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Serie GF125 metallgedichtete thermische Massedurchflussregler und -messgeräte

Ein Massedurchflussregler, der alles bietet
Modelle GF125 / GF126

Extrem schnelles Ansprechen und höchste Oberflächengüte – die metallgedichteten Massedurchflussregler und -messgeräte der Serie GF125 sind durch einen zusätzlichen Drucksensor in der Lage, Druckänderungen am Eingang so zu kompensieren, dass der Ausgangsfluss absolut stabil bleibt. So stabilisiert der GF125 mit seiner neuartigen PTI Technologie ihren Prozess. MultiFloTM Technologie:  ein Gerät, eine Vielzahl an Gasarten und Maximaler Durchflusswerten ohne Demontage des Massedurchflussregler  und ohne Genauigkeitskompromisse.

Das Ergebnis: Günstigere und Kompaktere Gasverteiler durch Entfall zusätzlicher Druckregler sowie Druckaufnehmern und zugehöriger Hardware. Dazu die branchenweit beste PTI-Technologie zur Maximierung der Erträge und Produktivität.

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Datenblatt Serie GF125

Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,5 % des Endwerts pro Jahr
  • Extrem schnelle Einschwingzeiten: 300 ms - <700 ms
  • Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
  • Ultrareiner Strömungsweg - Oberflächenrauigkeit Ra 0,1 µm
  • SEMI F20-konforme medienberührte Teile
  • Korrosionsbeständiger Hastelloy® T-Rise Sensor mit ARM-Highspeed-Prozessor
  • Schnell reagierende, membranlose Ventilbaugruppe ohne Differenzdruckbeeinflussung, über mehr als sieben Millionen Zyklen fehlerfrei getestet
  • MultiFlo™ Technologie:  ein Gerät, eine Vielzahl an Gasarten und Maximaler Durchflusswerten ohne Demontage des Massedurchflussregler  und ohne Genauigkeitskompromisse
  • Lokale Anzeige für Durchfluss, Temperatur, Druck und Netzwerkadresse für einfache Fehlerbehebung bei Problemen mit Gasversorgung und Absperrventil.
  • DeviceNet™, RS-485 L-Protokoll und analoge Schnittstellen

Vorteile

  • Durch Kombination der patentierten Durchflusssensortechnologie von Brooks mit einer schnell reagierenden membranlosen Ventilbaugruppe liefert die Serie GF125 eine im Vergleich mit anderen Massedurchflussreglern bis zu 3-mal schnellere Ansprech- und Einschwingzeit.
  • Optimierter medienberührter Strömungsweg für verbessertes Abtrocknen
  • Für eine optimale Prozess- und Lagerhaltungsflexibiltät lässt sich der Massedurchflussregler- mit der Brooks ® MultiFlo™ Software typischerweise im Verhältnis 3:1 neu herunterskalieren, ohne dass Genauigkeit, Turndown oder Schlupfrate gemäß Spezifikation beeinflusst werden. 
  • Eine umfangreiche Gasdatenbank deckt das breiteste Spektrum an Prozessgasen ab.
  • Die Technologie der Druckunempfindlichkeit (PTI, Pressure Transient Insensitivity) überwindet die Beschränkungen konventioneller Massedurchflussregler, die empfindlich auf kleine Einlassdruckschwankungen reagieren. Das Ergebnis sind stabile Leistung und vorhersehbare Genauigkeit.
  • Komfortables Benutzerdisplay und unabhängiger Diagnose- und Serviceanschluss unterstützen die Geräteinstallation, Überwachung und Fehlerbehebung.

Wesentliche Anwendungen

  • Halbleiter
  • MOCVD
  • Gasdurchflussregelanwendungen, die einen vollständig aus Metall bestehenden Strömungsweg erfordern
Gerätetyp

Mass Flow Controller

Unterscheidungsmerkmal

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)

3 sccm - 300 slm

Genauigkeit

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F. S. 2-35%

Wiederholbarkeit
< ±0.15% S.P.
Linearität

±0.5% F.S. (included in accuracy)

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

300ms - < 1 sec

Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normally Open Valve: <1.5 sec

(specific models only)

Multi-Gas & Range Configurability
MultiFlo™ Standard (most models)
Druckschwankungsabhängigkeit

<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

Regelbereich

< 5 - 100%

Anzahl der Gerätegrundgrößen

Standard GF Series: 11 bins

High Flow GF Series: 4 bins

Schleichmengenunterdrückung

< 2% F.S.

Nullstabilität
< ±0.5% F.S. per year
Temperaturkoeffizient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

Mechanisch
Dichtungsmaterial

Metal

Reinheitsgrad
4 - 5µ inch Ra
Medienberührte Teile

SEMI F20 HP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

Ventil

Normally Closed

Normally Open (specific models)

Meter (no valve)

Kennwerte
Maximale Temperatur
50oC
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861 - 7200 sccm = 10 - 45 psid

7201 - 55000 sccm = 15 - 45 psid

51 - 300 slm = 30 - 90 psid

*Typical pressure drops. Contacts Brooks Technical Support for more information.

Maximaler Druck

Standard GF Series: 100 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnose und Anzeige
Diagnosefähigkeit
Available

Statuslampen

MFC Health

Network Status

Alarm

Control Valve Output

Network Interruption

Diagnose/Service-Port

RS485 via 2.5mm jack (all models)

Anzeigen

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

Elektrischer Anschluss

Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Various cable adaptors available. See product data sheet for more information.

Spannungsversorgung

Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

(Under typical operating conditions)

Beachtung
EMV

EC Directive 2004/108/EC

CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

GF125 GF126
Unterscheidungsmerkmal

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

High Flow Rate

Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

Oberflächenbeschaffenheit 4µ inch Ra 4µ inch Ra
Genauigkeit

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

Wiederholbarkeit < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve

300ms (3-860 sccm N2 Eq.)

400ms (861-7200 sccm N2 Eq.)

500ms (7201-30000 sccm N2 Eq.)

<700ms (30001-55000 sccm N2 Eq.)

 

Normally Closed Valve

<1 sec

 

Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normally Open Valve

<1.5 sec

Normally Open Valve

Multi-Gas & Range Configurability MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard
Druckschwankungsabhängigkeit

±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike

Ability to measure inlet pressure

Diagnosefähigkeit

Status Lights - MFC Health, Network Status

Alarms - Control Valve Output, Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

RS485 L Protocol

DeviceNet™

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet - GF125 pdf English Japanese
Data Sheet - GF126 pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: GF125 - WX (Fitting) - GX (Connector) - STEP

Model Series
Fitting Connector File Type
 GF1xx AS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50) BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base  STEP
  CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal
*DX - DeviceNet™ 5 pin micro  
  VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR male EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base  
  WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation  
    G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)  
    SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)  

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte