Skip links

Massendurchflussregler der Serie GF100 für die Halbleiterproduktion

Herausragende Leistung, Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit – mit den MFCs der Serie GF100
Verfügbare Modelle GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121

Metallgedichtete Massendurchflussregler und -messgeräte der Serie GF100 sind nicht nur sehr schnell ansprechbar. Die leistungsstarken MFCs bieten Ihnen auch eine hohe Wiederholbarkeit und Reinheit. Die Durchflussmessgeräte sind extra für die Halbleiterproduktion entwickelt.

Dabei übertrifft die Serie GF100 den Halbleiterindustriestandard und stellt eine wiederholbare, zuverlässige Leistung sicher. Alle Durchflussmesser der Serie sind zudem standardmäßig mit MultiFlo™ ausgestattet. So können Sie eine Vielzahl an Gas-Arten mit nur einem Massendurchflussregler messen.


Haben Sie Fragen?

Sprechen Sie mit einem unserer Anwendungsexperten, wir helfen Ihnen gerne:

Rufen Sie an unter: +49 351 215 2040

Für Preisinformationen:

Ein Angebot anfordern
Datenblatt Serie GF100

Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,5 % des Endwerts pro Jahr
  • Einschwingzeiten: 700 ms - <1 Sekunde
  • Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Option für Oberflächenrauigkeit Ra 0,1 µm oder 0,25 µm
  • Der korrosionsbeständige Hastelloy® T-Rise Sensor verbessert die Reproduzierbarkeit bei erhöhten Temperaturen.
  • Kompatibel mit MultiFlo™: Sie können eine Vielzahl an Gas-Arten und Durchflusswerten mit nur einem Gerät messen
  • Lokale Anzeige
  • Optionales sicheres Gas-Bereitstellungssystem (SDS)
  • DeviceNet™, RS-485 L-Protokoll und analoge Schnittstellen

Ihre Vorteile

  • Absolut zuverlässig (im Dauerbetrieb entsprechend dem Siebenfachen des Halbleiterindustriestandards)
  • Schnelle Gaswechsel während des Spülprozesses dank korrosionsbeständiger, vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg mit reduzierten Oberflächen und Totvolumen. 
  • Mit MultiFlo™ lassen sich neue Prozessgase und/oder Bereiche in weniger als 60 Sekunden einstellen – keine Demontage und Kalibrierung der Massedurchflussregler erforderlich.
  • Umfangreiche Konfigurations- und Anschlussoptionen sorgen für problemlosen Austausch und Ersatz der meisten Marken metallgedichteter Massedurchflussregler, einschließlich der früheren Marken Celerity, Mykrolis, Tylan und UNIT.
  • GF120 Safe Delivery System (SDS®, sicheres Bereitstellungssystem) für sichere Unterdruckbereitstellung von Gasen für Implantations- und Ätzprozesse
  • Komfortables Benutzerdisplay und unabhängiger Diagnose- und Serviceanschluss für eine unkomplizierte Geräteinstallation, Überwachung und Fehlerbehebung.

Für welche Projekte MFCs der GF100 Serie ideal geeignet sind

  • Ätzsysteme für die Halbleiterherstellung
  • Systeme für die chemische Dünnschicht-Gasphasenabscheidung (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Systeme mit physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD)
  • Epitaxialprozess-Systeme
Gerätetyp

Massedurchflussregler

Unterscheidungsmerkmal

High Purity/Ultra-High Purity

Standard GF Series

High Flow GF Series

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

Genauigkeit

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

Wiederholbarkeit
< ±0.15% S.P.
Linearität

±0.5% F.S. (included in accuracy)

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen: 700 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normalerweise geöffnet: <1.5 sec (specific models)

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Standard (most models)
Druckschwankungsabhängigkeit
Regelbereich

Standard GF Series: < 3-100%

High Flow GF Series: 5-100%

Anzahl der Gerätegrundgrößen

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

Schleichmengen-Unterdrückung

Standard GF Series: < 1% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

Nullstabilität
< ±0.5% F.S. per year
Temperaturkoeffizient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad
4 - 10µ inch Ra
Medienberührte Teile

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

Ventil

Normalerweise geschlossen

Normalerweise geöffnet

Zähler (kein Ventil)

Kennwerte
Maximale Temperatur
50oC
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 10-45 psid

7201-55000 sccm = 15-45 psid

51 slm-300 slm = 30-90 psid

*Bei typischen Druckverlusten kontaktieren Sie bitte unseren technischen Support – wir helfen Ihnen gerne.

Maximaler Druck

Standard GF Series: 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnose und Anzeige
Diagnosefähigkeit
Verfügbar

Status Leuchten

MFC Gesundheit

Netzwerkstatus

Alarme

Control Valve Output

Network Interruption

Diagnose/Service-Port

RS-485 via 2.5mm jack (all models)

Anzeigen

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

Elektrisch
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

Elektrischer Anschluss

Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Verschiedene Kabeladapter erhältlich. Weitere Informationen finden Sie im Produktdatenblatt.

