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Die schnellsten und genauesten MFC`s

Erhöhte Geschwindigkeit durch EtherCAT®
Modelle GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126


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EtherCAT® Serie GF100 Flyer

Für Halbleiterprozesse perfektionierte Leistung

  • Echtzeit EtherCAT® -Datenerfassung durch eingebettete Diagnose
  • Ultra-stabiler Durchflusssensor (Drift ≤ 0,15% v. S.P. pro Jahr) ermöglicht höhere Genauigkeit kleiner Sollwertvorgaben verbunden mit reduziertem Wartungsaufwand
  • Verbessertes Schliessverhalten des Ventils (≤ 0,15% des ausgewählten Bereiches) reduziert die Ventil-Leckage bei gleichzeitiger Ertragssteigerung.
  • Nochmals verbesserte Unempfindlichkeit gegenüber Druckschwankungen reduziert das Übersprechen und gewährleistet einen konstanten Massedurchfluss

Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,15 % des Endwerts pro Jahr
  • Einschwingzeiten: 300 ms bis <1 Sekunde
  • Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Option für Oberflächenrauigkeit Ra 0,12 µm oder 0,25 µm  
  • Der korrosionsbeständige Hastelloy® T-Rise Sensor verbessert die Reproduzierbarkeit bei erhöhten Temperaturen. 
  • MultiFlo™ Technologie: ein Gerät, eine Vielzahl an Gasarten und Maximaler Durchflusswerten ohne Demontage des Massedurchflussregler und ohne Genauigkeitskompromisse
  • Komfortables Display sowie unabhängiger Diagnose- / Service-Port unterstützen bei Geräteinstallation, Überwachung und Fehlersuche
  • GF120 Safe Delivery System (SDS®) ist ein druckverlustarmer Massedurchflussregler von Brooks mit dem sichere Bereitstellungssysteme (SDS) für die Unterdruckbereitstellung von Gasen für Implantations- und Ätzprozesse realisiert werden können

Vorteile

  • Außergewöhnliche Leistung
  • Schnellste Reaktionszeiten steigern die Effektivität Ihrer Applikation 
  • Flexible Topologie
  • Praktisch unbegrenzte Netzwerktopologie möglich
  • Einfach und robust
  • Konfiguration, Diagnose und Wartung
  • Erschwinglich
  • Standardmässig mit Ethernet-Port 

Applikationen

  • Ätzsysteme für Halbleiterherstellung
  • Systeme für chemische Dünnschicht-Gasphasenabscheidung (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Systeme mit physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD)
  • Epitaxialprozesssysteme

Gerätetyp

Mass Flow Controller

Unterscheidungsmerkmal

EtherCAT Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Embedded Diagnostics

Ultra-stable Flow Sensor

Improved Valve Shutdown

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

Genauigkeit

Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%

High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%

Wiederholbarkeit
< ±0.15% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve: 300 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normally Open Valve: <1.5 sec (specific models)

Druckschwankungsabhängigkeit

Specific models

Multi-Gas & Range Configurability
MultiFlo™ Standard (most models)
Regelbereich

Standard GF Series:  2-100%

High Flow GF Series: 5-100%

Anzahl der Gerätegrundgrößen

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

Schleichmengenunterdrückung

Standard GF Series: < 0.15% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

Nullstabilität

< ±0.15% F.S. per year

Temperaturkoeffizient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad

5 - 10µ inch Ra

Medienberührte Teile

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

Ventil

Normally Closed

Normally Open (specific models only)

Meter (no valve)

Kennwerte
Maximale Temperatur
50oC
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 10-45 psid

7201-55000 sccm = 15-45 psid

51 slm-300 slm = 30-90 psid

SDS Models 10 Torr- 30 psid typical

*Typical pressure drops. Contact Brooks Technical Support for more information.

Maximaler Druck

Standard GF Series: up to 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnose und Anzeige
Diagnosefähigkeit
Available

Statuslampen

Run

Error

Power

Network Status

Alarm

Control Valve Output

Network Interruption

Temperature High/Low

Pressure High/Low

Power Surge/Sag

Diagnose/Service-Port

Micro USB

Anzeigen

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

Elektrisch
Analoge Kommunikation

Digitale Kommunikation

EtherCAT®

Elektrischer Anschluss

Power via 5-pin M8 Connector, EtherCAT via twin RJ45

Spannungsversorgung

24 Vdc, 7 Watts

(Under typical operating conditions)

GF100

GF101

GF120

GF120XSL GF120XSD GF121 GF125

GF126

Unterscheidungsmerkmal

High Purity

High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

SDS Gas Delivery

SDS Gas Delivery

Ultra-High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response

Pressure Transient Insensitivity

High Flow Rate

Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

3 sccm - 55 slm 4 - 25 sccm >25 sccm - 1 slm

55 slm - 300 slm

3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

Oberflächenbeschaffenheit 10µ inch Ra 10µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

Genauigkeit

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

Wiederholbarkeit < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed

700 ms

Normally Closed

<3 sec

Normally Closed

<3 sec

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed

300ms - <700ms

 

Normally Closed

<1 sec

 

Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

Normally Open

Normally Open

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

Multi-Gas & Range Configurability MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard
Druckschwankungsabhängigkeit

±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike

Ability to measure inlet pressure

Diagnosefähigkeit

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Digitale Kommunikation

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Flyer pdf English
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF1xx pdf English

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte