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Produkte Massendurchflussmesser Metallgedichtete Massendurchflussregler Modell GF100 EtherCAT

Die schnellsten und genauesten MFC`s

Erhöhte Geschwindigkeit durch EtherCAT®
Verfügbare Modelle GF100 / GF101 / GF120 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126


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EtherCAT® Serie GF100 Flyer

Für Halbleiterprozesse perfektionierte Leistung

  • Echtzeit EtherCAT® -Datenerfassung durch eingebettete Diagnose
  • Ultra-stabiler Durchflusssensor (Drift ≤ 0,15% v. S.P. pro Jahr) ermöglicht höhere Genauigkeit kleiner Sollwertvorgaben verbunden mit reduziertem Wartungsaufwand
  • Verbessertes Schliessverhalten des Ventils (≤ 0,15% des ausgewählten Bereiches) reduziert die Ventil-Leckage bei gleichzeitiger Ertragssteigerung.
  • Nochmals verbesserte Unempfindlichkeit gegenüber Druckschwankungen reduziert das Übersprechen und gewährleistet einen konstanten Massedurchfluss

Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,15 % des Endwerts pro Jahr
  • Einschwingzeiten: 300 ms bis <1 Sekunde
  • Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Option für Oberflächenrauigkeit Ra 0,12 µm oder 0,25 µm  
  • Der korrosionsbeständige Hastelloy® T-Rise Sensor verbessert die Reproduzierbarkeit bei erhöhten Temperaturen. 
  • MultiFlo™ Technologie: ein Gerät, eine Vielzahl an Gasarten und Maximaler Durchflusswerten ohne Demontage des Massedurchflussregler und ohne Genauigkeitskompromisse
  • Komfortables Display sowie unabhängiger Diagnose- / Service-Port unterstützen bei Geräteinstallation, Überwachung und Fehlersuche
  • GF120 Safe Delivery System (SDS®) ist ein druckverlustarmer Massedurchflussregler von Brooks mit dem sichere Bereitstellungssysteme (SDS) für die Unterdruckbereitstellung von Gasen für Implantations- und Ätzprozesse realisiert werden können

Ihre Vorteile

  • Außergewöhnliche Leistung
  • Schnellste Reaktionszeiten steigern die Effektivität Ihrer Applikation 
  • Flexible Topologie
  • Praktisch unbegrenzte Netzwerktopologie möglich
  • Einfach und robust
  • Konfiguration, Diagnose und Wartung
  • Erschwinglich
  • Standardmässig mit Ethernet-Port 

Applikationen

  • Ätzsysteme für Halbleiterherstellung
  • Systeme für chemische Dünnschicht-Gasphasenabscheidung (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Systeme mit physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD)
  • Epitaxialprozesssysteme

{DEBCCA8D-7434-4BA7-B54F-92D4EDC04A75}
Gerätetyp
Massedurchflussregler
{8B89F14C-B912-4424-BCC5-AA95C46D59C6}
Unterscheidungsmerkmal

EtherCAT Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Embedded Diagnostics

Ultra-stable Flow Sensor

Improved Valve Shutdown

{FFBE3C7F-0139-4CBE-AF94-74D8A0B30009}
Leistung
{98B3C086-0985-4066-807F-25A2E7C53EEB}
Durchflussbereich (Maximalwert)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

{057BC068-8AB8-4BD6-A8B3-CD29145D4DF9}
Genauigkeit

Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%

High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%

{5B41E208-F4F0-4FC0-9111-CD17A8732770}
Wiederholbarkeit
< ±0.15% S.P.
{DD758BDD-DC5E-4D81-B070-C51FEA9BEA18}
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen: 300 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

{2F1BACB2-A180-49D2-B83D-EF895EA85224}
Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normalerweise geöffnet: <1.5 sec (specific models)

{D301F211-A735-4E4E-B229-495A16152C83}
Druckschwankungsabhängigkeit

Specific models

{B0847CB2-612D-47B5-AF00-D9D3CB8DAD32}
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Standard (most models)
{1374FB78-7FB7-4CFF-A118-5F0CAD7B25A1}
Regelbereich

Standard GF Series:  2-100%

High Flow GF Series: 5-100%

{0C2AFBD5-F1CD-48C0-8FC4-5216C27FF550}
Anzahl der Gerätegrundgrößen

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

{C7BE52FB-B8E6-44DC-BEFB-DCF0FBE99991}
Schleichmengen-Unterdrückung

Standard GF Series: < 0.15% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

{3F92A104-D508-4775-8D9D-7E7DCE62EDD9}
Nullstabilität

< ±0.15% F.S. per year

{60452C9A-BF36-444D-93A6-CCEE2F21D1C1}
Temperaturkoeffizient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

