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製品 圧力 / 真空製品 電子式プレッシャートランスデューサ/トランスミッタ SolidSense II ® シリーズ
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SolidSense II ® プレッシャートランスデューサ

正確で安定した超高清浄制御により、プロセスの精密性を最大限に向上
モデル GF / GI / GP / GR / GS

さまざまな業界における超高清浄度の特殊ガスアプリケーションで圧力を測定する場合、優れた安定性と精度を維持するプレッシャートランスデューサが求められます。ブルックスインスツルメントのSolidSense II® プレッシャートランスデューサは、溶接を使わない耐腐食性材質を採用し、優れたゼロ安定性と0.25%フルスケール以内の高精度を実現します。

ゼロドリフト、スパンドリフト、熱変性、筐体ストレスなどの問題は競合トランスデューサでは起こりがちで、メンテナンスやダウンタイムにつながります。ブルックスでは、これらのトラブルを防ぎます。SolidSense II® 機器は、頑丈でメンテナンスしやすい設計で、総所有コストを低減します。

お問合せ先

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電話：03-5633-7100

SolidSense II® シリーズ データシート

特長

  • 材質：高温焼なましVIM-VAR 316Lステンレスのボディフレーム、一体型機械加工センサ搭載
  • 異種材質を使用し、溶接や継手のない設計
  • 圧力レンジ：30～3000 psiフルスケール
  • ディスプレイ、またはフル機能搭載のプログラム可能ディスプレイを内蔵したモデルも用意しています。
  • 多点温度補償法を使用したデジタル熱補償
  • ゼロドリフトを低減する独自のマイクロ加工による半導体ひずみゲージ
  • 残留ガスを完全に排除する掃引流路
  • 出力：4～20 mA、0～10 Vdc、0.05～5.05 Vdc

メリット

  • なめらかな表面仕上げと耐腐食材質により、汚染の混入しない測定が可能 - 半導体や工業アプリケーションに最適
  • 水素脆化に対する耐性が高く、長期使用が可能
  • 可変温度下でも、長期安定した繰り返し性の高いセンサ性能により、信頼性の高いパフォーマンスを実現
  • 卓越した安定性で高精度を維持
  • 初期ゼロ調整がなく、キャリブレーションの時間を削減
  • 精密加工された2種類のひずみゲージセンサで優れた性能を実現
  • ガラスの溶解接着を使用したセンサ取り付けにより、ストレスを軽減し、長期使用が可能
  • デジタル温度補償により、温度範囲全体で熱安定性を向上

用途

  • 半導体製造
  • 超高清浄流体の保存･供給システム
  • 薄膜プロセス
  • 化学･石油化学研究
  • ラボおよび解析プロジェクト
  • 食品と飲料品
  • 医薬品
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製品タイプ

圧力変換器

{CCA450AB-E75B-432A-AB46-448CDE155C86}
差別化要因

超高純度

{F47DD1AD-A502-4FF7-A706-29E958C646CE}
パフォーマンス
{A6C504C0-582A-4FB9-B31F-BB87CCFEF44A}
圧力レンジ

最大5,000 psi

{DB1816E5-C976-4AE1-B265-BDAA2C3538B7}
破裂圧力

400% フルスケール

{298765AE-2C35-46AA-BE0F-F0AADD397ACD}
耐圧

2,000 psiまで200%フルスケール、より高い範囲では150%フルスケール

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精度

±0.25% フルスケール (BFSL)

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レスポンスタイム

5ミリ秒未満

{DBEADA35-6FB6-4132-8A90-BAE1485A6F14}
Temperature Coefficient

100 PSI 以上の範囲: フルスケール:+0.02% フルスケール/°F (-4°F ～ 140°F, -20°C ～ 60°C) +0.50% フルスケール (68°F ～ 140°F, 20°C ～ 60°C) 0 ～ 10 Vdc バージョン

<100 PSI 範囲：フルスケール：+0.04% フルスケール/°F (-4°F ～ 140°F, -20°C ～ 60°C)+1.00% フルスケール (68°F ～ 140°F, 20°C ～ 60°C)0 ～ 10 Vdc バージョン

{16BA3E73-8E1F-4743-B968-4368102EF0BB}
メカニカル
{03CD7E8A-C91E-4D6C-932A-D9624A942C64}
構造材質

筐体：ステンレス鋼、ポリマープラスチック

{B56F3497-D310-4A01-B11D-404DEB08BF05}
Surface Finish

SEMI F19に準拠

{79038346-646C-4FA1-AF71-8A65EF7D3D3F}
接液部材質

VIM-VAR 316Lステンレス鋼、SEMI F20

{0391800E-6001-44B6-96B0-0B74637393C3}
清潔さ

ASTM F1374-92 (2005) に準拠

{6D710CE7-A349-4165-A4FD-D59346F3DE23}
Internal Volume
1.79cc
{F3C5A150-F605-4472-8BDD-19E36532BF90}
プロセス接続

