Merkmale
• Programmierbare Multigas/Multirange Technologie
• Brooks® MultiFlo™ Gasdatenbank mit umfangreichen Gasen und Gasgemischen zur Anpassung der Geräte
• Ausregelzeit von unter 1 Sekunde und Genauigkeit von <1 % des Sollwerts für anspruchsvolle Anwendungen
• Passgenau auf vielfältige Gase zugeschnitten
• Schnelles Ansprechen, Sensor aus Hastelloy
• Leicht zugänglicher Diagnose- und Serviceanschluss ist unabhängig von der Gerätekommunikation
• Multiprotokollkommunikationsoptionen mit DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus® und RS-485 Analogschnittstelle
Vorteile
• MultiFlo™ Technologie für neue Gaskalibrierungen und Endwertbereiche ohne Demontage des MFC von der Gasleitung sowie Maximierung der Betriebszeit
• MultiFlo™ Programmierung ist unkompliziert und bedienerfreundlich; Auswahl eines neuen Gases in weniger als 60 Sekunden möglich
• Reduzierung der Lagerhaltung an gas- und bereichsspezifischen Reglern bei OEMs und große Endanwendern
• Exzellente Prozessgasgenauigkeit, unterstützt durch überlegene Messtechniksysteme und auf globalen Normen basierende Kalibrierungen
• Korrosionsbeständiger Sensor aus Hastelloy® für unerreichte Langzeitstabilität zur Sicherstellung eines maximalen Ertrags und Durchsatzes
• Erleichterung der Fehlerbehebungs- und Diagnosearbeiten durch den für den Benutzer zugänglichen Serviceanschluss
• Verschiedene Elastomerdichtungen für unterschiedlichen Anwendungsbereiche
• Bessere Integration in bestehende Systeme dank der Multiprotokollkommunikationsschnittstelle
Anwendungen
• Solarzellenherstellung
• Bioreaktoren in der Biowissenschaft
• Vakuumprozesse
• Nanotechnologie/MEMS-Herstellung
• Plasma-, Glas- und Bahnbeschichtungssysteme
• Exzellente Option für Verteiler-/Gasversorgungssysteme
Gerätetyp
Mass Flow Controller
Unterscheidungsmerkmal
High Accuracy
MultiFlo™ Capability
Compact Size
Suitable for Full Suite of Gases
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 50 slpm
Genauigkeit
1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%
Linearität
±0.5% FS (included in accuracy)
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil
Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec
Multi-Gas & Range Configurability
MultiFlo™ Available
Anzahl der Gerätegrundgrößen
Schleichmengenunterdrückung
Closes valve when set point drops below 1.5% full scale
Nullstabilität
<±0.5% FS per year
0.03% per psi (0-50psi N2)
Differenzdruckbereich
3-860 sccm = 7-45 psid
861-7200 sccm = 15-45 psid
7201-55000 sccm = 25-45 psid
*Contact Brooks Technical Support for more information.
Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Dichtungsmaterial
Elastomer Seal
Oberflächenbeschaffenheit
32µ inch Ra
Medienberührte Teile
316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055
Ventil
Normally Closed
Normally Open
Meter (no valve)
Analoge Kommunikation
0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA
Digitale Kommunikation
DeviceNetTM
EtherCAT®
Profibus®
RS485
Zertifikate und Zulassungen
CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
Safety EN61010-1
Einhaltung von Umweltvorschriften
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GF40
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Durchflussbereich (Maximalwert)
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3 sccm - 50 slm
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Genauigkeit
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1% S.P. 35-100%
0.35% F.S. 2-35%
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Maximaler Druck
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150 psig/10 bar
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Wiederholbarkeit
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<0.20% S.P.
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Multi-Gas & Range Configurability
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MultiFlo™ Available
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Diagnosefähigkeit
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Status Lights: MFC Health, Network Status
Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption
Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack
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Analoge Kommunikation
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0-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA
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Digitale Kommunikation
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DeviceNet™
EtherCAT™
Profibus®
RS485
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| Dateiname | Dateityp | Dokumente nach Sprache |
| Data Sheet |
pdf
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German
English
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| Installation & Operation Manual |
pdf
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English
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| DeviceNet™ Supplemental Manual - GF40, GF80 |
pdf
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English
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| EtherCAT® Supplemental Manual - GF40, GF80 |
pdf
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English
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| Profibus® Supplemental Manual - GF40, GF80 |
pdf
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English
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| RS485 A-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 |
pdf
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English
|
| RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 |
pdf
|
English
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| RS485 S-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 |
pdf
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English
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Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: GF040 - N2 - S5
Meter Series
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Fitting
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Communications/Connector |
GF040
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XX - 9/16” - 18 UNF
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P5 - Profibus / Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
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T1 - 1/8” tube compression
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P0 - Profibus / Analog (Input 0-20 mA; Output 0-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
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T2 - 1/4” tube compression
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P4 - Profibus / Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
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T3 - 3/8” tube compression
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E5 - EtherCAT™ / (Output 0-5 V); 2xRJ45 signal 2-Pin power
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T4 - 1/2” tube compression
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D5 - DeviceNet / Analog (Output 0-5 V); 5-Pin mico signal and power / 3-Pin analog signal
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T6 - 6 mm tube compression
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S5 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V)15-Pin Male D (Brooks Protocol)
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T0 - 10 mm tube compression
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S1 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
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R2 - 1/4” RC (BSP)
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S0 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 0-20 mA ; Output 0-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
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VX - 1/4” VCR
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S4 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
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O2 - 1/4” VCO
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L5 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol)
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N2 - 1/4” NPT
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L1 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol)
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Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte
Steuert und Überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.
Ermöglicht dem Anwender, mit digitalen MFC´s, Druckreglern und/ oder Auswerteelektroniken von Brooks® zu kommunizieren, ohne eine lizensierte LabVIEW- Version verwenden zu müssen. Für eigene LabVIEW – Applikationen sind DLL`s notwendig.
Smart DDE ist ein Softwareprodukt von Brooks für den dynamischen Datenaustausch. Es ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und den Brooks® RS485-S-Protocol Geräten.