Spannungsversorgung

Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

(Under typical operating conditions)

Beachtung
EMV

EC Directive 2004/108/EC

CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

GF100 GF101 GF120 GF120XSL GF120XSL GF121
Unterscheidungsmerkmal

High Purity

High Purity

High Flow Rate

 

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

 

SDS Gas Delivery

SDS Gas Delivery

Ultra-High Purity

High Flow Rate

Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

3 sccm - 55 slm >25 sccm - 1 slm 4 - 25 sccm

55 slm - 300 slm

Oberflächenbeschaffenheit 10µ inch Ra 10µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra
Genauigkeit

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

Wiederholbarkeit < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen

<1 sec

Normalerweise geschlossen

<1 sec

Normalerweise geschlossen

700 ms

Normalerweise geschlossen

<3 sec

Normalerweise geschlossen

<3 sec

Normalerweise geschlossen

<1 sec

Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normalerweise geöffnet

<1.5 sec

Normalerweise geöffnet

Normalerweise geöffnet

<1.5 sec

Normalerweise geöffnet

Normalerweise geöffnet

Normalerweise geöffnet

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard
Druckschwankungsabhängigkeit
Diagnosefähigkeit

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet - GF100, GF120 pdf English Japanese
Data Sheet - GF101, GF121 pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English Korean Russian Romanian Spanish

Verwenden Sie den folgenden Leitfaden (Modellcodeinformationen aus dem Datenblatt), um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übersetzen. Wenn Sie Hilfe benötigen oder nicht finden können, was Sie suchen, wenden Sie sich bitte an die Anwendungstechnik oder Ihren lokalen Brooks Instrument Vertreter.

Beispiele: GF100 - AS - G1

Messgeräte-Serie Fitting
Anschluss
 GF1xx AS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50)
BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base
  CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal
*DX - DeviceNet™ 5 pin micro
  VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR male
EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base
  WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal
GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation
    G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)
    SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)
DateinameDateityp
GF100-GF120-GF125-AS-G1 STEP
GF100-GF120-GF125-AX-G1 STEP
GF100-GF120-GF125-AX-G1 IGS
GF100-GF120-GF125-AS-SX DXF
GF100-GF120-GF125-AS-SX IGS
GF100-GF120-GF125-AS-SX STEP
GF100-GF120-GF125-CX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-CX-SX DXF
GF100-GF120-GF125-CX-SX STEP
GF100-GF120-GF125-CX-TX DXF
GF100-GF120-GF125-CX-TX IGS
GF100-GF120-GF125-CX-TX STEP
GF100-GF120-GF125-DX-DX DXF
GF100-GF120-GF125-DX-DX IGS
GF100-GF120-GF125-DX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-DX-TX DXF
GF100-GF120-GF125-DX-TX IGS
GF100-GF120-GF125-DX-TX STEP
GF100-GF120-GF125-LX-DX DXF
GF100-GF120-GF125-LX-DX IGS
GF100-GF120-GF125-LX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-VS-SX STEP
GF100-GF120-GF125-VS-E0 DXF
GF100-GF120-GF125-VS-E0 IGS
GF100-GF120-GF125-VS-E0 STEP
GF100-GF120-GF125-VS-G1 DXF
GF100-GF120-GF125-VS-G1 IGS
GF100-GF120-GF125-VS-G1 STEP
GF100-GF120-GF125-VS-GX IGS
GF100-GF120-GF125-VS-GX DXF
GF100-GF120-GF125-VS-GX STEP
GF100-GF120-GF125-VS-SX IGS
GF100-GF120-GF125-VS-SX DXF
GF100-GF120-GF125-VX-BX STEP
GF100-GF120-GF125-VX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-VX-E0 DXF
GF100-GF120-GF125-VX-E0 IGS
GF100-GF120-GF125-VX-E0 STEP
GF100-GF120-GF125-VX-EX STEP
GF100-GF120-GF125-VX-G1 STEP
GF100-GF120-GF125-VX-GX STEP
GF100-GF120-GF125-VX-SX STEP
GF100-GF120-GF125-WX-GX STEP
GF101-GF121-GF126-V1-D0 DXF
GF101-GF121-GF126-V1-D0 IGS
GF101-GF121-GF126-V1-D0 STEP
GF101-GF121-GF126-V1-DX DXF
GF101-GF121-GF126-V1-DX IGS
GF101-GF121-GF126-V1-DX STEP
GF101-GF121-GF126-V1-E0 DXF
GF101-GF121-GF126-V1-E0 IGS
GF101-GF121-GF126-V1-E0 STEP
GF101-GF121-GF126-V1-G1 DXF
GF101-GF121-GF126-V1-G1 STEP
GF101-GF121-GF126-V1-G1 IGS
GF101-GF121-GF126-V2-G1 DXF
GF101-GF121-GF126-V2-G1 IGS
GF101-GF121-GF126-V2-G1 STEP
GF101-GF121-GF126-V2-SX STEP
GF101-GF121-GF126-V2-SX DXF
GF101-GF121-GF126-V2-SX IGS
GF101-GF121-GF126-V1-G1 DXF
GF100-GF120-GF125-DX-TX IGS
GF100-GF120-GF125-DX-TX STEP
GF101-GF121-GF126-V1-G1 STEP

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte