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Home Produkte Massedurchflussregler Elastomergedichtet thermisch Serie 4800

Serie 4800 elastomergedichtete thermische Massedurchflussregler und -messgeräte

Extrem schnelles Ansprechen für zeitkritische Durchflussprozesse
Modelle 4850 / 4860
Je schneller ein thermischer Massedurchflussregler und -messer anspricht, desto effizienter und produktiver kann der Prozess sein. Dies ist der wesentliche Vorteil der Regler und Messgeräte der Serie 4800, die mit einem hochentwickelten MEMS-basierten thermischen Sensor in Kombination mit einem integriertem PID-Algorithmus zur Optimierung des Regel Regelverhaltens ausgerüstet sind: Der Sensor ermöglicht den auserwählten Reglern der Serie 4800 die schnelle Anpassung des Istwertes an beliebige Sollwertänderungen. Die optionale lokale Bedienschnittstelle (LOI, Local Operator Interface) bietet eine komfortable Bedienerschnittstelle zur Anzeige, Regelung und Konfigurierung der Geräte, ohne die Notwendigkeit zusätzlicher Gerätschaften.

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Datenblatt Serie 4800

Merkmale

  • Ausregelzeit (Einschwingzeit) <0,75 Sekunden
  • Innovativer MEMS-Sensor und integrierter PID-Algorithmus
  • Kompakte Bauform ist weniger als halb so groß wie typische thermische MFC: 25 x 76 x 101 mm
  • Optionale lokale Bedienschnittstelle (LOI) erleichtert Einstellung und Betrieb; kostenfreie LabView VI (Virtual Instrument)zur einbindung in vorhandene Computersysteme.
  • Digitalfähig über RS-232

Vorteile

  • Gut geeignet für ein breites Spektrum gebräuchlicher, nichtkorrosiver Gase
  • Schnelles Ansprechen sichert schnelle Prozessrezeptänderungen
  • Exzellent für OEMs: Leichtere Integration in enge Maschinenräume und beschleunigter Einbau dank der kompakten Bauform
  • Optionale lokale Bedienschnittstelle (LOI) bietet eine direkt einsetzbare lokale Anzeige, Sollwertregelung und Gerätekonfiguration; keine zusätzlichen Gerätschaften erforderlich.
  • Vielfältige Kommunikationsoptionen zur leichteren Anpassung an benutzerspezifische Anforderungen

Anwendungen

  • Wärmebehandlung, Schneiden/Schweißen und sonstige thermische Prozesse
  • Systeme für physikalische Solar-/Dünnschicht-Gasphasenabscheidung (PVD)
  • Analysegeräte für die Reagenzmessung und -regelung, Kalibrierung und Probengasdurchflüsse
Gerätetyp
Massedurchflussregler
Unterscheidungsmerkmal

Ultra-fast Response Times

Optional Local Operator Interface

Compact Size

Suitable for Non-corrosive Gases

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
50 sccm - 40 slpm
Gase
Genauigkeit

3.0% of FS

1.0% of FS (optional)

Wiederholbarkeit

0.15% FS

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

Multi-Gas & Range Configurability
—
Regelbereich

2-100%

                                        

 

Temperaturkoeffizient
Kennwerte
Temperaturbereich

5-50oC (41-122oF)

Maximaler Druck

150 psig/10 barg

Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-55000 sccm = 25-45 psid

*Contact Brooks Technical Support for more information.

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Mechanisch
Dichtungsmaterial
Elastomer Seal
Medienberührte Teile

316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055

Diagnose und Anzeige
Diagnosefähigkeit

Available

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc
4-20 mA

Digitale Kommunikation
RS232
Eingang und Ausgang

0-5 Vdc, 4-20 mA, RS-232 (Standard with all analog I/O options)

Elektrischer Anschluss

Compact

Spannungsversorgung

$$

Optionale Ausstattung
Lokale Bedienschnittstelle
P/N: 273L156ZZZ
Anzeigebereich
28mm wide x 11mm high
Maximale Temperatur
50°C
Luftfeuchte
5 - 95% RH (ambient)
Elektrischer Anschluss

Two 15-pin D-sub connectors

  • One for connection to the 4800 Series
  • One for the remote connection
Spannungsversorgung
P/N: 641Z059AAA
Benötigte Spannungsversorgung
The LOI optionally includes a wall mount power adaptor with a 3.5-mm DC-plug. The adaptor works with input voltages of AC 90-240 V/47-63Hz. The adaptor supports European, U.K., Australia and U.S. wall plugs. Power can also be supplied by a remote connection via the D-connector.
Beachtung
EMV
EMC Directive 2004/108/EC: per EN 61326:2006
Zertifikate und Zulassungen

ATEX Zone 2

CSA Div 2/Zone 2 (Recognized)

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

Größe

Compact

4850

4860
Gerätetyp

Mass Flow Controller

 

 Mass Flow Meter
Durchflussbereich (Maximalwert) 50 sccm - 40 slpm 50 sccm - 40 slpm
Genauigkeit

3.0% F.S.

1.0% F.S. (optional)

3.0% F.S.

1.0% F.S. (optional)
Wiederholbarkeit

0.15% F.S.

0.15% F.S.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

Maximaler Druck 150 psig/10 barg 150 psig/10 barg
Diagnosefähigkeit

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack
Analoge Kommunikation 0-5 Vdc
4-20 mA 		0-5 Vdc
4-20 mA
Digitale Kommunikation RS232 RS232
DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Installation & Operation Manual - Local Operator Interface pdf English
Profibus® Supplemental Manual - 4800 pdf English
RS232 Supplemental Manual - 4800 pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: 4850 - B1 - 2 - STEP

  Meter Series 
   Mechanical Connections 
   Accessories 
  4850    1A - 9/16” -18unf straight thread
   0 - None
     B1 - 1/4” tube compression w/filter
    1 - LOI w/Power Adapter
     C1 - 1/8” tube compression w/filter
    2 - LOI w/o Power Adapter
     D1 - 3/8” tube compression w/filter
  

 

DateinameDateityp
4850-B1-2 STEP
Serie 0250

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Brooks Service Suite (BSS)

Eine Windows-basierte Anwendung, die eine weitreichende Kontrolle über die Massedurchflussregler, Anzeiger und Druckregler der Serie 4800, SLA und SLAMF Revision A Series sowie der Quantim® Massedurchflussregler und –messgeräte.

Software der Serie 4800

Überwachung des Durchflusses und Ausführung der Grundfunktionen.