Skip To Content
Produkte Massedurchflussregler Metallgedichtet thermisch Modell GF100 EtherCAT

Die schnellsten und genauesten MFC`s

Erhöhte Geschwindigkeit durch EtherCAT®
Verfügbare Modelle GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126


Haben Sie Fragen?

Sprechen Sie mit einem unserer Anwendungsexperten, wir helfen Ihnen gerne:

Rufen Sie an unter: +49 351 215 2040

Für Preisinformationen:

Ein Angebot anfordern
EtherCAT® Serie GF100 Flyer

Für Halbleiterprozesse perfektionierte Leistung

  • Echtzeit EtherCAT® -Datenerfassung durch eingebettete Diagnose
  • Ultra-stabiler Durchflusssensor (Drift ≤ 0,15% v. S.P. pro Jahr) ermöglicht höhere Genauigkeit kleiner Sollwertvorgaben verbunden mit reduziertem Wartungsaufwand
  • Verbessertes Schliessverhalten des Ventils (≤ 0,15% des ausgewählten Bereiches) reduziert die Ventil-Leckage bei gleichzeitiger Ertragssteigerung.
  • Nochmals verbesserte Unempfindlichkeit gegenüber Druckschwankungen reduziert das Übersprechen und gewährleistet einen konstanten Massedurchfluss

Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,15 % des Endwerts pro Jahr
  • Einschwingzeiten: 300 ms bis <1 Sekunde
  • Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Option für Oberflächenrauigkeit Ra 0,12 µm oder 0,25 µm  
  • Der korrosionsbeständige Hastelloy® T-Rise Sensor verbessert die Reproduzierbarkeit bei erhöhten Temperaturen. 
  • MultiFlo™ Technologie: ein Gerät, eine Vielzahl an Gasarten und Maximaler Durchflusswerten ohne Demontage des Massedurchflussregler und ohne Genauigkeitskompromisse
  • Komfortables Display sowie unabhängiger Diagnose- / Service-Port unterstützen bei Geräteinstallation, Überwachung und Fehlersuche
  • GF120 Safe Delivery System (SDS®) ist ein druckverlustarmer Massedurchflussregler von Brooks mit dem sichere Bereitstellungssysteme (SDS) für die Unterdruckbereitstellung von Gasen für Implantations- und Ätzprozesse realisiert werden können

Ihre Vorteile

  • Außergewöhnliche Leistung
  • Schnellste Reaktionszeiten steigern die Effektivität Ihrer Applikation 
  • Flexible Topologie
  • Praktisch unbegrenzte Netzwerktopologie möglich
  • Einfach und robust
  • Konfiguration, Diagnose und Wartung
  • Erschwinglich
  • Standardmässig mit Ethernet-Port 

Applikationen

  • Ätzsysteme für Halbleiterherstellung
  • Systeme für chemische Dünnschicht-Gasphasenabscheidung (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Systeme mit physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD)
  • Epitaxialprozesssysteme

{DEBCCA8D-7434-4BA7-B54F-92D4EDC04A75}
Gerätetyp
Massedurchflussregler
{8B89F14C-B912-4424-BCC5-AA95C46D59C6}
Unterscheidungsmerkmal

EtherCAT Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Embedded Diagnostics

Ultra-stable Flow Sensor

Improved Valve Shutdown

{FFBE3C7F-0139-4CBE-AF94-74D8A0B30009}
Leistung
{98B3C086-0985-4066-807F-25A2E7C53EEB}
Durchflussbereich (Maximalwert)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

{057BC068-8AB8-4BD6-A8B3-CD29145D4DF9}
Genauigkeit

Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%

High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%

{5B41E208-F4F0-4FC0-9111-CD17A8732770}
Wiederholbarkeit
< ±0.15% S.P.
{DD758BDD-DC5E-4D81-B070-C51FEA9BEA18}
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen: 300 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

{2F1BACB2-A180-49D2-B83D-EF895EA85224}
Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normalerweise geöffnet: <1.5 sec (specific models)

{D301F211-A735-4E4E-B229-495A16152C83}
Druckschwankungsabhängigkeit

Specific models

{B0847CB2-612D-47B5-AF00-D9D3CB8DAD32}
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Standard (most models)
{1374FB78-7FB7-4CFF-A118-5F0CAD7B25A1}
Regelbereich

Standard GF Series:  2-100%

High Flow GF Series: 5-100%

{0C2AFBD5-F1CD-48C0-8FC4-5216C27FF550}
Anzahl der Gerätegrundgrößen

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

{C7BE52FB-B8E6-44DC-BEFB-DCF0FBE99991}
Schleichmengen-Unterdrückung

Standard GF Series: < 0.15% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

{3F92A104-D508-4775-8D9D-7E7DCE62EDD9}
Nullstabilität

< ±0.15% F.S. per year

{60452C9A-BF36-444D-93A6-CCEE2F21D1C1}
Temperaturkoeffizient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

