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Produkte Massedurchflussregler Elastomergedichtet thermisch Serie 4800

Die Serie 4800 der elastomergedichteten thermischen Massendurchflussregler

Durchflussmesser für extrem schnelles Ansprechen in zeitkritischen Durchflussprozessen
Verfügbare Modelle 4850 / 4860

Je schneller ein thermischer Massendurchflussregler und -messer angesprochen werden kann, desto effizienter und produktiver wird Ihr Prozess. Die MFC Serie 4800 bietet Ihnen genau diese Geschwindigkeit. Alle Geräte der Serie sind mit einem hochentwickelten MEMS-basierten thermischen Sensor ausgestattet. Dieser wird mit einem PID-Algorithmus zur Optimierung des Regelverhaltens kombiniert. So profitieren Sie von einer schnellen Anpassung des Istwertes an beliebige Sollwertänderungen. Dank der optionalen lokalen Bedienschnittstelle (LOI, Local Operator Interface) haben Sie alle Anzeigen sowie die Regelung und Konfigurierung Ihrer Geräte immer im Blick.


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Datenblatt Serie 4800

Merkmale

  • Ausregelzeit (Einschwingzeit) <0,75 Sekunden
  • Innovativer MEMS-Sensor und integrierter PID-Algorithmus
  • Kompakte Bauform (50% kleiner als typische thermische MFC: 25 x 76 x 101 mm)
  • Optionale lokale Bedienschnittstelle (LOI) erleichtert Einstellung und Betrieb; kostenfreie LabVIEW VI (Virtual Instrument) zur einbindung in vorhandene Computersysteme.
  • Digitalfähig über RS-232

Ihre Vorteile

  • Gut geeignet für ein breites Spektrum gebräuchlicher, nichtkorrosiver Gase
  • Schnelles Ansprechen sichert schnelle Prozessrezeptänderungen
  • Exzellent für OEMs: Leichtere Integration in enge Maschinenräume und beschleunigter Einbau dank der kompakten Bauform
  • Optionale lokale Bedienschnittstelle (LOI) bietet eine direkt einsetzbare lokale Anzeige, Sollwertregelung und Gerätekonfiguration; keine zusätzlichen Gerätschaften erforderlich.
  • Vielfältige Kommunikationsoptionen zur leichteren Anpassung an Ihre Anforderungen

Typische Einsatzbereiche für Massendurchflussregler der 4800 Serie

  • Wärmebehandlung, Schneiden, Schweißen und sonstige thermische Prozesse
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) für Solar- und Dünnschicht-Anwendungen
  • Analysegeräte für die Reagenzmessung und -regelung, Kalibrierung und Probengasdurchflüsse
{DD80F177-0644-4E6F-A6F7-8BEE8CCC8148}
Gerätetyp
Massedurchflussregler
{342B34FB-8F48-455C-9369-AC80592A5613}
Unterscheidungsmerkmal

Ultra-fast Response Times

Optional Local Operator Interface

Compact Size

Suitable for Non-corrosive Gases

{AE58DF55-0E8B-480D-8332-15420C054361}
Leistung
{C496FBC9-FE7D-4482-86F7-2A8FCADFFCE9}
Durchflussbereich (Maximalwert)
50 sccm - 40 slpm
{74428B21-3F12-4974-BA4B-E2A60F8E8343}
Genauigkeit

3.0% of FS

1.0% of FS (optional)

{9B06DC17-7D52-45A5-8B9E-B205ECF3CE14}
Wiederholbarkeit

0.15% FS

{7139AB7A-C0FC-4046-97E7-B07D9BB07CA2}
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen Ventil: 300 ms - <1 sec

{8EAD680B-0B27-4967-ACC4-ABD4795DBF0B}
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
—
{9C158444-AA60-4088-8BBA-420D8B70AF5D}
Regelbereich

2-100%

                                        

 

{B0E07062-42F4-4A32-B95B-9E8300E34C8B}
Temperaturkoeffizient
{C2D9ACE3-07AF-4DCD-91DD-6ADDA573C621}
Kennwerte
{026A3548-CA3B-4EE4-8AE4-AFF07B531CC1}
Temperaturbereich

5-50oC (41-122oF)

{7B76E9C7-827A-4AC5-A867-B0A86391D729}
Maximaler Druck

150 psig/10 barg

{0775DDBE-8D9C-407D-B045-1E7390E8F961}
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-55000 sccm = 25-45 psid

*Kontaktieren Sie gerne unseren Technischen Service für weitere Informationen

{9F7B84C0-6CCE-401E-B020-309EE5B3462F}
Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
{F467533C-C8EA-471A-B189-4FBAFA210AA5}
Mechanisch
{BC7545EE-BFD0-4D3F-988E-90C2B5DCD668}
Dichtungsmaterial
Elastomerdichtung
{B4F8528F-91B9-455E-A539-BE8E49C74F3A}
Medienberührte Teile

