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Module für die Dampfbereitstellung

Module für die Dampfbereitstellung sind eigenständige Module für Bereitstellung von ultrareinem Wasserdampf. Im Vergleich mit den Entspannungsverdampfungsgeräten bieten sie eine verbesserte Genauigkeit, höhere Durchflussraten, einen weitgespannten Regelbereich und einen niedrigeren Energieverbrauch.

WESENTLICHE Anwendungen 

  • Dem Metallätzen nachfolgende Sliziumhalbleiterprozesse
  • Metallabtragungsprozess auf Siliziumhalbleitern
  • Ultrareine Befeuchtung in Unterdruckumgebungen

Entdecken Sie, wie unsere Dampfbereitstellungsmodule das Potential Ihrer Prozesse freisetzen kann. 

PRODUKTE

VDM300
VDM300
Gerätetyp

DI Water Vapor Delivery Module

 

Unterscheidungsmerkmal

Ultra High Purity DIW Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT interface

Verdampfungsmethode Vapor Draw
Art des Mediums UHP DI Water
Durchflussbereich (Maximalwert)

3000 sccm

Maximaler Druck

Vapor Outlet: 200 torr