{BCC7C7BB-C17C-4AA7-9ADD-61780C3EE5F4}
Mechanisch
{0958A6A9-71D6-4F26-9137-91EDC4625EA5}
Dichtungsmaterial
Metal
{03131EF2-B3E3-48A2-99D2-FA45A35FF3E3}
Reinheitsgrad

5 - 10µ inch Ra

{87A68973-BB8F-487E-855A-69FEA4FFFF66}
Medienberührte Teile

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

{8FC7632B-8368-41BD-826E-B464E8A5E0BC}
Ventil

Normalerweise geschlossen

Normalerweise geöffnet

Zähler (kein Ventil)

{94F70132-F545-4627-9AE6-23B21068029A}
Kennwerte
{8B312DB0-CCA6-4685-AF36-F91260857AE9}
Maximale Temperatur
50oC
{80BBEAF4-4D4F-49A0-8C75-7199B4A700A8}
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 10-45 psid

7201-55000 sccm = 15-45 psid

51 slm-300 slm = 30-90 psid

SDS Models 10 Torr- 30 psid typical

*Bei typischen Druckverlusten kontaktieren Sie bitte unseren technischen Support – wir helfen Ihnen gerne.

{7A261F9D-32B9-4A05-B2FC-96981C6ED085}
Maximaler Druck

Standard GF Series: up to 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

{6E5FC165-C3A0-43F7-A3A6-65541C20BA4D}
Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
{FD0F3EAE-7739-4E0D-AEAB-34FA7068CA98}
Diagnose und Anzeige
{4C717972-2B93-453A-AE05-A480456E8950}
Diagnosefähigkeit
Verfügbar

{1EDA9026-203E-4B26-86C4-3BE44F6E9364}
Status Leuchten

Run

Error

Power

Network Status

{AFFD95BD-CF8E-4D68-B535-F99D31B78954}
Alarme

Control Valve Output

Network Interruption

Temperature High/Low

Pressure High/Low

Power Surge/Sag

{E866E098-05A5-4290-94ED-9267E9BC1068}
Diagnose/Service-Port

Micro USB

{0B05CA40-E0DB-4DFF-915C-FC9D400DDBDF}
Anzeigen

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

{2968243A-89B4-47FA-95CF-5CC6A110956B}
Elektrisch
{26790E4F-2742-4CEB-BCAD-961628E74B1C}
Analoge Kommunikation

—

{8DF0F740-166B-4660-B620-D7997FA6AACE}
Digitale Kommunikation

EtherCAT®

{53E88974-5783-4CA5-98F3-B802CD91CC8F}
Elektrischer Anschluss

Power via 5-pin M8 Connector, EtherCAT via twin RJ45

{AEE200ED-68A0-43B5-B9DC-BD8F1863CA4F}
Spannungsversorgung

24 Vdc, 7 Watts

(Under typical operating conditions)

GF100 GF101 GF120 GF120XSD GF120XSL GF121 GF125 GF126
Unterscheidungsmerkmal

High Purity

High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

SDS Gas Delivery

SDS Gas Delivery

Ultra-High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response

Pressure Transient Insensitivity

High Flow Rate
Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

 3 sccm - 55 slm >25 sccm - 1 slm 4 - 25 sccm

55 slm - 300 slm

 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm
Oberflächenbeschaffenheit 10µ inch Ra 10µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra
Genauigkeit

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%
Wiederholbarkeit < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

 < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen

<1 sec

Normalerweise geschlossen

<1 sec

Normalerweise geschlossen

700 ms

Normalerweise geschlossen

<3 sec

Normalerweise geschlossen

<3 sec

Normalerweise geschlossen

<1 sec

Normalerweise geschlossen

300ms - <700ms

 

Normalerweise geschlossen

<1 sec

 
Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normalerweise geöffnet

<1.5 sec

Normalerweise geöffnet

—

Normalerweise geöffnet

<1.5 sec

Normalerweise geöffnet

—

Normalerweise geöffnet

—

Normalerweise geöffnet

—

Normalerweise geöffnet

<1.5 sec

Normalerweise geöffnet

—
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard — — MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard
Druckschwankungsabhängigkeit — — — — — —

±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike

Ability to measure inlet pressure
Diagnosefähigkeit

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten & Alarme
Digitale Kommunikation

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT
Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Flyer pdf English
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF1xx pdf English
Serie 0250
Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

MultiFlo™ Konfigurator
MultiFlo™ Konfigurator