XacTorr®シリーズキャパシタンスマノメータ

ドリフトと熱による影響を最小限に抑え、真空プロセスの効果を最大限に向上

モデル CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3

真空プロセスの効率性と性能を最大限に高めたいなら、ブルックスインスツルメントのXacTorr®シリーズデジタル真空キャパシタンスマノメータをお選びください。XacTorr®シリーズデバイスは、高い信頼性の測定を実現する業界トップの機能を搭載。ドリフトを削減し、ダイアフラム耐汚染性を向上するとともに、熱による影響を最小限に抑えます。

先進的な Mark-IVセンサの表面積の一部は、圧力測定に使用されず、粒子や凝縮蒸気が堆積します。ゲージのゼロ調整の必要がないため、センサドリフトのリスクが生じず、同時にセンサの耐用年数を伸ばすことができます。また、オプションで優れたクローズドループ制御性能を備えた高速応答センサも用意しています。

その結果、超高精度で、繰り返し性と効率性の高い真空測定が可能になります。チャンバを排気（真空化）するごとに、クリーンで汚染フリーの生成を行うプロセスに必要なTorrを実現できます。

※2020年10月キャパシタンスマノメータの正規代理店にメガトール株式会社を追記しました。
当社製品の真空計測キャパシタンスマノメータに関するお問い合わせはメガトール社までお願いいたします。
▶ Brooks Instrument 製キャパシタンスマノメータ商流変更のご連絡

メガトール株式会社本社営業部
〒231-0024 神奈川県横浜市中区吉浜町2-14 4F

T: 045-222-0035 F: 045-222-0016

http://megatorr.co.jp/

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XacTorr® シリーズデータシート

特長

0.10 Torrから1000 Torrまでのプロセスレンジに対応
さまざまな精度レベルに対応
特許取得済みMark IVセンサ
超高精度で、幅広いダイナミックレンジによる操作を実現するデジタルアーキテクチャー
デュアルゾーン温度コントロールにより、測定の安定性と繰り返し性を向上
長期安定のデジタルキャリブレーションにより、常に信頼性の高い精度を維持
インテリタッチのゼロ調整
アクセスしやすい、独立した診断/サービスポート
DeviceNet®およびアナログ通信オプション

メリット

ドリフトを低減し、プロセスガスの沈着を防ぐ
電子部品に伴う手動のポテンショメータやドリフトを排除
高速起動、厳密な温度制御、変更に対する高速応答
長期安定のデジタルキャリブレーションにより、確実に高い精度を維持し、リアルタイムで周囲温度変化を補償
圧力が高すぎる、または設定した温度に達しない場合、ゼロ合わせ（ゼロ点調整）を回避
診断ポートにより、デバイスの運転と同時にチャンバとツールマッチングの監視とデータ取得を行い、リアルタイムで高度なトラブルシューティングを実行できます。

用途

超電導体製造
薄膜蒸着プロセス - ガラス、ウェブ、光学被膜
生鮮素材のフリーズドライ
医療機器のハイテクコーティング（外科手術器具、歯科用ドリルなど）

製品タイプ

Capacitance Manometer

差別化要因

Heated or Unheated

Analog or Digital

パフォーマンス

温度

CMX0 Ambient

CMX1 45°C

CMX2 100°C

CMX3 160°C

圧力レンジ

0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr

mBar & Pascal References Available

精度

CMX0: 0.25% of Reading

CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading

CMX1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading

Measurement Range

4 Decades

Temperature Effect

On Zero

0.002% FS / °C

On Span

0.02% FS / °C

メカニカル

Exposed Materials

Inconel® and/or AISI 316L Stainless Steel

Over Pressure Limit

17 psia or 125% of Full Scale, whichever is greater

サイズ

Large

Electrical

アナログ通信

0-10 Vdc 5k Ohm load

デジタル通信

DeviceNet™

RS485

Electrical Connection

Analog/RS485 via 9-Pin or 15-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Various cable adaptors available. See product data sheet for more information.

