Die schnellsten und genauesten MFC`s

Erhöhte Geschwindigkeit durch EtherCAT®

Verfügbare Modelle GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126

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EtherCAT® Serie GF100 Flyer

Für Halbleiterprozesse perfektionierte Leistung

Echtzeit EtherCAT® -Datenerfassung durch eingebettete Diagnose
Ultra-stabiler Durchflusssensor (Drift ≤ 0,15% v. S.P. pro Jahr) ermöglicht höhere Genauigkeit kleiner Sollwertvorgaben verbunden mit reduziertem Wartungsaufwand
Verbessertes Schliessverhalten des Ventils (≤ 0,15% des ausgewählten Bereiches) reduziert die Ventil-Leckage bei gleichzeitiger Ertragssteigerung.
Nochmals verbesserte Unempfindlichkeit gegenüber Druckschwankungen reduziert das Übersprechen und gewährleistet einen konstanten Massedurchfluss

Merkmale

Langzeitnullpunktstabilität von <±0,15 % des Endwerts pro Jahr
Einschwingzeiten: 300 ms bis <1 Sekunde
Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Option für Oberflächenrauigkeit Ra 0,12 µm oder 0,25 µm
Der korrosionsbeständige Hastelloy® T-Rise Sensor verbessert die Reproduzierbarkeit bei erhöhten Temperaturen.
MultiFlo™ Technologie: ein Gerät, eine Vielzahl an Gasarten und Maximaler Durchflusswerten ohne Demontage des Massedurchflussregler und ohne Genauigkeitskompromisse
Komfortables Display sowie unabhängiger Diagnose- / Service-Port unterstützen bei Geräteinstallation, Überwachung und Fehlersuche
GF120 Safe Delivery System (SDS®) ist ein druckverlustarmer Massedurchflussregler von Brooks mit dem sichere Bereitstellungssysteme (SDS) für die Unterdruckbereitstellung von Gasen für Implantations- und Ätzprozesse realisiert werden können

Ihre Vorteile

Außergewöhnliche Leistung
Schnellste Reaktionszeiten steigern die Effektivität Ihrer Applikation
Flexible Topologie
Praktisch unbegrenzte Netzwerktopologie möglich
Einfach und robust
Konfiguration, Diagnose und Wartung
Erschwinglich
Standardmässig mit Ethernet-Port

Applikationen

Ätzsysteme für Halbleiterherstellung
Systeme für chemische Dünnschicht-Gasphasenabscheidung (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
Systeme mit physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD)
Epitaxialprozesssysteme

Gerätetyp

Massedurchflussregler

Unterscheidungsmerkmal

EtherCAT Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Embedded Diagnostics

Ultra-stable Flow Sensor

Improved Valve Shutdown

Leistung

Durchflussbereich (Maximalwert)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

Genauigkeit

Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%

High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%

Wiederholbarkeit

< ±0.15% S.P.

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen: 300 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normalerweise geöffnet: <1.5 sec (specific models)

Druckschwankungsabhängigkeit

Specific models

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange

MultiFlo™ Standard (most models)

Regelbereich

Standard GF Series: 2-100%

High Flow GF Series: 5-100%

Anzahl der Gerätegrundgrößen

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

Schleichmengen-Unterdrückung

Standard GF Series: < 0.15% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

Nullstabilität

< ±0.15% F.S. per year

Temperaturkoeffizient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

Mechanisch

Dichtungsmaterial

Metal

Reinheitsgrad

5 - 10µ inch Ra

Medienberührte Teile

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

Ventil

Normalerweise geschlossen

Normalerweise geöffnet

Zähler (kein Ventil)

Kennwerte

Maximale Temperatur

50^oC

Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 10-45 psid

7201-55000 sccm = 15-45 psid

51 slm-300 slm = 30-90 psid

SDS Models 10 Torr- 30 psid typical

*Bei typischen Druckverlusten kontaktieren Sie bitte unseren technischen Support – wir helfen Ihnen gerne.

