Elastomergedichtete thermische Massendurchflussregler der Serie GF40

Ein Gerät. Mehrere Gase und Durchflüsse. Maximale Flexibilität
Verfügbare Modelle GF40

Die elastomergedichteten Massendurchflussregler und Durchflussmessgeräte der Serie GF40 bieten Ihnen maximale Prozessflexibilität und -produktivität. Zusammen mit der MultiFlo™ Technologie sind sie ideal für die verschiedensten Prozesse geeignet.

Ganz gleich ob unterschiedliche Gase verwendet werden, die Gas-Arten häufig wechseln oder Sie Bereiche neu definieren müssen: Sie können sich jederzeit auf die hohe Genauigkeit der Gasmessung und -regelung verlassen.


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Datenblatt Serie GF40

Merkmale

• Programmierbare Multigas/Multirange Technologie
• Brooks® MultiFlo™ Gasdatenbank mit einer Vielzahl an Gasen und Gasgemischen zur Anpassung der Geräte
• Ausregelzeit von unter 1 Sekunde und Genauigkeit von <1 % des Sollwerts für anspruchsvolle Anwendungen
• Passgenau auf viele Gase zugeschnitten
• Schnell ansprechender Sensor aus robustem Hastelloy®
• Leicht zugänglicher Diagnose- und Serviceanschluss ist unabhängig von der Gerätekommunikation
• Multiprotokoll-Kommunikation mit DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus® und RS-485 Analogschnittstelle

Ihre Vorteile

• MultiFlo™ Technologie für neue Gaskalibrierungen und Endwertbereiche ohne Demontage des MFC von der Gasleitung sowie Maximierung der Betriebszeit
• Unkomplizierte MultiFlo™ Programmierung: Auswahl eines neuen Gases in weniger als 60 Sekunden
• Reduzierung der Lagerhaltung an gas- und bereichsspezifischen Reglern bei OEMs und große Endanwendern
• Exzellente Prozessgasgenauigkeit, unterstützt durch überlegene Messtechniksysteme und Kalibrierungen nach weltweiten Normen
• Korrosionsbeständiger Sensor aus Hastelloy® für unerreichte Langzeitstabilität zur Sicherstellung eines maximalen Ertrags und Durchsatzes
• Erleichterung der Fehlerbehebungs- und Diagnosearbeiten durch einen separaten Serviceanschluss
• Verschiedene Elastomerdichtungen für unterschiedlichen Anwendungsbereiche
• Bessere Integration in bestehende Systeme dank der Multiprotokollkommunikationsschnittstelle

Typische Einsatzfelder elastomergedichteter Durchflussmesser der Serie GF40

• Solarzellenherstellung
• Bioreaktoren der Biowissenschaft
• Vakuumprozesse
• Nanotechnologie und MEMS-Herstellung
• Plasma-, Glas- und  Bahnbeschichtungssysteme
• Verteiler-/Gasversorgungssysteme
{401C5C5F-E447-4C89-AE9A-7AB9531800B5}
Gerätetyp
Massedurchflussregler
{85D6B977-1CF9-4752-8A3D-4A1088016856}
Unterscheidungsmerkmal

Hohe Genauigkeit

MultiFlo™ Funktionalität

Kompakte Größe

Geeignet für die gesamte Palette an Gasen

{4E6BA170-D9B9-4E88-B422-6E7D941017EB}
Leistung
{B8CBEAA1-9B67-4F93-8C9E-128F709C488F}
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 50 slpm
{4091AF3B-8E51-462D-AB96-3C8C5F50CACB}
Genauigkeit

1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%

{430B01B9-6AC3-4A2E-A47E-3EE4A08AAC87}
Wiederholbarkeit

0.20% SP

{279F2CEC-549F-4FEB-8417-236707ACE451}
Linearität

±0.5% FS (in der Genauigkeit enthalten)

{D598FBEC-ADC6-4536-B3FE-F81D371B5B9B}
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

{55583860-F6FB-4C11-9221-42CEA7121314}
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Available
{9B669EE1-BBCF-4001-A23E-82E1E01BD337}
Regelbereich

2-100%

                                        

 

{595E4D12-1536-4B83-9EA7-07DC8C5FDD44}
Anzahl der Gerätegrundgrößen

10 Bins

{0EDA30F7-20EC-43A9-BB2F-971CE3D90ECF}
Schleichmengen-Unterdrückung

Schließt das Ventil, wenn der Sollwert unter 1,5% des konfigurierten Bereiches fällt

{F0FE01D0-412B-473D-B2A9-716EEFEBB8FB}
Nullstabilität
<±0.5% FS per year
{177D8BF4-A5BA-4507-A921-1CCC1217ACB6}
Druckkoeffizient

0.03% per psi (0-50psi N2)

{EDF6FC6E-51A3-471C-936C-0EAFAE78FF3E}
Kennwerte
{170B6E7F-8429-42D4-884E-8CDA7CA51329}
Temperaturbereich

5-50oC (41-122oF)

{7B7D20F0-4595-4BAB-A1F6-052EC6D9D08F}
Maximaler Druck

150 psig/10 bar

{5B0169F5-649F-4B58-9FB4-EC506037713E}
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-55000 sccm = 25-45 psid

