Elastomergedichtete thermische Massedurchflussregler und -messgeräte
Unsere thermischen Massendurchflussmesser und -regler warten mit der für Ihre Prozesse erforderlichen Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit auf. Darüber hinaus sind die Geräte sehr wirtschaftlich, weil sie präzise Leistung und Langzeitstabilität bieten. Für Sie bedeutet das eine signifikante Wertsteigerung Ihrer Anlagen und eine verbesserte Rendite.
Typische Aufgaben, für die Sie elastomergedichtete Massendurchflussregler einsetzen können
- Chemische und petrochemische Prozessanalysen und Pilotprozesse
- Labor- und Analysesysteme
- In Bioreaktoren
- Im Bereich Dünnschicht
- Bei der Wärmebehandlung, dem Schneiden und sonstigen thermischen Prozessen
- Bei Vakuumanwendungen
Produkte
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Gerätetyp | Massedurchflussregler | Massedurchflussregler | Massedurchflussregler | Massedurchflussregler | Massedurchflussmesser |
Unterscheidungsmerkmal |
Großer Durchfluss- und Druckbereich Exzellente Langzeitstabilität Hohe Genauigkeit
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Hohe Genauigkeit MultiFlo™ Funktionalität Kompakte Größe Geeignet für die gesamte Palette an Gasen |
Proven Reliable Performance Long Term Stability Easy to Change Range and Recalibrate in the Field |
IP66 Approved Enclosure Perfect for Hose Down/Wash Down Applications Hazardous Area Approvals
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Economical Ideal Upgrade from Volumetric Devices |
Durchflussbereich (Maximalwert) | .003 - 2500 slpm | 3 sccm - 50 slpm |
0 - 1000 slpm |
.003 - 2500 slpm |
0 - 50 slpm |
Dichtungsmaterial | Elastomerdichtung |
Elastomerdichtung |
Elastomerdichtung | Elastomerdichtung |
Stainless Steel |
Maximaler Druck |
.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar 100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device |
150 psig/10 bar |
Controllers: 1500 psig Meters: up to 4500 psig on some models |
Up to 100 lpm: 1500 psi/100 bar Up to 50 lpm: 4500psi/310 bar (optional) 100-2500 lpm: 1000 psi/70 bar |
150 psig |
Genauigkeit |
17025 Zertifizierte Geräte (einschließlich Linearität, ohne Messunsicherheit des Kalibriersystems, nach SEMI E69) ±0.6% der SP (20-100% FS) ±0.12% der FS (<20% FS) 1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±0.6% der FS Die Genauigkeit beinhaltet die Messunsicherheit von Referenzstandards. ±0.9% der SP (20-100% FS) ±0.18% der FS (2-20% FS) 1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±1.0% der FS |
1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35% |
1% of FS 1.5% of FS > 20 slpm |
17025 Zertifizierte Geräte (einschließlich Linearität, ohne Messunsicherheit des Kalibriersystems, nach SEMI E69) ±0.6% der SP (20-100% FS) ±0.12% der FS (<20% FS) 1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±0.6% der FS Die Genauigkeit beinhaltet die Messunsicherheit von Referenzstandards. ±0.9% der SP (20-100% FS) ±0.18% der FS (2-20% FS) 1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±1.0% der FS |
5% Vollausschlag inklusive Linearität |
Wiederholbarkeit |
0.20% SP |
0.20% SP |
0.25% of Rate |
0.20% SP |
0.50% FS |
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange |
Standard |
MultiFlo™ Available |
— |
Standard |
— |
Diagnosefähigkeit |
Verfügbar
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Verfügbar |
— |
Available
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Analoge Kommunikation |
0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA |
0-5 V, 0-10 V |
0-5 Vdc |
0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA |
0-5 V into 1000 ohms or greater |
Digitale Kommunikation |
DeviceNet™ EtherCAT® EtherNet/IP™ Profibus® PROFINET RS-485 |
DeviceNetTM
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— |
DeviceNet™ EtherNet/IP™ Profibus® PROFINET RS-485 |
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Größe | Medium | Kompakte | — | Large |
Kompakte |
Zertifikate und Zulassungen |
ISO/IEC 17025:2005 UL (Recognized): ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc KOSHA: Ex nA IIC T4
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CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing) Safety EN61010-1
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ISO/IEC 17025:2005 CE: EMC, RoHs, PED
UL Listed/Recognized:
Class 1, Div 2, Group A,B,C,D
Class 1, Zone 2, IIC T4, Class II, Zone 22
ATEX:
II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc
IECEx:
Ex nA IIC T4 Gc
Ex tc IIIC T 85°C Dc
KOSHA: Ex nA IIC T4 Ex tc IIIC T85°C Dc |
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