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Serie GF135 metallgedichtete thermische Massedurchflussregler

Leistung und Intelligenz
Modelle GF135
Mit dem druckunempfindlichen Massedurchflussregler GF135 mit erweiterten Diagnosefunktionen sichern Sie kritische Durchflussprozesse und maximieren den Durchsatz. Der weltweit erste „intelligente“ Massedurchflussregler ist tatsächlich bahnbrechend: Er führt zyklisch eine Eigendiagnose unter Verwendung eines Hilfsvolumens ohne Behinderung des Prozessgasdurchflusses durch. Er ermöglicht Halbleiterherstellern die Überprüfung der Prozessgasgenauigkeit, Kontrolle auf Ventilleckagen und Überwachung der Sensorstabilität in Echtzeit ohne Demontage des Durchflussreglers von der Gasleitung.

Durch die Kombination eines ganz aus Metall bestehenden Strömungswegs mit extrem schnellen Einschwingzeiten und einer branchenweit führenden Prozessgasgenauigkeit bietet der GF135 in den verschiedensten Prozessen ein hohes Optimierungspotential für ihre Produktivität und ihren Durchsatz.

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Datenblatt Serie GF135

Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,5 % des Endwerts pro Jahr
  • Extrem schnelle Einschwingzeiten: <300 ms - <400 ms
  • Maximaler Durchfluss: 3 sml/min bis 5 sl/min
  • Ultrareiner Strömungsweg - Oberflächenrauigkeit Ra 0,1 µm
  • Eingebaute Durchflussfehlererkennung und Trendanzeige in Echtzeit unter Verwendung eines eingebauten Hilfvolumens
  • Erhöhte Prozessgasgenauigkeit - bis zu dreifache Verbesserung - durch Echtgaskalibrierung
  • Druckunempfindlichkeitstechnologie (PTI, Pressure Transient Insensitivity) der dritten Generation
  • Gut lesbares, elektronisch drehbares LCD-Display für die lokale Anzeige von Durchfluss, Temperatur, Druck und Netzwerkadresse
  • DeviceNet™-, RS-485- und analoge Schnittstellen

Vorteile

  • Durchflussfehlererkennung in Echtzeit ermöglicht schnellere Anpassungen an Durchflussabweichungen und unterstützt die Waferertragssteigerung.
  • Sensorstabilitätsverfolgung verbessert durch Unterstützung der vorausschauenden Instandhaltung die Systemverfügbarkeit.
  • Verfolgung von Ventilleckagen als Beitrag zur Minimierung des Effekts des ersten Wafers
  • Erhöhte Prozessgasgenauigkeit erfüllt die Herausforderungen an die Bereitstellung des Prozessgases in 10 nm Prozessen.
  • Marktführende Einregelzeit reduziert die unproduktiven Einschwingschritte und unterstützt die hochentwickelte 3D-Geräteverarbeitung.
  • Erhöhte Druckunempfindlichkeit liefert eine hervorragende Prozessgasregelung für eine verbesserte Ätz- und Abscheidungsregelung.
  • Korrosionsresistenter Sensor aus Hastelloy® bietet unerreichte Langzeitsensorstabilität zur Sicherstellung maximalen Ertrags und Durchsatzes.
  • Mit dem Austausch der Massedurchflussregler mit VCR oder Downport-Prozessanschluss ergibt sich eine verbesserung kritischer Gaslinien innerhalb vorhandener Systeme.

Anwendungen

  • Hochentwickelte Ätzwerkzeuge für Halbleiter
Gerätetyp
Mass Flow Controller
Unterscheidungsmerkmal

Real-Time Flow Error Detection

Advanced Diagnostics

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)

3 sccm - 5 slm (N2 Eq.)

Druckschwankungsabhängigkeit

< 1% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

Genauigkeit

±1% S.P. 10-100% F.S.

±1% S.P. plus ±0.04% F.S. 2-10% F.S.

Wiederholbarkeit
< ±0.15% S.P.
Linearität

Included in accuracy

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

Multi-Gas & Range Configurability

Regelbereich

1 - 100%

Schleichmengenunterdrückung

< 0.5% of F.S. N2

Nullstabilität
< ±0.5% F.S. per year
Temperaturkoeffizient

Span: 0.05% S.P./°C

Zero: 0.005% F.S./°C

Mechanisch
Dichtungsmaterial

Metal

Reinheitsgrad
4µ inch Ra
Medienberührte Teile

SEMI F20 HP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

Ventil

Normally Closed

Kennwerte
Maximale Temperatur

50oC

Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861 - 5000 sccm = 10-45 psid

*Typical pressure drops. Contacts Brooks Technical Support for more information.

Maximaler Druck

100 psia max

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnose und Anzeige
Diagnosefähigkeit
Available

Statuslampen

MFC Health

Network Status

Alarm

Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption, Sensor Drift, Flow Error, Valve Leak

Diagnose/Service-Port

RS485 via 2.5mm jack

Anzeigen

Top Mount Electronically Rotatable Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

DeviceNet™

RS485

Elektrischer Anschluss

Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Spannungsversorgung

Analog/RS485: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

(Under typical operating conditions)

Beachtung
EMV

EC Directive 2004/108/EC

CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/2006)

REACH Directive EC 1907/2006

GF135

Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 5 slm (N2 Eq.)
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

Gase

Ar, BCl3, C4F6-q (@ 800 Torr), C4F8 (@ 1200 Torr), C5F8, CF4, CH2F2, CH3F, CHF3, Cl2, CO2,

H2, HBr, He, N2, N2O, NF3, NH3, O2, SF6, SiCl4 (@ 100 Torr), SiH2Cl2, SiH4, SiHCl3

Verfallsrate ROD by default is disabled/off. It should not be enabled until after the MFC is installed and properly commissioned.
Oberflächenbeschaffenheit 4µ inch Ra
DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English Japanese
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series pdf English

Die Installationssoftware stellt dem Anwender das richtige Installationswerkzeug für die Erstinbetriebnahme ihres Massflowcontroller zur Verfügung.