316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055

{CF205FFF-4E15-4866-AEA6-F9267ABD04DD}
Diagnose und Anzeige
{E8543896-D4FA-454F-8B5B-82A8715652F4}
Diagnosefähigkeit

Available

{F9182909-0674-4E06-973E-AE74464C3FD8}
Elektrisch
{FB651871-1123-4252-80CE-A7524FEDC91E}
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc
4-20 mA

{D195B0C8-F078-4F56-845D-2C555107083E}
Digitale Kommunikation
RS232
{5FCA2484-848D-4854-AE09-458FE5FDCE35}
Eingang und Ausgang

0-5 Vdc, 4-20 mA, RS-232 (Standard with all analog I/O options)

{12602118-7820-4B37-8991-AF33F6965792}
Elektrischer Anschluss

Two 15-pin D-sub connectors

  • One for connection to the 4800 Series
  • One for the remote connection
{0DFB118D-8C54-4AB7-A90C-6533AEFCDB8B}
Spannungsversorgung

+15 Vdc + 10% or +24 Vdc + 10%

{D4333BAF-4CB8-42C2-BE90-3CA3619EF5F5}
Optionale Ausstattung
{36A8037C-83FF-4514-9691-78E2A9798EAC}
Lokale Bedienschnittstelle
P/N: 273L156ZZZ
{D5A49C8D-CAA9-4F77-8EE2-8A4BD7D9CB6D}
Anzeigebereich
28mm wide x 11mm high
{6D1C636F-A70B-4BCF-8F88-07969B26FD11}
Maximale Temperatur
50°C
{DBD00202-21B3-4F02-886E-199125EC4F42}
Luftfeuchte
5 - 95% RH (ambient)
{123B2617-DE2F-472A-B307-283D82137210}
Spannungsversorgung
P/N: 641Z059AAA
{A36B2180-971A-49AE-B7BD-ACDA212744A1}
Benötigte Spannungsversorgung
Das LOI beinhaltet optional ein Steckernetzteil mit einem 3,5 mm DC-Stecker. Der Adapter arbeitet mit Eingangsspannungen von AC 90-240 V/47-63Hz und funktioniert in Steckdosen in Europa, Großbritannien, Australien und den USA. Die Stromversorgung kann auch über den Sub-D-Anschluss erfolgen.
{31E06B21-AF1D-400B-B44B-BEF157935087}
Beachtung
{A6C4D113-2BBE-4FB9-95A7-9119A0661825}
EMV
EMC Directive 2004/108/EC: per EN 61326:2006
{64B8D796-839F-4AFC-A6A2-48CFD7B79CC9}
Zertifikate und Zulassungen

ATEX Zone 2

CSA Div 2/Zone 2 (Recognized)

{8927F383-02A0-4C8F-8BDA-32D608CE783C}
Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

{2EECB1C7-4F8E-4A31-B814-E4DE170F3296}
Größe

Kompakte

4850 4860
Gerätetyp Massedurchflussregler Massedurchflussmesser
Durchflussbereich (Maximalwert) 50 sccm - 40 slpm 50 sccm - 40 slpm
Genauigkeit

3.0% F.S.

1.0% F.S. (optional)

3.0% F.S.

1.0% F.S. (optional)
Wiederholbarkeit

0.15% F.S.

0.15% F.S.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

Maximaler Druck 150 psig/10 barg 150 psig/10 barg
Diagnosefähigkeit

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack
Analoge Kommunikation 0-5 Vdc
4-20 mA 		0-5 Vdc
4-20 mA
Digitale Kommunikation RS232 RS232
Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Installation & Operation Manual - Local Operator Interface pdf English
Profibus® Supplemental Manual - 4800 pdf English
RS232 Supplemental Manual - 4800 pdf English

Verwenden Sie den folgenden Leitfaden (Modellcodeinformationen aus dem Datenblatt), um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übertragen. Wenn Sie Fragen haben oder Hilfe benötigen, wenden Sie sich bitte an unsere Anwendungstechniker oder Ihren lokalen Brooks Instrument Vertreter – wir helfen Ihnen gerne.

Beispiel: 4850 - B1 - 2 - STEP

 

Messgerät Serie

 
   Mechanische Verbindungen 
   Zubehör
  4850    1A - 9/16” -18unf straight thread
   0 - None
     B1 - 1/4” tube compression w/filter
    1 - LOI w/Power Adapter
     C1 - 1/8” tube compression w/filter
    2 - LOI w/o Power Adapter
     D1 - 3/8” tube compression w/filter
  

 

Dateiname Dateityp
4850-B1-2 STEP
Serie 0250
Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Software der Serie 4800
Software der Serie 4800

Überwachung des Durchflusses und Ausführung der Grundfunktionen.