5850E OR SLA5850
FC2900/FC2910 Series   X   GF40, 5850E OR SLA5850
FC2900M X     GF100
FC2920/FC2921 Series   X   SLA5851 or 5851E (<=100 slpm)
FC2960M X     GF100
FC2979M X     GF100
FM360     X 4860, GF40, 5860E or 5850TR
FM361     X 4860, GF40, 5860E or 5850TR
FM362     X SLA5861 or 5861E (<=100 slpm)
FM380     X 5860E, GF40 or SLA5860
FM380SA     X 5860E, GF40 or SLA5860
FM3900     X 5860E, GF40 or SLA5860
FM3910     X 5860E, GF40 or SLA5860
FM3920     X 5861E or SLA5861 (<=100 slpm)
FM3921     X 5863E or SLA5863 (>=100 slpm)
IFC125C X     GF125
IntelliFlow II (IN2) X     GF120
IntelliFlow 3XP/GF50 (IN3XP) X     GF125
IntelliFlow 3XP High Flow Rate X     GF126
TN2900M Series X     GF120
UNIT 3100 X     GF121
UNIT 3161 X     GF121
UNIT 3165 X     GF121


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