Die Massendurchflusregler-Serie SLA5800

Höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit mit der SLA5800 Serie - jetzt auch verfügbar mit PROFINET und EtherNet/IP™
Verfügbare Modelle SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863

Mit den Massendurchflussreglern und -messgeräten der Serie SLA5800 schaffen Sie viel: Sie können innerhalb eines Prozesses mit nur einem Durchflussmesser vierzehn unterschiedliche Druck- oder Durchflussraten messen. So profitieren Sie bei Ihrer Prozessregelung von höchster Präzision, Wiederholbarkeit und Einfachheit.

Die Serie SLA5800 weist die hohe Genauigkeit und Nullpunktstabilität auf, die Sie von unserer wegweisenden Durchfluss-Technologie erwarten. Mit der hochentwickelten, konfigurierbaren Multigas/Multirange Technologie bieten diese Geräte Ihnen zudem einen sehr geringen Nullpunktdrift. Die Kalibrierung und Genauigkeit ab Werk bleiben Ihnen sehr lange erhalten – nachweisbar.

Haben Sie Fragen?

Sprechen Sie mit einem unserer Anwendungsexperten, wir helfen Ihnen gerne:

Rufen Sie an unter: +49 351 215 2040

Für Preisinformationen:

Ein Angebot anfordern
Datenblatt Serie SLA5800

Merkmale

• Langzeitnullpunktstabilität von <0,2 % des Endwerts pro Jahr
• Hervorragende Genauigkeit
• Großer Durchflussbereich von 0,003 bis zu 2500 l/min
• Höchste Prozessdruckwerte bis zu 100 bar (optional: 310 bar)
• Programmierbare Multigas/Multirange Fähigkeiten
• Separater, einfach zugänglicher Diagnose- und Serviceanschluss 
• EtherNet/IP™-Protokoll mit webbasierter Schnittstelle zur einfachen Konfiguration der Netzwerkeinstellungen
• Anwenderfreundliche Modulbauweise

Ihre Vorteile

• Dank der Langzeitstabilität der Sensoren müssen Ihre Geräte seltener gewartet und rekalibriert werden. So reduzieren Sie Ihre Gesamtbetriebskosten.
• Verbesserte Genauigkeit schon bei niedrigen Sollwerten, entsprechend der globalen Normen für Primärkalibriersysteme.
• Maximale Flexibilität bei der Auswahl der Gase und Durchflussbereiche.
• Die Speicherung und Vorprogrammierung von bis zu sechs Gaskalibrierungen auf einem einzigen Gerät ermöglichen Ihnen das einfache Umschalten auf verschiedene Gase und Bereiche. So verkleinert sich auch die Lagerhaltung.
• Der benutzerfreundliche Serviceanschluss erleichtert Installations-, Fehlerbehebungs- und Diagnosearbeiten ohne den Betrieb zu stören.
• Der robuste Deckel aus solidem Metall verhindert Schäden während der Installation.
• EtherNet/IP™ ermöglicht Ihnen eine erweiterte Diagnose und umfangreiche Systeminformationen in Echtzeit.

Für diese Aufgaben können Sie die Serie SLA5800 einsetzen

• Katalysatorforschung und Pilotprozesse in Chemie und Petrochemie
• Labor- und Analysesysteme
• Brennstoffzellentechnologie
• Bioreaktoren der Biowissenschaft
{BCA9C0AC-E96E-4B94-AE15-7B4228262145}
Gerätetyp
Massedurchflussregler
{B246FED7-D61D-4FCD-919D-6C995CA5B0E7}
Unterscheidungsmerkmal

Großer Durchfluss- und Druckbereich

Exzellente Langzeitstabilität

Hohe Genauigkeit

{CBF2CEFF-A229-420A-9035-CD04B4545A5B}
Leistung
{5A23D76C-7B5E-4E89-9376-77F6304B45B9}
Durchflussbereich (Maximalwert)
.003 - 2500 slpm
{428A2EC5-4C25-4E09-81A6-545F4AB42529}
Genauigkeit

17025 Zertifizierte Geräte (einschließlich Linearität, ohne Messunsicherheit des Kalibriersystems, nach SEMI E69)

±0.6% der SP (20-100% FS)

±0.12% der FS (<20% FS)

1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±0.6% der FS


Die Genauigkeit beinhaltet die Messunsicherheit von Referenzstandards.

