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Die Serie GF80 der metallgedichteten thermischen Massendurchflussregler

MFCs für höchste Leistungsfähigkeit und Wirtschaftlichkeit
Verfügbare Modelle GF80

Für viele Industrie- und Halbleiterprozesse sind sowohl die Leistungsfähigkeit als auch die Wirtschaftlichkeit ausschlaggebend. Die metallgedichteten Massendurchflussregler und -messgeräte der Serie GF80 liefern Ihnen beides.

Die zuverlässigen Durchflussmesser sind mit einem schnell-ansprechenden Sensor und der patentierten MultiFlo™ Technologie ausgestattet. Für Sie bedeutet das: Höchste Leistung zu einem fairen Preis.

Da keine Sauerstoffpermeation nötig ist, bestehen keine Einschränkungen für die verwendbaren Gase. Durch die Elastomere ist zudem eine verbesserte Gasreinheit gegeben. Die Metalldichtungen sind sehr stabil, sodass sich der Wartungsaufwand stark reduziert.


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Datenblatt Serie GF80

Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,5 % des Endwerts pro Jahr
  • Einschwingzeiten <1 Sekunde
  • Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg - Oberflächenrauigkeit Ra 0,4 µm
  • Der korrosionsbeständige Hastelloy® Sensor kann für Gase, die anfällig für thermische Zersetzung sind, bei niedrigeren Temperaturen arbeiten.
  • Kompatibel mit MultiFlo™: Sie können eine Vielzahl an Gas-Arten und Durchflusswerten mit nur einem Gerät messen
  • Beste Temperaturkoeffizient-Spezifikation seiner Klasse dank aktiver Temperaturkompensation
  • Eingebaute Selbsttestroutinen und unabhängiger Diagnose-/Serviceanschluss
  • Schlankes Gehäuse mit VCR-Verschraubungen oder Downport
  • DeviceNet™, Profibus®, RS-485- und analoge Schnittstellen

IhreVorteile

  • Keine Gasverschwendung oder Prozessschwankungen dank der schnellen Durchflusseinschwingzeit von <1 Sekunde
  • Keine Elastomerdichtungen, die wegen möglicher Sauerstoffpermeation nach gewisser Zeit auszutauschen sind
  • MultiFlo™ vereinfacht und beschleunigt den Prozessgaswechsel — Keine Demontage und Kalibrierung der Massedurchflussregler erforderlich
  • Neue Gase und/oder Bereiche lassen sich in weniger als 60 Sekunden einstellen.
  • Keine Beeinflussung der Messgenauigkeit durch Temperaturschwankungen
  • Maximale Verfügbarkeit durch komfortabel zugänglichen Diagnoseanschluss
  • Kompakte Bauform erleichtert die Integration in engen Gasversorgungsschränken; hervorragende Wahl für Nachrüstungen
  • Die Multiprotokoll-Kommunikationsschnittstelle vereinfacht die Integration in bestehende Systeme

In diesen Bereichen können Sie Massendurchflussregler der GF80 Serie einsetzen

  • Zur wirtschaftlichen Umrüstung/Nachrüstung älterer Massendurchflussregler-Versionen in generalüberholten Halbleiterprozessgeräten
  • Zur Verringerung des Massedurchflussregler-Lagerbestands in der Halbleiterfabrikation
  • In MOCVD-Verfahren für die LED- und Leistungshalbeiter-Fertigung
  • In Systemen für chemische Solar-/Dünnschicht-Gasphasenabscheidungsprozesse (CVD)
  • Als analytische OEM-Ausrüstung
Gerätetyp

Massedurchflussregler

Unterscheidungsmerkmal
High Purity
Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 300 slm
Genauigkeit

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. < 5-35%

Wiederholbarkeit
< ±0.2% S.P.
Linearität

±0.5% F.S. (included in accuracy)

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen: <1 sec

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Available
Druckschwankungsabhängigkeit
Regelbereich

< 5% - 100%

Anzahl der Gerätegrundgrößen

Standard GF Series: 11 bins

High Flow GF Series: 4 bins

Schleichmengen-Unterdrückung

Standard GF Series: < 1% F.S.

High Flow GF Series: < 4% of Standard Configuration F.S. @ 30psig/atm out N2 equiv.

Nullstabilität
< ±0.5% F.S. per year
Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad
16µ inch Ra
Medienberührte Teile

316 Stainless Steel

Hastelloy C-22

17-7 PH

430SS

KM-45

Ventil

Normalerweise geschlossen

Zähler (kein Ventil)

Kennwerte
Maximale Temperatur
50oC
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-50000 sccm = 25-45 psid

51-300 slm = 30-90 psid

(typical pressure drops)

Maximaler Druck

Standard GF Series: 150 psig (10 bar)

High Flow GF Series: Meter = 75 psig (5 bar), Controller = 150 psig (10 bar)

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnose und Anzeige
Diagnosefähigkeit
Verfügbar

Status Leuchten
MFC Gesundheit & Netzwerkstatus
Alarme

Control Valve Output, Network Interruption

Diagnose/Service-Port

RS485 via 2.5mm jack (all models)

 

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

Digitale Kommunikation

DeviceNet™ 

Profibus®

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

RS485 A-Protocol (GF081)

Elektrischer Anschluss

Profibus/Analog via 9-Pin "D" connector

RS485/Analog via 9-Pin"D" connector, 15-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Spannungsversorgung

Standard GF Series:   RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 7 Watts max

                                       Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 7 Watts max

                                       DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 13.6 Watts max

High Flow GF Series: RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 3.3 Watts max

                                       Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 3.3 Watts max

                                       DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 3.3 Watts max

Beachtung
EMV

CE: EN6126: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Einhaltung von Umweltvorschriften

Safety EN61010-1

RoHS

GF80
Unterscheidungsmerkmal

High Purity

Low Flow Rate

Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 55 slm
Oberflächenbeschaffenheit 16µ inch Ra
Genauigkeit

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

Wiederholbarkeit < ± 0.2% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen

<1 sec

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange MultiFlo™ Available
Druckschwankungsabhängigkeit
Diagnosefähigkeit

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung
Analoge Kommunikation

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

Digitale Kommunikation

Profibus

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

 

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English Japanese
Installation & Operation Manual pdf English Japanese
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Verwenden Sie die Modellcodeinformationen aus dem Datenblatt, um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übertragen. Wenn Sie Fragen haben oder Hilfe benötigen, wenden Sie sich bitte an unsere Anwendungstechniker oder Ihren lokalen Brooks Instrument Vertreter – wir helfen Ihnen gerne.

Messgeräte-Serie  Fitting
  Anschluss
GF080  VX - 1/4” VCR

  S5 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V)15-Pin Male D (Brooks® Protocol)

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Steuert und überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.

Smart DDE ist eine Software für den dynamischen Datenaustausch. Sie ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und Brooks® Geräten mit RS485-S-Protokoll.