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Verdampfer und Dampferzeuger für optimale Dampfbereitstellung

Die Verdampfer und Dampferzeuger von Brooks Instrument sind eigenständige Module für die optimale Bereitstellung von ultrareinem Wasserdampf. Ob verbesserte Genauigkeit, höhere Durchflussraten, größerer Regelbereich oder niedrigerer Energieverbrauch: Mit unseren Geräten optimieren Sie Ihre Dampferzeugung und erzielen bessere Ergebnisse.

Für diese Bereiche können Sie Verdampfer und Dampferzeuger einsetzen: 

  • Siliziumhalbleiter-Prozesse nach dem Metallätzen
  • Metallabtragungsprozess auf Siliziumhalbleitern
  • Ultrareine Befeuchtung in Unterdruckumgebungen

Setzen Sie mit Brooks Instrument Verdampfern und Dampferzeugern das volle Potenzial Ihrer Prozesse frei.

PRODUKTE

VDM300
VDM300
Gerätetyp

DI Water Vapor Delivery Module

 

Unterscheidungsmerkmal

Ultra High Purity DIW Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT interface

Verdampfungsmethode Vapor Draw
Art des Mediums UHP DI Water
Durchflussbereich (Maximalwert)

3000 sccm

Maximaler Druck

Vapor Outlet: 200 torr