±0.9% der SP (20-100% FS)

±0.18% der FS (2-20% FS)

1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±1.0% der FS

{230972BF-33D9-4EAC-955E-AA851F303FF0}
Wiederholbarkeit

0.20% SP

{234FC6FF-6AB6-4E86-AA76-01D885F78CB1}
Linearität

In der Genauigkeit enthalten

{CC9E4BCC-488C-4071-9E07-B628DD74492B}
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

0.003 - 100 slpm: <1 second

100 - 2500 slpm: <3 seconds

{ED6A2251-28D8-426E-BE29-E5A427527DA6}
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange

Standard

{D3EECBE4-E4C4-480B-B7BC-3471E980693E}
Maximaler Druck

.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar

100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar

Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device

{019F5616-217F-45C7-98FA-E1A1448DB24F}
Regelbereich

1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.

50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.

{5DF8BF5E-B867-47E2-94A6-6E0B802CCE38}
Nullstabilität

< 0.2% F.S. per year

{6BB26554-6972-43A0-8A21-78539BD33AA3}
Temperaturkoeffizient

Zero: <0.05% of F.S per oC

Span: <0.1% of S.P. per oC

{2E3B7CDB-D70E-4AF0-8A17-34BE54B6ACF8}
Druckkoeffizient

0.03% per psi (0-200 psi N2)

{9F025ABC-15B3-4DBB-85B6-FA5635B987B5}
Ausrichtungsempfindlichkeit

<0.2% F.S. maximum deviation from specified accuracy after re-zeroing

{DA1D3822-AE0E-44BC-8119-70E5A10AB8B7}
Kennwerte
{61B5A28A-434C-4A06-8E5E-658CE44AFEFF}
Maximale Temperatur
65oC
{96E514EF-F0C4-4D65-AD22-3E75349C18D7}
Differenzdruckbereich

Steuerungen

.003 - 50 lpm: 5 psi / 0.35 bar

50 - 100 lpm: 10 psi / 0.69 bar

500 lpm: 7.5 psi / 0.52 bar

1000 lpm: 14.5 psi / 1.00 bar

2500 lpm: 35.0 psi / 2.41 bar

 

{6C910163-3A2B-4347-B4B6-797AE098760A}
Leckrate
1x10-9 atm cc/sec He
{E5D9B237-7A80-4A23-B2AD-757FCF6E0172}
Mechanisch

{9A184087-63A6-44C5-B07E-DDAB166E24F5}
Dichtungsmaterial
Elastomerdichtung
{0EA6B211-0F14-4403-BC05-6C0AC667C3EB}
Medienberührte Teile

316L Stainless Steel

High Alloy Stainless Steel

Viton® Fluoroelastomers

Buna-N

Kalrez®

Teflon®/Kalrez®

EPDM

{AC829BE9-FFD8-4858-AE7C-D1D90864D3EA}
Ventil

Normalerweise geschlossen

Normalerweise geöffnet

Zähler (kein Ventil)

{413CB4D8-5055-468B-8E26-89970F8257E1}
Diagnose

{0B728A39-317A-400A-8386-1EA9B8CBB704}
Diagnosefähigkeit

Verfügbar

{E0456E94-5D71-4AFD-B438-3EB3CF5ACE74}
Status Leuchten

MFC Health, Network Status

{3EBB4410-630B-4429-80F1-36DE58FDE1D1}
Alarme

Sensor Output

Control Valve Output

Over Temperature

Power Surge/Sag

Network Interruption

{2D5F0044-413E-49D3-8114-0AADBDBD69A8}
Diagnose/Service-Port
RS485 via 2.5mm jack

{1E73D34A-5790-43A8-A62A-A4B150C28FFD}
Elektrisch

{7E36C0F3-2B6D-4140-88CB-93D8102240B1}
Analoge Kommunikation

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

{ED592BD2-3896-4E5A-9F82-971C781283FE}
Digitale Kommunikation
DeviceNet™
EtherCAT®
EtherNet/IP™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
PROFINET
RS-485 
{891ECC5C-09D5-4C00-BFAD-6C5F5863A253}
Elektrischer Anschluss

DeviceNet™: 1xM12 with threaded coupling nut (B)

