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Elastomergedichtete thermische Massendurchflussregler der Serie GF40

Ein Gerät. Mehrere Gase und Durchflüsse. Maximale Flexibilität
Verfügbare Modelle GF40

Die elastomergedichteten Massendurchflussregler und Durchflussmessgeräte der Serie GF40 bieten Ihnen maximale Prozessflexibilität und -produktivität. Zusammen mit der MultiFlo™ Technologie sind sie ideal für die verschiedensten Prozesse geeignet.

Ganz gleich ob unterschiedliche Gase verwendet werden, die Gas-Arten häufig wechseln oder Sie Bereiche neu definieren müssen: Sie können sich jederzeit auf die hohe Genauigkeit der Gasmessung und -regelung verlassen.


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Sprechen Sie mit einem unserer Anwendungsexperten, wir helfen Ihnen gerne:

Rufen Sie an unter: +49 351 215 2040

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Datenblatt Serie GF40

Merkmale

• Programmierbare Multigas/Multirange Technologie
• Brooks® MultiFlo™ Gasdatenbank mit einer Vielzahl an Gasen und Gasgemischen zur Anpassung der Geräte
• Ausregelzeit von unter 1 Sekunde und Genauigkeit von <1 % des Sollwerts für anspruchsvolle Anwendungen
• Passgenau auf viele Gase zugeschnitten
• Schnell ansprechender Sensor aus robustem Hastelloy®
• Leicht zugänglicher Diagnose- und Serviceanschluss ist unabhängig von der Gerätekommunikation
• Multiprotokoll-Kommunikation mit DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus® und RS-485 Analogschnittstelle

Ihre Vorteile

• MultiFlo™ Technologie für neue Gaskalibrierungen und Endwertbereiche ohne Demontage des MFC von der Gasleitung sowie Maximierung der Betriebszeit
• Unkomplizierte MultiFlo™ Programmierung: Auswahl eines neuen Gases in weniger als 60 Sekunden
• Reduzierung der Lagerhaltung an gas- und bereichsspezifischen Reglern bei OEMs und große Endanwendern
• Exzellente Prozessgasgenauigkeit, unterstützt durch überlegene Messtechniksysteme und Kalibrierungen nach weltweiten Normen
• Korrosionsbeständiger Sensor aus Hastelloy® für unerreichte Langzeitstabilität zur Sicherstellung eines maximalen Ertrags und Durchsatzes
• Erleichterung der Fehlerbehebungs- und Diagnosearbeiten durch einen separaten Serviceanschluss
• Verschiedene Elastomerdichtungen für unterschiedlichen Anwendungsbereiche
• Bessere Integration in bestehende Systeme dank der Multiprotokollkommunikationsschnittstelle

Typische Einsatzfelder elastomergedichteter Durchflussmesser der Serie GF40

• Solarzellenherstellung
• Bioreaktoren der Biowissenschaft
• Vakuumprozesse
• Nanotechnologie und MEMS-Herstellung
• Plasma-, Glas- und  Bahnbeschichtungssysteme
• Verteiler-/Gasversorgungssysteme
Gerätetyp
Massedurchflussregler
Unterscheidungsmerkmal

Hohe Genauigkeit

MultiFlo™ Funktionalität

Kompakte Größe

Geeignet für die gesamte Palette an Gasen

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 50 slpm
Genauigkeit

1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%

Wiederholbarkeit

0.20% SP

Linearität

±0.5% FS (in der Genauigkeit enthalten)

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Available
Regelbereich

2-100%

                                        

 

Anzahl der Gerätegrundgrößen

10 Bins

Schleichmengen-Unterdrückung

Schließt das Ventil, wenn der Sollwert unter 1,5% des konfigurierten Bereiches fällt

Nullstabilität
<±0.5% FS per year
Druckkoeffizient

0.03% per psi (0-50psi N2)

