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GP200シリーズ ガスデータベース

概要

GP200 シリーズマスフローコントローラ(MFC)用のガスモデルは各 GP200 デバイスに内蔵されており、ガスとレンジの再構成をその場で行うことができるため、プロセスの柔軟性を最大限に高めることができます。以下のファイルをダウンロードして、GP200 MFCを最新の組み込みガスデータベースにアップデートしてください。

カタログ/資料

Filename File Type Documents By Language
Standard Bin Gas Listing xlsx English
Low Pressure Bin Gas Listing xlsx English

GP200 組み込みガス・データベース V400

  • CTビンガスを追加しました: 88 (SiF4)

GP200 組み込みガス・データベース V399

  • CTビンガスを追加しました: 6, 22, 176, 569, 651, 723, 817, 1026, 1060, 1061
  • CTビンテストガスを追加しました: 7016, 7023, 7124, 7328, 7963
  • LPビンのガスを追加しました: 127, 156
  • LP ビンテストガスを追加しました: 7138, 7265, 7266, 7360
  • モデルを更新しました: 12
      • HFは、低分子量、低蒸気圧、高比熱比の組み合わせによるユニークな半導体ガスです。今回の更新では、温度と圧力に依存する実際の圧縮性を考慮することで、HFの性能を向上させました。