Maximaler Druck

Standard GF Series: up to 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Leckrate

1x10^-10 atm cc/sec He

Diagnose und Anzeige

Diagnosefähigkeit

Verfügbar

Status Leuchten

Run

Error

Power

Network Status

Alarme

Control Valve Output

Network Interruption

Temperature High/Low

Pressure High/Low

Power Surge/Sag

Diagnose/Service-Port

Micro USB

Anzeigen

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

Elektrisch

Analoge Kommunikation

Digitale Kommunikation

EtherCAT®

Elektrischer Anschluss

Power via 5-pin M8 Connector, EtherCAT via twin RJ45

Spannungsversorgung

24 Vdc, 7 Watts

(Under typical operating conditions)

	GF100	GF101	GF120	GF120XSL	GF120XSD	GF121	GF125	GF126
Unterscheidungsmerkmal	High Purity	High Purity High Flow Rate	Ultra-High Purity Ultra-Fast Response Time	SDS Gas Delivery	SDS Gas Delivery	Ultra-High Purity High Flow Rate	Ultra-High Purity Ultra-Fast Response Pressure Transient Insensitivity	High Flow Rate
Durchflussbereich (Maximalwert)	3 sccm - 55 slm	55 slm - 300 slm	3 sccm - 55 slm	4 - 25 sccm	>25 sccm - 1 slm	55 slm - 300 slm	3 sccm - 55 slm	55 slm - 300 slm
Oberflächenbeschaffenheit	10µ inch Ra	10µ inch Ra	5µ inch Ra	5µ inch Ra	5µ inch Ra	5µ inch Ra	5µ inch Ra	5µ inch Ra
Genauigkeit	±1% S.P. > 20-100% ±0.20% F.S. 2-20%	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% S.P. > 20-100% ±0.20% F.S. 2-20%	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% S.P. > 20-100% ±0.20% F.S. 2-20%	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%
Wiederholbarkeit	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil	Normalerweise geschlossen <1 sec	Normalerweise geschlossen <1 sec	Normalerweise geschlossen 700 ms	Normalerweise geschlossen <3 sec	Normalerweise geschlossen <3 sec	Normalerweise geschlossen <1 sec	Normalerweise geschlossen 300ms - <700ms	Normalerweise geschlossen <1 sec
Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil	Normalerweise geöffnet <1.5 sec	Normalerweise geöffnet —	Normalerweise geöffnet <1.5 sec	Normalerweise geöffnet —	Normalerweise geöffnet —	Normalerweise geöffnet —	Normalerweise geöffnet <1.5 sec	Normalerweise geöffnet —
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange	MultiFlo™ Standard	MultiFlo™ Standard	MultiFlo™ Standard	—	—	MultiFlo™ Standard	MultiFlo™ Standard	MultiFlo™ Standard
Druckschwankungsabhängigkeit	—	—	—	—	—	—	±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike	Ability to measure inlet pressure
Diagnosefähigkeit	Status Leuchten & Alarme	Status Leuchten & Alarme	Status Leuchten & Alarme	Status Leuchten & Alarme	Status Leuchten & Alarme	Status Leuchten & Alarme	Status Leuchten & Alarme	Status Leuchten & Alarme
Digitale Kommunikation	EtherCAT	EtherCAT	EtherCAT	EtherCAT	EtherCAT	EtherCAT	EtherCAT	EtherCAT

Dateiname	Dateityp	Dokumente nach Sprache
Flyer	pdf	English
Data Sheet	pdf	English
Installation & Operation Manual	pdf	English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF1xx	pdf	English

Dateiname	Dateityp
GF100-GF120-GF125-CX-E0	DXF
GF100-GF120-GF125-CX-E0	IGS
GF100-GF120-GF125-CX-E0	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-E0	DXF
GF100-GF120-GF125-VX-E0	IGS
GF100-GF120-GF125-VX-E0	STEP
GF101-GF121-GF126-V1-E0	DXF
GF101-GF121-GF126-V1-E0	IGS
GF101-GF121-GF126-V1-E0	STEP
GF100-GF120-GF125-WX-E0	DXF
GF100-GF120-GF125-WX-E0	IGS
GF100-GF120-GF125-WX-E0	STEP

Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

MultiFlo™ Konfigurator