高清浄および超高清浄プレッシャーコントローラ

課題：ツールの効果を強化するため、圧力制御を向上

プロセスガス流量を測定し、制御するシステムは、同時かつ精密に圧力を測定・制御することにより、沈着を抑え、プロセス性能を向上することができます。ほとんどの製造工場では、一元管理されたバルクガス源と蒸気キャビネットを設置し、さまざまなツールに供給しています。MFCの入口側と出口側の圧力が変動するのは避けられないため、リアルタイムな圧力管理がなければ、ツールの効率性とウェハーの品質（収率）を改善することはできません。

解決策：PC100シリーズ超高清浄デジタルプレッシャーコントローラ

実績あるブルックスGF 100マスフローコントローラテクノロジーを基に作られたPC100シリーズは、高清浄オールメタル流路、高性能なセンサテクノロジー、先進的な診断機能を備えており、デバイス評価やトラブルシューティングを容易に実行できます。

PC100シリーズは、ブルックス独自の耐腐食ハステロイ® 製C-22センサを備え、低セットポイントでの高い精度を実現し、高温での測定の繰り返し性を向上するとともに、長期安定性を提供します。高速応答時間とセトリングタイムを実現し、ブルックスインスツルメントの半導体用プレッシャーコントローラを導入する装置製造業者やエンドユーザーは、ダウンタイムを低減し、生産性を向上する可能性があります。