EtherCAT®, EtherNet/IP™: 1x5-pin M8 with threaded coupling nut/2xRJ45

Profibus®: 1x15-pin Male Sub-D/1x9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)

{2ACAC3B8-6D09-4358-AB61-0C5492CAE460}
Spannungsversorgung

Analog / Profibus® / RS-485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™ / EtherNet/IP™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032":  7 Watts

Without Valve: 4 Watts (DeviceNet™), 3 Watts (EtherNet/IP™)

EtherCAT®

Valve Orifice > 0.032": 8.5 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5.5 Watts

Without Valve: 2.5 Watts

{79F2EC4C-FB0C-4DF7-A2B4-CA70E0EC31A7}
Beachtung
{AD8FC90E-B0D9-487F-8EC6-4D24857161A8}
Zertifikate und Zulassungen

ISO/IEC 17025:2005
CE: EMC Directive 2014/30/EU
Directive 2011/65/EU

UL (Recognized):
Class I, Div 2, Group A, B, C, D
Class I, Zone 2, IIC T4
Class II, Zone 22

ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

KOSHA: Ex nA IIC T4

{F058B188-C1EE-4978-A425-FDD3B2E17B2E}
Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

{81B573EB-B510-4FC1-8696-780E74843FAD}
Größe
Medium
SLA5850 SLA5851 SLA5853 SLA5860 SLA5861 SLA5863
Gerätetyp Massedurchflussregler Massedurchflussregler Massedurchflussregler Massedurchflussmesser Massedurchflussmesser Massedurchflussmesser
Unterscheidungsmerkmal

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Durchflussbereich (Maximalwert) 0.003 - 50 slpm 15 - 150 slpm 100 - 2500 slpm 0.003 - 50 slpm 15 - 150 slpm 100 - 2500 slpm
Maximaler Druck

1500 psi / 103 bar

Optional 4500 psi / 310 bar

1500 psi / 103 bar 1000 psi / 70 bar

1500 psi / 103 bar

Optional: 4500 psi / 310 bar

1500 psi / 103 bar 1000 psi / 70 bar
Genauigkeit

±0.6% der SP

±0.6% der SP

±0.6% der SP

1100 slpm biz su 2500 slpm: ±0.6% der FS

±0.6% der SP

±0.6% der SP

±0.6% der SP

1100 slpm biz su 2500 slpm: ±0.6% der FS

Wiederholbarkeit 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil <1 second <1 second <3 seconds <1 second <1 seconds

<3 seconds

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange Standard Standard Standard Standard Standard Standard
Diagnosefähigkeit

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Analoge Kommunikation

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

Digitale Kommunikation

DeviceNet™

EtherCAT® 

EtherNet/IP™

FOUNDATIONTM Fieldbus 

Profibus®

PROFINET

RS-485

DeviceNet™

EtherCAT® 

EtherNet/IP™

FOUNDATIONTM Fieldbus 

Profibus®

PROFINET

RS-485

DeviceNet™

EtherCAT® 

EtherNet/IP™

FOUNDATIONTM Fieldbus 

Profibus®

PROFINET

RS-485

DeviceNet™

EtherCAT® 

EtherNet/IP™

FOUNDATIONTM Fieldbus 

Profibus®

PROFINET

RS-485

DeviceNet™

EtherCAT® 

EtherNet/IP™

FOUNDATIONTM Fieldbus 

Profibus®

PROFINET

RS-485

DeviceNet™

EtherCAT® 

EtherNet/IP™

FOUNDATIONTM Fieldbus 

Profibus®

PROFINET

RS-485

Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Data Sheet pdf German Chinese English French Spanish
SLA Biotech Serie At-a-Glance pdf German English
Installation & Operation Manual pdf English Japanese
DeviceNet™ Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf Mass Flow pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
EtherNet/IP™ Supplemental Manual (Prod Rev 4) pdf English
EtherNet/IP™ Supplemental Manual (Prod Rev 3) pdf English
EtherNet/IP™ Supplemental Manual (Prod Rev 2) pdf English
Profibus® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
PROFINET Supplemental Manual SLA5800-SLAMf pdf German English
RS485 Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English

Verwenden Sie den folgenden Leitfaden (Modellcodeinformationen aus dem Datenblatt), um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übertragen. Wenn Sie Fragen haben oder Hilfe benötigen, wenden Sie sich bitte an unsere Anwendungstechniker oder Ihren lokalen Brooks Instrument Vertreter – wir helfen Ihnen gerne!