Power Supply - Consumption

CMX0 power required is 200 mA @ ±15 Vdc

Power Input at Initial Warm-up Analog Models, Typical Values¹: CMX1 - 270 mA@±15 Vdc (±5%); CMX2 - 620 mA @ ± 15 Vdc (±5%)

Power Input at Steady State Analog Models, Typical Values¹:CMX1 - 175 mA @ ±15 Vdc (±5%); CMX2 - 350 mA @ ± 15 Vdc (±5%)

Power Input at Initial Warm-up DeviceNet Models, Typical Values: CMX1 - 400 mA @ 24 Vdc; CMX2 - 900 mA @ 24 Vdc

Power Input at Steady State DeviceNet Models, Typical Values: CMX1 - 300 mA @ 24 Vdc CMX2 - 600 mA @ 24 Vdc

1. 15-Pin Male Sub D Model requires an additional 40 mA to power the internal relays (if energized).

認定 / 承認

電磁環境適合性

Fully CE Certified to EMC Directive 89/336/EEC

	CMX0	CMX1	CMX2	CMX3
温度	Ambient	45^oC	100^oC	160^oC
圧力レンジ	1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr	0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr	0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr	1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr
精度	0.25% of Reading	0.15% of Reading 1 - 1000 Torr Ranges 0.25% of Reading <1 Torr Ranges	0.15% of Reading 1 - 1000 Torr Ranges 0.25% of Reading <1 Torr Ranges	0.50% of Reading 1000 Torr Ranges 0.25% of Reading 10 - 100 Torr Ranges 0.35% of Reading 1 - 2 Torr Ranges
アナログ通信	0 - 10 Vdc RS485	0 - 10 Vdc RS485	0 - 10 Vdc RS485	0 - 10 Vdc RS485
デジタル通信	RS485 DeviceNet	RS485 DeviceNet	RS485 DeviceNet	RS485 DeviceNet

Filename	File Type	Documents By Language
Data Sheet	pdf	English
Data Sheet - CMX160	pdf	English
Installation & Operation Manual	pdf	English
DeviceNet™ Supplemental Manual - XacTorr® Series	pdf	English

Filename	File Type
CMX-0-XXX-1-4	STEP
CMX-0-XXX-2-2	DXF
CMX-0-XXX-2-2	IGS
CMX-0-XXX-2-2	STEP
CMX-0-XXX-2-3	IGS
CMX-0-XXX-2-3	DXF
CMX-0-XXX-2-3	STEP
CMX-0-XXX-2-4	DXF
CMX-0-XXX-2-4	IGS
CMX-0-XXX-2-4	STEP
CMX-0-XXX-2-5	DXF
CMX-0-XXX-2-5	IGS
CMX-0-XXX-2-5	STEP
CMX-0-XXX-2-N	IGS
CMX-0-XXX-2-N	STEP
CMX-1-XXX-1-4	IGS
CMX-1-XXX-1-4	STEP
CMX-1-XXX-L-N	DXF
CMX-1-XXX-L-N	STEP
CMX-1-XXX-P-N	STEP
CMX-2-XXX-1-N	IGS
CMX-2-XXX-1-N	STEP
CMX-3-XXX-4-0	DXF
CMX-3-XXX-4-0	IGS
CMX-3-XXX-4-0	STEP
CMX-3-XXX-D-4	DXF
CMX-3-XXX-D-4	IGS
CMX-3-XXX-D-4	STEP

XacTorr®通信および診断GUI

GUIソフトウェアを使用することにより、ツールの通信を中断せずに、独立してキャパシタンスマノメーターと通信することができます。キャパシタンスマノメーターの操作と並行して、チャンバとツールマシンの監視とデータ取得を行いながら、リアルタイムで高度なトラブルシューティングを実行します。

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