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Home Produkte Massedurchflussregler Elastomergedichtet thermisch Serie GF40

Serie GF40 elastomergedichtete thermische Massedurchflussregler und –messgeräte

Ein Gerät. Mehrere Gase und Durchflüsse. Maximale Flexibilität
Modelle GF40
Mehrere Gase in einem Gerät bedeuten maximale Prozessflexibilität und -produktivität. Die elastomergedichteten Massedurchflussregler und -messgeräte der Serie GF40 mit der Brooks Instrument MultiFlo™ Technologie sind die perfekte Wahl für Systeme, Prozesse und Einrichtungen, die viele unterschiedliche Gase verwenden, häufig die Gasarten wechseln oder Neufestlegungen der Bereiche vornehmen und dabei auf die Beibehaltung der Genauigkeit der Gasmessung und -regelung angewiesen sind. Sie ermöglichen eine nichtgekannte Prozessflexibilität kombiniert mit beispiellos leistungsfähiger Durchflussmessung und -regelung.

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Datenblatt Serie GF40

Merkmale

• Programmierbare Multigas/Multirange Technologie
• Brooks® MultiFlo™ Gasdatenbank mit  umfangreichen Gasen und Gasgemischen zur Anpassung der Geräte
• Ausregelzeit von unter 1 Sekunde und Genauigkeit von <1 % des Sollwerts für anspruchsvolle Anwendungen
• Passgenau auf vielfältige Gase zugeschnitten
• Schnelles Ansprechen, Sensor aus Hastelloy
• Leicht zugänglicher Diagnose- und Serviceanschluss ist unabhängig von der Gerätekommunikation
• Multiprotokollkommunikationsoptionen mit DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus® und RS-485 Analogschnittstelle

Vorteile

• MultiFlo™ Technologie für neue Gaskalibrierungen und Endwertbereiche ohne Demontage des MFC von der Gasleitung sowie Maximierung der Betriebszeit
• MultiFlo™ Programmierung ist unkompliziert und bedienerfreundlich; Auswahl eines neuen Gases in weniger als 60 Sekunden möglich
• Reduzierung der Lagerhaltung an gas- und bereichsspezifischen Reglern bei OEMs und große Endanwendern
• Exzellente Prozessgasgenauigkeit, unterstützt durch überlegene Messtechniksysteme und auf globalen Normen basierende Kalibrierungen
• Korrosionsbeständiger Sensor aus Hastelloy® für unerreichte Langzeitstabilität zur Sicherstellung eines maximalen Ertrags und Durchsatzes
• Erleichterung der Fehlerbehebungs- und Diagnosearbeiten durch den für den Benutzer zugänglichen Serviceanschluss
• Verschiedene Elastomerdichtungen für unterschiedlichen Anwendungsbereiche
• Bessere Integration in bestehende Systeme dank der Multiprotokollkommunikationsschnittstelle

Anwendungen

• Solarzellenherstellung
• Bioreaktoren in der Biowissenschaft
• Vakuumprozesse
• Nanotechnologie/MEMS-Herstellung
• Plasma-, Glas- und  Bahnbeschichtungssysteme
• Exzellente Option für Verteiler-/Gasversorgungssysteme
Gerätetyp
Massedurchflussregler
Unterscheidungsmerkmal

High Accuracy

MultiFlo™ Capability

Compact Size

Suitable for Full Suite of Gases

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 50 slpm
Genauigkeit

1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%

Wiederholbarkeit

0.20% SP

Linearität

±0.5% FS (included in accuracy)

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Available
Regelbereich

2-100%

                                        

 

Anzahl der Gerätegrundgrößen

10 Bins

Schleichmengenunterdrückung

Closes valve when set point drops below 1.5% full scale

Nullstabilität
<±0.5% FS per year

0.03% per psi (0-50psi N2)

Kennwerte
Temperaturbereich

5-50oC (41-122oF)

Maximaler Druck

150 psig/10 bar

Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-55000 sccm = 25-45 psid

*Contact Brooks Technical Support for more information.

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Mechanisch
Dichtungsmaterial
Elastomer Seal
Oberflächenbeschaffenheit
32µ inch Ra
Medienberührte Teile

316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055

Ventil

Normally Closed

Normally Open

Meter (no valve)

Diagnose
Diagnosefähigkeit

Available

Diagnose/Service-Port

Available

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA

Digitale Kommunikation

DeviceNetTM
EtherCAT®
Profibus®
RS485

Elektrischer Anschluss
DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)

EtherCAT®: 5-pin M8 with threaded coupling nut/2 x RJ45

Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D/1 x 9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)
Spannungsversorgung
Analog / RS-485

From +12 Vdc to +24 Vdc: 7 Watt/8 Watt

DeviceNet™

From +11 Vdc to +25 Vdc: 7 Watt/8 Watt

EtherCAT® / Profibus®

From +13.5 Vdc to +27 Vdc: 7 Watt/8 Watt
Beachtung
Zertifikate und Zulassungen

CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Safety EN61010-1

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

Größe
Compact

GF40
Durchflussbereich (Maximalwert)

3 sccm - 50 slm
Genauigkeit

1% S.P. 35-100%

0.35% F.S. 2-35%
Maximaler Druck 150 psig/10 bar
Wiederholbarkeit <0.20% S.P.
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange MultiFlo™ Available
Diagnosefähigkeit

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack
Analoge Kommunikation

 0-5 V,  0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA
Digitale Kommunikation

DeviceNet™

EtherCAT™

Profibus®

RS485
DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf German English Japanese
Installation & Operation Manual pdf English Japanese
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
Profibus® Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: GF040 - N2 - S5

Meter Series
  Fitting
  Communications/Connector
GF040
   XX - 9/16” - 18 UNF
   P5 - Profibus / Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
    T1 - 1/8” tube compression
   P0 - Profibus / Analog (Input 0-20 mA; Output 0-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
    T2 - 1/4” tube compression
   P4 - Profibus / Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
    T3 - 3/8” tube compression
   E5 - EtherCAT™ / (Output 0-5 V); 2xRJ45 signal 2-Pin power
    T4 - 1/2” tube compression
   D5 - DeviceNet / Analog (Output 0-5 V); 5-Pin mico signal and power / 3-Pin analog signal
    T6 - 6 mm tube compression
   S5 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V)15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    T0 - 10 mm tube compression
   S1 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    R2 - 1/4” RC (BSP)
   S0 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 0-20 mA ; Output 0-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    VX - 1/4” VCR
   S4 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    O2 - 1/4” VCO
   L5 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol)
    N2 - 1/4” NPT
   L1 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol)

 

Serie 0250

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Serie 0260

Steuert und Überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.

MultiFlo™ Configurator
Brooks Expert Support Tool (BEST)

Eine Windows-basierte Anwendung, die eine weitreichende Kontrolle über die Massedurchflussregler, Anzeigen und Druckregler der Serien SLA58XX und SLAMfXX bietet.

Brooks LabVIEW™ DLL

Ermöglicht dem Anwender, mit digitalen MFC´s, Druckreglern  und/ oder Auswerteelektroniken von Brooks® zu kommunizieren, ohne eine lizensierte  LabVIEW- Version verwenden zu müssen. Für eigene LabVIEW – Applikationen sind DLL`s  notwendig.

Smart DDE

Smart DDE ist ein Softwareprodukt von Brooks für den dynamischen Datenaustausch. Es ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und den Brooks® RS485-S-Protocol Geräten.