Beispiel: SLA5810 - A - 1B - 1 - C - RevB

Messgeräte -Serie
  Digitale Kommunikation I/O

Mechanischer Anschluss
(nur Größen 0 & 1)

  Ventiltyp
Analoge Kommunikation I/O
Revisionsstand
SLA5810
  A - None (select applicable analog I/O)
 1A - w/o adapters, 9/16” - 18 UNF
   0 - None (Sensor only)
 A - None - Digital Communications only
 RevB
SLA5820
  D - DeviceNet I/O (with 5-pin micro connector)
 1B - 1/4” tube compression
   1 - Normally closed
 B - 0-5 V / 0-5 V 15-pin D-conn  
SLA5840
  P - Profibus (2x sub-D)
 1C - 1/8” tube compression
   2 - Normally closed
   (Pressure diff. >30 psig (2 bar))
 C - 4-20 mA / 4-20 mA 15-pin D-conn
 
SLA5850
  S - RS485 (select applicable analog I/O)
 1D - 3/8” tube compression
   3 - Normally closed
   (Pressure diff. <30 psig (2 bar))
 L - 1-5 V / 1-5 V 15-pin D-conn
 
     1E - 1/4” VCR
   4 - Normally closed - high pressure
 M - 0-20 mA / 0-20 mA 15-pin D-conn
 
     1F - 1/4” VCO
   5 - Normally open
 0 - 0-10 V / 0-10 V 15-pin D-conn
 
     1G - 1/4” NPT
   1 - 0-5 V / 4-20 mA 15-pin D-conn
 
     1H - 6 mm tube compression
   2 - 0-5 V / 0-20 mA 15-pin D-conn
 
   
 *See data sheet for more options

   *See data sheet for more options
 
    (nur Größen 3)      
     2A - Without adapters, 9/16” - 18 UNF
     
     2B - 1-1/16”-12 SAE/MS
     
     2C - 3/8” tube compression
     
     2D - 1/2” tube compression
     
   
*See data sheet for more options

 