*Kontaktieren Sie gerne unseren Technischen Service für weitere Informationen

{979D5D9B-7109-4C2E-9E3C-48AEF44743DA}
Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
{B630BC60-9E07-427E-B377-5B0810A2B020}
Mechanisch
{D3A18DDA-24FC-4D77-B17D-7D9C82FE20F4}
Dichtungsmaterial

Elastomerdichtung

{B48DDCAE-901A-499D-9C22-FEEA1BE3CB6B}
Oberflächenbeschaffenheit
32µ inch Ra
{A7F69D55-8885-4FA3-9030-108E9CF720AA}
Medienberührte Teile

316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055

{CE6916E3-668E-4AED-8555-49F4C1D958ED}
Ventil

Normalerweise geschlossen

Normalerweise geöffnet

Zähler (kein Ventil)

{4825F789-6AC0-452E-9B5A-D1B345D4D5C0}
Diagnose
{E30F071F-D5C1-47C2-B303-2ED8AAAA9844}
Diagnosefähigkeit

Verfügbar

{87C6F242-81D8-4670-8268-FB09DB343DBC}
Diagnose/Service-Port

Verfügbar

{FF050C1C-9989-499B-8DDD-D145556C5119}
Elektrisch
{DB7C7415-9565-4D3C-BF20-3004CB2E2DBC}
Analoge Kommunikation

0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA

{F0D53125-7F59-4D1D-8A06-C458BD6D5F65}
Digitale Kommunikation

DeviceNetTM
EtherCAT®
Profibus®
RS485

{EF8D242D-4752-40C5-8428-06E05B5D5044}
Elektrischer Anschluss
DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)

EtherCAT®: 5-pin M8 with threaded coupling nut/2 x RJ45

Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D/1 x 9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)
{122753E9-9ECE-4B29-AD62-90D09D883D95}
Spannungsversorgung
Analog / RS-485

From +12 Vdc to +24 Vdc: 7 Watt/8 Watt

DeviceNet™

From +11 Vdc to +25 Vdc: 7 Watt/8 Watt

EtherCAT® / Profibus®

From +13.5 Vdc to +27 Vdc: 7 Watt/8 Watt
{F76C62CC-4EBB-4D9E-8BEB-C9196A1B4B50}
Beachtung
{D0EB512E-048B-46F6-B187-BB52DF7C2682}
Zertifikate und Zulassungen

CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Safety EN61010-1

{C411D614-A5D2-4FD1-BCB2-A4441DF2D33A}
Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

{2B5B0F79-5BB4-4E84-BC1A-630F6CB50DB4}
Größe
Kompakte
GF40
Durchflussbereich (Maximalwert)

3 sccm - 50 slm

Genauigkeit

1% S.P. 35-100%

0.35% F.S. 2-35%

Maximaler Druck 150 psig/10 bar
Wiederholbarkeit <0.20% S.P.
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange MultiFlo™ Available
Diagnosefähigkeit

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack

Analoge Kommunikation

 0-5 V,  0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

Digitale Kommunikation

DeviceNet™

EtherCAT™

Profibus®

RS485

Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Data Sheet pdf German English French Spanish
Installation & Operation Manual pdf English Japanese
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
Profibus® Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English

Verwenden Sie den folgenden Leitfaden (Modellcodeinformationen aus dem Datenblatt), um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übertragen. Wenn Sie Fragen haben oder Hilfe benötigen, wenden Sie sich bitte an unsere Anwendungstechniker oder Ihren lokalen Brooks Instrument Vertreter – wir helfen Ihnen gerne.

Beispiel: GF040 - N2 - S5

Messgerät Serie
  Fitting
  Kommunikation/Verbindung
GF040
  XX - 9/16” - 18 UNF
  P5 - Profibus / Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
    T1 - 1/8” tube compression
  P0 - Profibus / Analog (Input 0-20 mA; Output 0-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
    T2 - 1/4” tube compression
  P4 - Profibus / Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
    T3 - 3/8” tube compression
  E5 - EtherCAT™ / (Output 0-5 V); 2xRJ45 signal 2-Pin power
    T4 - 1/2” tube compression
  D5 - DeviceNet / Analog (Output 0-5 V); 5-Pin mico signal and power / 3-Pin analog signal
    T6 - 6 mm tube compression
  S5 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V)15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    T0 - 10 mm tube compression
  S1 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    R2 - 1/4” RC (BSP)
  S0 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 0-20 mA ; Output 0-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    VX - 1/4” VCR
  S4 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    O2 - 1/4” VCO
  L5 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol)
    N2 - 1/4” NPT
  L1 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol)

 

Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Serie 0260

Steuert und überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.

Brooks Expert Support Tool (BEST)

Eine Windows™ basierte Anwendung, die eine erweiterte Steuerung von Brooks Instrument MFCs und Druckreglern.

Brooks LabVIEW™ DLL
Mit dieser Software können Sie digitale MFC, Druckregler oder andere Auswertungselektronik von Brooks Instrument ohne lizensierte LabVIEW-Version ansprechen. Für eigene LabVIEW-Applikationen sind DLL erforderlich.
Smart DDE

Smart DDE ist eine Software für den dynamischen Datenaustausch. Sie ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und Brooks® Geräten mit RS485-S-Protokoll.