Kennwerte
Temperaturbereich

5-50oC (41-122oF)

Maximaler Druck

150 psig/10 bar

Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-55000 sccm = 25-45 psid

*Kontaktieren Sie gerne unseren Technischen Service für weitere Informationen

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Mechanisch
Dichtungsmaterial

Elastomerdichtung

Oberflächenbeschaffenheit
32µ inch Ra
Medienberührte Teile

316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055

Ventil

Normalerweise geschlossen

Normalerweise geöffnet

Zähler (kein Ventil)

Diagnose
Diagnosefähigkeit

Verfügbar

Diagnose/Service-Port

Verfügbar

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA

Digitale Kommunikation

DeviceNetTM
EtherCAT®
Profibus®
RS485

Elektrischer Anschluss
DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)

EtherCAT®: 5-pin M8 with threaded coupling nut/2 x RJ45

Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D/1 x 9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)
Spannungsversorgung
Analog / RS-485

From +12 Vdc to +24 Vdc: 7 Watt/8 Watt

DeviceNet™

From +11 Vdc to +25 Vdc: 7 Watt/8 Watt

EtherCAT® / Profibus®

From +13.5 Vdc to +27 Vdc: 7 Watt/8 Watt
Beachtung
Zertifikate und Zulassungen

CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Safety EN61010-1

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

Größe
Kompakte

GF40

Durchflussbereich (Maximalwert)

3 sccm - 50 slm

Genauigkeit

1% S.P. 35-100%

0.35% F.S. 2-35%

Maximaler Druck 150 psig/10 bar
Wiederholbarkeit <0.20% S.P.
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange MultiFlo™ Available
Diagnosefähigkeit

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack

Analoge Kommunikation

 0-5 V,  0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

Digitale Kommunikation

DeviceNet™

EtherCAT™

Profibus®

RS485

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf German English Japanese
Installation & Operation Manual pdf English Japanese
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
Profibus® Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Verwenden Sie den folgenden Leitfaden (Modellcodeinformationen aus dem Datenblatt), um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übertragen. Wenn Sie Fragen haben oder Hilfe benötigen, wenden Sie sich bitte an unsere Anwendungstechniker oder Ihren lokalen Brooks Instrument Vertreter – wir helfen Ihnen gerne.

Beispiel: GF040 - N2 - S5

Messgerät Serie
  Fitting
  Kommunikation/Verbindung
GF040
  XX - 9/16” - 18 UNF
  P5 - Profibus / Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
    T1 - 1/8” tube compression
  P0 - Profibus / Analog (Input 0-20 mA; Output 0-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
    T2 - 1/4” tube compression
  P4 - Profibus / Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
    T3 - 3/8” tube compression
  E5 - EtherCAT™ / (Output 0-5 V); 2xRJ45 signal 2-Pin power
    T4 - 1/2” tube compression
  D5 - DeviceNet / Analog (Output 0-5 V); 5-Pin mico signal and power / 3-Pin analog signal
    T6 - 6 mm tube compression
  S5 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V)15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    T0 - 10 mm tube compression
  S1 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    R2 - 1/4” RC (BSP)
  S0 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 0-20 mA ; Output 0-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    VX - 1/4” VCR
  S4 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    O2 - 1/4” VCO
  L5 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol)
    N2 - 1/4” NPT
  L1 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol)

 

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Steuert und überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.

Mit dieser Windows-basierten Software können Sie alle Massendurchflussregler  und die Druckregler der Serien SLA5800 und SLAMf steuern und konfigurieren.

Mit dieser Software können Sie digitale MFC, Druckregler oder andere Auswertungselektronik von Brooks Instrument ohne lizensierte LabVIEW-Version ansprechen. Für eigene LabVIEW-Applikationen sind DLL erforderlich.

Smart DDE ist eine Software für den dynamischen Datenaustausch. Sie ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und Brooks® Geräten mit RS485-S-Protokoll.