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Elastomergedichtete thermische Massedurchflussregler und -messgeräte

Bewährte Flexibilität für ein weitgespanntes Massedurchfluss-Anforderungsspektrum

Unsere elastomergedichteten Massedurchflussmesser und -regler kombinieren die für Ihre Prozesse erforderlichen Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit mit wirtschaftlichen Geräten, die präzise Leistung und Langzeitstabilität liefern. Das Ergebnis: Die Investition rechnet sich durch Wertsteigerung der Anlagen und verbesserte Rendite.

Wesentliche Anwendungen

  • Chemiche / Petrochemiche Prozesse Analyse und Pilotprozesse
  • Labore und Analysesysteme
  • Bioreaktoren in der Biowissenschaft
  • Dünnschicht
  • Wärmebehandlung, Schneiden und sonstige thermische Prozesse
  • Vakuumanwendungen

Wählen Sie das Massedurchflussgerät, das Ihre Prozessanforderungen am besten erfüllt.

PRODUKTE

Serie SLA
Serie SLA
Serie GF40
Serie GF40
Serie 5850E und i
Serie 5850E und i
Serie SLAMf
Serie SLAMf
Serie 4800
Serie 4800
Serie 5700
Serie 5700
Gerätetyp Mass Flow Controller Mass Flow Controller Mass Flow Controller Mass Flow Controller Mass Flow Controller Mass Flow Meter
Unterscheidungsmerkmal

Wide Flow & Pressure Range

Superior Long-term Stability

High Accuracy

High Accuracy

MultiFlo™ Capability

Compact Size

Suitable for Full Suite of Gases

Proven Reliable Performance

Long Term Stability

Easy to Change Range and Recalibrate in the Field

NEMA 4X/IP66 Approved Enclosure

Perfect for Hose Down/Wash Down Applications

Hazardous Area Approvals

 

Ultra-fast Response Times

Optional Local Operator Interface

Compact Size

Suitable for Non-corrosive Gases

Economical

Compact

Ideal Upgrade from Volumetric Devices

Durchflussbereich (Maximalwert) .003 - 2500 slpm 3 sccm - 50 slpm

0 - 1000 slpm

.003 - 2500 slpm 50 sccm - 40 slpm

0  - 50 slpm

Dichtungsmaterial Elastomer Seal Elastomer Seal Elastomer Seal Elastomer Seal Elastomer Seal

Stainless Steel

Maximaler Druck

.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar

100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar

Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device

150 psig/10 bar

Controllers: 1500 psig

Meters: up to 4500 psig on some models

Up to 100 lpm: 1500 psi/100 bar

Up to 50 lpm: 4500psi/310 bar (optional)

100-2500 lpm:  1000 psi/70 bar

150 psig/10 barg

150 psig

Genauigkeit

0.9% of SP (20-100% FS)

0.18% of FS (2-20% FS)

1-50 slpm: 0.18% of SP (1-20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: 1.0% of FS

1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%

1% of FS

1.5% of FS > 20 slpm

Up to 100 lpm: 0.90% of SP (20-100% FS)

0.18% of FS (2-20% FS, 1-20% FS from 1 - 50 lpm)

100 - 2500 lpm: 0.90% of SP (20-100% FS)

100 - 1100 lpm: 0.18% of FS (2-20% FS)

1100 - 2500 lpm: 1.0% of FS

3.0% of FS

1.0% of FS (optional)

5% of FS including linearity

Wiederholbarkeit

0.20% SP

0.20% SP

0.25% of Rate

0.20% SP

0.15% FS

0.50% FS

Multi-Gas & Range Configurability

Standard

MultiFlo™ Available

Standard

Diagnosefähigkeit Available

Available

Available

Available

Analoge Kommunikation

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc
0-20 mA
4-20 mA

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA



0-5 Vdc
4-20 mA

0-5 V into 1000 ohms or greater

Digitale Kommunikation DeviceNet™
EtherCAT®
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
RS-485 

DeviceNetTM
EtherCAT®
Profibus®
RS485


DeviceNet™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
RS485





RS232


Größe Medium Compact Medium Large

Compact

Compact

Zertifikate und Zulassungen

ISO/IEC 17025:2005
CE: EMC Directive 2014/30/EU
Directive 2011/65/EU

UL (Recognized):
Class I, Div 2, Group A, B, C, D
Class I, Zone 2, IIC T4
Class II, Zone 22

ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

KOSHA: Ex nA IIC T4

CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Safety EN61010-1

ISO/IEC 17025:2005

CE: EMC, RoHs, PED

UL Listed/Recognized:

Class 1, Div 2, Group A,B,C,D

Class 1, Zone 2, IIC T4, Class II, Zone 22

ATEX:

II 3 G Ex nA IIC T4 Gc 

II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc

IECEx:

Ex nA IIC T4 Gc 

Ex tc IIIC T 85°C Dc 

KOSHA:

Ex nA IIC T4

Ex tc IIIC T85°C Dc

ATEX Zone 2

CSA Div 2/Zone 2 (Recognized)