Gerätetyp
Massedurchflussregler
Unterscheidungsmerkmal
Hohe Genauigkeit
MultiFlo™ Funktionalität
Kompakte Größe
Geeignet für die gesamte Palette an Gasen
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 50 slpm
Genauigkeit
1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%
Linearität
±0.5% FS (in der Genauigkeit enthalten)
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil
Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Available
Anzahl der Gerätegrundgrößen
Schleichmengen-Unterdrückung
Schließt das Ventil, wenn der Sollwert unter 1,5% des konfigurierten Bereiches fällt
Nullstabilität
<±0.5% FS per year
Druckkoeffizient
0.03% per psi (0-50psi N2)
Differenzdruckbereich
3-860 sccm = 7-45 psid
861-7200 sccm = 15-45 psid
7201-55000 sccm = 25-45 psid
*Kontaktieren Sie gerne unseren Technischen Service für weitere Informationen
Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Oberflächenbeschaffenheit
32µ inch Ra
Medienberührte Teile
316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055
Ventil
Normalerweise geschlossen
Normalerweise geöffnet
Zähler (kein Ventil)
Analoge Kommunikation
0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA
Digitale Kommunikation
DeviceNetTM
EtherCAT®
Profibus®
RS485
Elektrischer Anschluss
DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)
EtherCAT®: 5-pin M8 with threaded coupling nut/2 x RJ45
Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D/1 x 9-pin female Sub-D
RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)
Spannungsversorgung
Analog / RS-485
From +12 Vdc to +24 Vdc: 7 Watt/8 Watt
DeviceNet™
From +11 Vdc to +25 Vdc: 7 Watt/8 Watt
EtherCAT® / Profibus®
From +13.5 Vdc to +27 Vdc: 7 Watt/8 Watt
Zertifikate und Zulassungen
CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
Safety EN61010-1
Einhaltung von Umweltvorschriften
RoHS Directive (2011/65/EU)
REACH Directive EC 1907/2006