Unterscheidungsmerkmal
Ultra-High Purity
Ultra-Fast Response Time
Pressure Transient Insensitivity
Durchflussbereich (Maximalwert)
Genauigkeit
±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F. S. 2-35%
Wiederholbarkeit
< ±0.15% S.P.
Linearität
±0.5% F.S. (included in accuracy)
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil
Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil
Normally Open Valve: <1.5 sec
(specific models only)
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Standard (most models)
Druckschwankungsabhängigkeit
<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike
Anzahl der Gerätegrundgrößen
Standard GF Series: 11 bins
High Flow GF Series: 4 bins
Schleichmengen-Unterdrückung
Nullstabilität
< ±0.5% F.S. per year
Temperaturkoeffizient
Span: 0.05% S.P. per °C
Zero: 0.005% F.S. per °C
Reinheitsgrad
4 - 5µ inch Ra
Medienberührte Teile
SEMI F20 HP Compliant
316L VIM/VAR
Hastelloy C-22
316L Stainless Steel
304 Stainless Steel
KM-45
Ventil
Normalerweise geschlossen
Normalerweise geöffnet
Zähler (kein Ventil)
Differenzdruckbereich
3-860 sccm = 7-45 psid
861 - 7200 sccm = 10 - 45 psid
7201 - 55000 sccm = 15 - 45 psid
51 - 300 slm = 30 - 90 psid
*Bei typischen Druckverlusten kontaktieren Sie bitte unseren technischen Support – wir helfen Ihnen gerne.
Maximaler Druck
Standard GF Series: 100 psia max
High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)
Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Status Leuchten
MFC Health
Network Status
Alarme
Control Valve Output
Network Interruption
Diagnose/Service-Port
RS485 via 2.5mm jack (all models)
Anzeigen
Top Mount Integrated LCD
Viewing Angle: Fixed
Viewing Distance: 10 feet
Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)
Resolution: 0.1 (unit)
Digitale Kommunikation
DeviceNet™
RS485 L-Protocol
Elektrischer Anschluss
Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector
DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector
Various cable adaptors available. See product data sheet for more information.
Spannungsversorgung
Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)
DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc
(Under typical operating conditions)
EMV
EC Directive 2004/108/EC
CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
Einhaltung von Umweltvorschriften
RoHS Directive (2011/65/EU)
REACH Directive EC 1907/2006