チューブ、NPT、フェイスシール、表面シールを含む複数の構成

{C768B80E-9B9C-4399-A191-D1282E38F079}
評価
{2051733B-C07F-4269-8206-8F13B0E6E7FE}
Temperature - Compensating

-4°F～140°F（-20°C～60°C）／68°F～140°F（20°C～60°C）0-10 Vdc バージョン

{87B77CB7-66CF-401C-AE52-24346C585F29}
温度レンジ

非表示バージョン：-20°F～180°F（-29°C～82°C）

表示付きバージョン：-20°F～140°F（-29°C～60°C）

{1A3EF858-9C31-4FE4-AAE9-ECB6E2CAFE23}
Temperature - Storage

非表示時：-40°F～180°F（-40°C～82°C）

表示時：-40°F～167°F（-40°C～75°C）

{86AD82B7-7E45-4BF1-A467-A046684F9AA7}
エレクトリカル
{85C82258-8095-4807-8655-2C0131520ED5}
アナログ通信

0-5 Vdc、0-10 Vdc、0.2-5.2 Vdc、2-10 Vdc、4-20 mA 

{C1945966-FD0A-4E7E-8AFB-D666A31DBA13}
Supply Current

非表示バージョン：最大10mA

内蔵ディスプレイ：最大30mA

{86622513-3FE5-4A76-842A-A43DACC3892C}
Power Requirements

表示バージョン：4～20 mA 出力用 10～30 Vdc 統合表示バージョン：4～20 mA 出力用 15～30 Vdc、信号出力なし

表示バージョン：0～5 Vdc出力用11～30 Vdc 統合表示バージョン：0～5 Vdc出力用11～30 Vdc

表示バージョン：0～10 Vdc出力用13～32 Vdc 統合表示バージョン：0～10 Vdc出力用13～30 Vdc

{16019D48-5476-4B01-8246-5A21C95D4644}
コンプライアンス
{FB648B8B-E764-4BE5-B5A1-AF70686B3002}
認定 / 承認

EMC：EU指令2004/108/ECに準拠

FM認定：クラスI、区分II、グループA、B、C、Dの危険区域での使用に非発火性

{B48F89F8-9DA2-45CA-A6A4-67F50593E74F}
環境法令遵守

RoHS指令 (2011/65/EU)

REACH規則 EC 1907/2006

GF / GI GP / GR GS
差別化要因

高純度、超高純度（表示あり／なし）

プログラマブルスイッチ

回転式一体型ディスプレイ

高純度、超高純度、ハステロイ
Configuration

シングルエンド

行き止まりか、流れ抜けるか

行き止まりか、流れ抜けるか
圧力レンジ

最大3,000 psi

最大4,000 psi

最大4,000 psi
精度

±0.25% フルスケール (BFSL)

±0.25% フルスケール (BFSL)

±0.25% フルスケール (BFSL)
出力タイプ

アナログ電圧または電流

アナログ電圧または電流

アナログ電圧または電流
認定 / 承認

RoHS: 2002/95/EC 指令に準拠

EMC: EMC 指令 2004/108/EC

ATEX 対応モデルあり

RoHS: 2011/65/EU 指令に準拠

RoHS: 2015/863/EC 指令に準拠

REACH: 1907/2006/EC 規則に準拠

EMC: EMC指令 2014/30/EU

RoHS: 2015/863/EC 指令に準拠

REACH: 1907/2006/EC 規則に準拠

EMC: EMC指令 2014/30/EU
ファイル名 ファイルタイプ 言語別文書
Data Sheet - GF/GI Series pdf English
Data Sheet - GF ATEX Series pdf English
Data Sheet - GR/GP Series pdf English
Data Sheet - GS Series pdf English
Installation Manual - GF Series pdf English
Installation Manual - GR Series pdf English
Installation Manual - GS Series pdf English

以下のガイド（データシート記載のモデルコード情報）を参照し、下記で利用可能なCAD構成を翻訳してください。サポートが必要な場合や必要な情報が見つからない場合は、アプリケーションエンジニアリング部門またはお近くのブルックスインスツルメント代理店までお問い合わせください。

例：GF - D - B - CS

圧力変換器
 		体型

電気接続

 金具

GF

D - 行き止まり

B - ベンディックスコネクタ

CS -表面実装

LR-056 シリーズ
LR-056 シリーズ
使用場所の圧力を監視するための正確な、ミニチュアが表示されます。