 
Dateiname Dateityp
SLA5840-5850-D-E1-5-A-REVB DXF
SLA5840-5850-D-E1-5-A-REVB IGS
SLA5840-5850-D-E1-5-A-REVB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-A-1B-1-C-RevB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-D-1B-1-A-RevB STEP
SLA5850-D-1E-1-A-REVB DXF
SLA5850-D-1E-1-A-REVB IGS
SLA5850-D-1L-1-A-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-D-1L-1-A-REVB STEP
SLA5850-D-1L-1-A-REVB DXF
SLA5850-P-1B-1-A-REVB DXF
SLA5850-P-1B-1-A-REVB IGS
SLA5850-P-1B-1-A-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-P-1H-1-C-RevB STEP
SLA5850-S-1C-1-C-REVB IGS
SLA5850-S-1C-1-C-REVB DXF
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1C-1-C-REVB STEP
SLA5850-S-1C-4-C-REVB DXF
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1E-1-1-RevB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1E-1-B-RevB STEP
SLA5850-S-1G-1-C-REVB DXF
SLA5850-S-1G-1-C-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1G-1-C-RevB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1H-1-B-RevB STEP
SLA5850-S-1H-4-C-REVB DXF
SLA5850-S-1H-4-C-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1H-4-C-REVB STEP
SLA5850-S-1J-1-C-REVB DXF
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-1J-1-C-REVB STEP
SLA5850-S-1J-1-C-REVB IGS
SLA5850-S-5A-1-C-REVB DXF
SLA5850-S-5A-1-C-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-5A-1-C-REVB STEP
SLA5850-S-5B-1-B-REVB DXF
SLA5850-S-5B-1-B-REVB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-5B-1-B-REVB1 IGS
SLA5850-S-E1-1-B-REVB DXF
SLA5850-S-E1-1-B-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-E1-1-B-REVB STEP
SLA5850-S-E1-1-C-REVB DXF
SLA5850-S-E1-1-C-REVB IGS
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-E1-1-C-REVB STEP
SLA5810-SLA5820-SLA5840-SLA5850-S-G1-4-C-REVB STEP
SLA5850-S-G1-4-C-REVB IGS
SLA5850-S-G1-4-C-REVB DXF
SLA5850-7-or-8-1B-1-A-REVB DXF
SLA5850-7-or-8-1B-1-A-REVB IGS
SLA5850-7-or-8-1B-1-A-REVB STEP
SLA5850-7-or-8-1D-1-A-REVB DXF
SLA5850-7-or-8-1D-1-A-REVB IGS
SLA5850-7-or-8-5A-1-A-REVB DXF
SLA5850-7-or-8-5A-1-A-REVB STEP
SLA5851-7-5A-1-A-REVB stp
SLA5851-8-5A-1-A-REVB stp
SLA5851-7-1D-1-A-REVB DXF
SLA5851-7-1D-1-A-REVB IGS
SLA5851-8-1D-1-A-REVB DXF
SLA5851-8-1D-1-A-REVB IGS
SLA5851-A-1B-1-C-RevB STEP
SLA5851-D-1E-1-A-REVB STEP
SLA5851-D-1E-1-A-REVB DXF
SLA5851-D-1L-1-A-REVB STEP
SLA5851-D-1L-1-A-REVB IGS
SLA5851-D-1L-1-A-REVB DXF
SLA5851-D-E1-1-A-REVB IGS
SLA5851-D-E1-5-A-REVB DXF
SLA5851-D-E1-5-A-REVB IGS
SLA5851-D-E1-5-A-REVB STEP
SLA5851-E-1E-1-A-REVB DXF
SLA5851-E-1E-1-A-REVB IGS
SLA5851-E-1E-1-A-REVB STEP
SLA5851-E-1L-1-A-REVB DXF
SLA5851-E-1L-1-A-REVB IGS
SLA5851-E-1L-1-A-REVB STEP
SLA5851-P-1B-1-A-REVB DXF
SLA5851-P-1B-1-A-REVB IGS
SLA5851-P-1B-1-A-REVB STEP
SLA5851-S-1A-1-B-RevB STEP
SLA5851-S-1D-1-C-REVB DXF
SLA5851-S-1D-1-C-REVB IGS
SLA5851-S-1D-1-C-REVB STEP
SLA5851-S-1E-1-C-REVB DXF
SLA5851-S-1E-1-C-REVB IGS
SLA5851-S-1E-1-C-REVB STEP
SLA5851-S-1H-1-B-RevB STEP
SLA5851-S-1L-1-B-REVB DXF
SLA5851-S-1L-1-B-REVB IGS
SLA5851-S-1L-1-B-REVB STEP
SLA5851-S-1L-1-C-REVB DXF
SLA5851-S-1L-1-C-REVB IGS
SLA5851-S-1L-1-C-REVB STEP
SLA5851-S-5A-1-C-REVB DXF
SLA5851-S-5A-1-C-REVB IGS
SLA5851-S-5A-1-C-REVB STEP