{BCC7C7BB-C17C-4AA7-9ADD-61780C3EE5F4}
Mechanisch
{0958A6A9-71D6-4F26-9137-91EDC4625EA5}
Dichtungsmaterial
Metal
{03131EF2-B3E3-48A2-99D2-FA45A35FF3E3}
Reinheitsgrad

5 - 10µ inch Ra

{87A68973-BB8F-487E-855A-69FEA4FFFF66}
Medienberührte Teile

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

{8FC7632B-8368-41BD-826E-B464E8A5E0BC}
Ventil

Normalerweise geschlossen

Normalerweise geöffnet

Zähler (kein Ventil)

{94F70132-F545-4627-9AE6-23B21068029A}
Kennwerte
{8B312DB0-CCA6-4685-AF36-F91260857AE9}
Maximale Temperatur
50oC
{80BBEAF4-4D4F-49A0-8C75-7199B4A700A8}
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 10-45 psid

7201-55000 sccm = 15-45 psid

51 slm-300 slm = 30-90 psid

SDS Models 10 Torr- 30 psid typical

*Bei typischen Druckverlusten kontaktieren Sie bitte unseren technischen Support – wir helfen Ihnen gerne.

{7A261F9D-32B9-4A05-B2FC-96981C6ED085}
Maximaler Druck

Standard GF Series: up to 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

{6E5FC165-C3A0-43F7-A3A6-65541C20BA4D}
Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
{FD0F3EAE-7739-4E0D-AEAB-34FA7068CA98}
Diagnose und Anzeige
{4C717972-2B93-453A-AE05-A480456E8950}
Diagnosefähigkeit
Verfügbar

{1EDA9026-203E-4B26-86C4-3BE44F6E9364}
Status Leuchten

Run

Error

Power

Network Status

{AFFD95BD-CF8E-4D68-B535-F99D31B78954}
Alarme

Control Valve Output

Network Interruption

Temperature High/Low

Pressure High/Low

Power Surge/Sag

{E866E098-05A5-4290-94ED-9267E9BC1068}
Diagnose/Service-Port

Micro USB

{0B05CA40-E0DB-4DFF-915C-FC9D400DDBDF}
Anzeigen

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

{2968243A-89B4-47FA-95CF-5CC6A110956B}
Elektrisch
{26790E4F-2742-4CEB-BCAD-961628E74B1C}
Analoge Kommunikation

—

{8DF0F740-166B-4660-B620-D7997FA6AACE}
Digitale Kommunikation

EtherCAT®

{53E88974-5783-4CA5-98F3-B802CD91CC8F}
Elektrischer Anschluss

Power via 5-pin M8 Connector, EtherCAT via twin RJ45

{AEE200ED-68A0-43B5-B9DC-BD8F1863CA4F}
Spannungsversorgung

24 Vdc, 7 Watts

(Under typical operating conditions)

GF100 GF101 GF120 GF120 GF120XSD GF120XSL GF121 GF125 GF126
Unterscheidungsmerkmal

High Purity

High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Highest Flow Range

Proven, reliable technology

SDS Gas Delivery

SDS Gas Delivery

Ultra-High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response

Pressure Transient Insensitivity

High Flow Rate
Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

 3 sccm - 55 slm 3 sccm - 55 slm >25 sccm - 1 slm 4 - 25 sccm

55 slm - 300 slm

 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm
Oberflächenbeschaffenheit 10µ inch Ra 10µ inch Ra

5µ inch Ra

 4µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra
Genauigkeit

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%
Wiederholbarkeit < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

 < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen

<1 sec

Normalerweise geschlossen

<1 sec

Normalerweise geschlossen

700 ms

Normalerweise geschlossen

700 ms

Normalerweise geschlossen

<3 sec

Normalerweise geschlossen

<3 sec

Normalerweise geschlossen

<1 sec

Normalerweise geschlossen

300ms - <700ms

 

Normalerweise geschlossen

<1 sec

 
Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normalerweise geöffnet

<1.5 sec

Normalerweise geöffnet

—

Normalerweise geöffnet

<1.5 sec

Normalerweise geöffnet

<1.5 sec

Normalerweise geöffnet

—

Normalerweise geöffnet

—

Normalerweise geöffnet

—

Normalerweise geöffnet

<1.5 sec

Normalerweise geöffnet

—
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard — — MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard
Druckschwankungsabhängigkeit — — — — — — —

±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike

Ability to measure inlet pressure
Diagnosefähigkeit

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten & Alarme

Status Leuchten & Alarme
Digitale Kommunikation

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT
Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Flyer pdf English
Data Sheet GF100 EtherCAT pdf Chinese English
Data Sheet GF120xHT pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF1xx pdf English
Serie 0250
Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

MultiFlo™ Konfigurator
MultiFlo™ Konfigurator
MultiFlo™ Konfigurator