SLA5851-S-D1-1-2-REVB DXF
SLA5851-S-D1-1-2-REVB IGS
SLA5851-S-E1-1-B-REVB DXF
SLA5851-S-E1-1-B-REVB IGS
SLA5851-S-E1-1-B-REVB STEP
SLA5851-S-P1-1-C-REVB STEP
SLA5851-S-P1-1-C-REVB DXF
SLA5851-S-P1-1-C-REVB IGS
SLA5853-7-1A-1-A-REVB DXF
SLA5853-7-1A-1-A-REVB IGS
SLA5853-7-1A-1-A-REVB STEP
SLA5853-7-5E-2-A-REVB STEP
SLA5853-8-1A-1-A-REVB DXF
SLA5853-8-1A-1-A-REVB IGS
SLA5853-8-1A-1-A-REVB STEP
SLA5853-8-5E-2-A-REVB STEP
SLA5853-A-2D-2-C-RevB STEP
SLA5853-D-2C-2-A-REVB DXF
SLA5853-D-2C-2-A-REVB IGS
SLA5853-D-2C-2-A-REVB STEP
SLA5853-D-2M-8-A-REVB DXF
SLA5853-D-2M-8-A-REVB IGS
SLA5853-D-2M-8-A-REVB STEP
SLA5853-E-2M-2-A-REVB DXF
SLA5853-E-2M-2-A-REVB IGS
SLA5853-E-2M-2-A-REVB STEP
SLA5853-E-2T-2-A-REVB STEP
SLA5853-E-2T-2-A-REVB DXF
SLA5853-E-2T-2-A-REVB IGS
SLA5853-P-2E-2-C-REVB DXF
SLA5853-P-2E-2-C-REVB IGS
SLA5853-P-2E-2-C-REVB STEP
SLA5853-S-2C-2-C-REVB STEP
SLA5853-S-2C-2-C-REVB IGS
SLA5853-S-2C-2-C-REVB DXF
SLA5853-S-2D-3-C-RevB STEP
SLA5853-S-5C-3-C-REVB DXF
SLA5853-S-5C-3-C-REVB IGS
SLA5853-S-5C-3-C-REVB STEP
SLA5853-S-5D-3-C-REVB DXF
SLA5853-S-5D-3-C-REVB IGS
SLA5853-S-5D-3-C-REVB STEP
SLA5853-S-2G-2-B-REVB DXF
SLA5853-S-2G-2-B-REVB IGS
SLA5853-S-2G-2-B-REVB STEP
SLA5853-S-2G-2-C-REVB DXF
SLA5853-S-2G-2-C-REVB IGS
SLA5853-S-2G-2-C-REVB STEP
SLA5853-S-2M-2-C-REVB DXF
SLA5853-S-2M-2-C-REVB STEP
SLA5853-S-2M-2-C-REVB IGS
SLA5853-S-2N-2-C-REVB DXF
SLA5853-S-2N-2-C-REVB IGS
SLA5853-S-2N-2-C-REVB STEP
SLA5853-S-2R-2-C-REVB IGS
SLA5853-S-2R-2-C-REVB DXF
SLA5853-S-2R-2-C-REVB STEP
SLA5853-S-5E-2-C-REVB DXF
SLA5853-S-5E-2-C-REVB IGS
SLA5853-S-5E-2-C-REVB STEP
SLA5860-S-1B-0-C-REVB DXF
SLA5860-S-1B-0-C-REVB IGS
SLA5860-S-1B-0-C-REVB STEP
SLA5860-S-1E-0-C-RevB STEP
SLA5860-S-1E-0-C-REVB IGS
SLA5860-S-1E-0-C-REVB DXF
SLA5860-S-1G-0-B-REVB STEP
SLA5860-S-1G-0-B-REVB IGS
SLA5860-S-1G-0-B-REVB DXF
SLA5860-S-G1-0-C-REVB DXF
SLA5861-E-1E-0-A-REVB DXF
SLA5861-E-1E-0-A-REVB IGS
SLA5861-E-1E-0-A-REVB STEP
SLA5861-E-1L-0-A-REVB IGS
SLA5861-E-1L-0-A-REVB STEP
SLA5861-E-1L-0-A-REVB DXF
SLA5861-S-1L-0-B-REVB DXF
SLA5861-S-1A-0-C-REVB DXF
SLA5861-S-1A-0-C-REVB IGS
SLA5861-S-1A-0-C-REVB STEP
SLA5863-A-2M-0-C-RevB STEP
SLA5863-A-2M-0-C-REVB IGS
SLA5863-A-2M-0-C-REVB DXF
SLA5863-E-2M-0-A-REVB IGS
SLA5863-E-2M-0-A-REVB STEP
SLA5863-E-2T-0-A-REVB IGS
SLA5863-E-2T-0-A-REVB STEP
SLA5863-S-2E-0-B-REVB DXF
SLA5863-S-2E-0-B-REVB STEP
SLA5863-S-2E-0-B-REVB IGS
SLA5863-S-2R-0-C-REVB IGS
SLA5863-S-2R-0-C-REVB DXF
SLA5863-S-2R-0-C-REVB STEP
Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Serie 0260

Steuert und überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.

Brooks Expert Support Tool (BEST)

Eine Windows™ basierte Anwendung, die eine erweiterte Steuerung von Brooks Instrument MFCs und Druckreglern.

Brooks LabVIEW™ DLL
Mit dieser Software können Sie digitale MFC, Druckregler oder andere Auswertungselektronik von Brooks Instrument ohne lizensierte LabVIEW-Version ansprechen. Für eigene LabVIEW-Applikationen sind DLL erforderlich.
Smart DDE

Smart DDE ist eine Software für den dynamischen Datenaustausch. Sie ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und Brooks® Geräten mit RS485-S-Protokoll.