Metallgedichtete thermische Massendurchflussregler der Serie 5850EM

Bewährte Langzeitstabilität mit den Durchflussmessern 5850EM
Verfügbare Modelle 5850EM / 5851EM

Die metallgedichteten Massendurchflussregler der Serie 5850EM bieten Ihnen die Stabilität, die Sie zur erfolgreichen Prozessregelung benötigen. Die MFCs dieser Serie werden zur Messung und Regelung von Hochdruckgasdurchflüssen eingesetzt.

Dank der metallgedichteten Bauart und elektropolierten medienberührten Flächen profitieren Sie von herausragender Durchflussintegrität und Gesamtprozesseffizienz. Weder eine kontinuierliche Überwachung noch eine Gasdruckanpassung zur Erhaltung eines stabilen Gasdurchflusses sind erforderlich.

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Datenblatt Serie 5850EM

Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <0,2 % des Endwerts pro Jahr
  • Einschwingzeit bei Änderungsbefehlen <3 Sekunden mit vernachlässigbaren Unter- und Überschreitungen
  • Breiter Durchflussbereich – von 3 sml/min bis zu 30sl/min
  • Hochdruckversion mit bis zu 100 bar
  • Optional prozessintern verbesserte Oberflächenrauigkeiten - Ra durchschnittlich 0,13 µm
  • Beliebige Einbaulage
  • Mechanisch und elektrisch kompatibel mit sonstigen Massedurchflussreglern
  • TTL-kompatible Ventilübersteuerung (Auf / Zu) zur Spülung und Abschaltung

Ihre Vorteile

  • Verbesserte Gasreinheit und Dichtheit durch einen vollständig aus Metall bestehenden Strömungsweg
  • Bewährte Langzeitstabilität und -genauigkeit über einen breiten Prozess- und Anwendungsbereich
  • Exzellente Rendite durch zuverlässige Leistung
  • Wegfall der kontinuierlichen Gasdrucküberwachung und -anpassung dank des abnehmbaren Durchflusssensors
  • Unkomplizierte Installation und Wartung mit rein anlogen Ein- und Ausgängen

In welchen Bereichen Massendurchflussregler der 5850EM Serie zum Einsatz kommen

  • LWL
  • LED/MOCVD
  • Halbleiterproduktion
  • Solar
{3141C6E8-E1A9-438D-B5C4-D63EFAB1992A}
Gerätetyp
Massedurchflussregler
{713B1CBC-7AC7-4571-B26E-32616A724893}
Unterscheidungsmerkmal

Large installed base with proven long term performance

{80D240C2-0FDE-46F9-9F84-1390C806AF3F}
Leistung
{16DFC781-A8E5-4DF7-B59A-A7D8AD6EC46D}
Durchflussbereich (Maximalwert)
.06 sccm - 30,000 sccm
{F4EDA08B-FE9E-4633-9B02-1B79CAA46CD8}
Genauigkeit

1% Vollausschlag inklusive Linearität

1.5% Vollausschlag inklusive Linearität >20 slpm

{E7F55DC5-8163-4F49-87AE-44538F4E21D0}
Wiederholbarkeit

0.2% of rate

{80387D91-59AF-41A4-A923-069F68153DC3}
Linearität

±0.5% F.S. (included in accuracy)

{4643DD93-C8B4-408F-81B5-849F5D8C9F80}
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen: <3 sec

Optional: 600 msec

{DC3E88E8-CE65-4F1A-B4D3-A49224429ADD}
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange

{5BA547FE-F01D-4C7E-8C31-C2383EF04A1E}
Druckschwankungsabhängigkeit
{2B00ACC8-97F0-4B4F-B173-E896B7E106A8}
Regelbereich

2-3% - 100%

{B76DA73A-A60B-429A-AF8F-1ABCDDDC23CB}
Anzahl der Gerätegrundgrößen

N/A

{7FF3A25B-6A9F-472C-A128-D4812238D575}
Schleichmengen-Unterdrückung

N/A

{9B475C49-52FB-4400-B3DD-A3E6F63E01F6}
Nullstabilität
< ±0.5% F.S. per year
{1066F28B-8754-4281-9B21-C2DDB64C77AA}
Mechanisch
{1D4BD45E-5C3B-4C43-8B3B-A95C0870359B}
Dichtungsmaterial
Metal
{17DC294D-5BD8-4BDD-9B81-BE1988283AB7}
Reinheitsgrad

316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel

{51B2E417-C5D5-48ED-894D-9CE40119746B}
Medienberührte Teile

Valve Seat: 316L, Viton fluoroelastomers, Buna-N, Kalrez or Teflon

{3041890D-EFFD-4198-B5A4-B065DB876ACA}
Ventil

Normalerweise geschlossen

Normalerweise geöffnet

Zähler (kein Ventil)

{33B32B4A-2FE4-4B3F-84C1-10AB6A7FE7B1}
Kennwerte
{C8A94F7F-0EB5-4591-9E19-D9221FEF8823}
Maximale Temperatur
65oC
{CF7C75B3-9B99-400F-8AA5-9084A9F3F353}
Differenzdruckbereich

5 - 50 psi (gas and range dependent)

{C190B420-32F2-4DC8-9822-088452814F4C}
Maximaler Druck

1500 psi

{7C1A9165-54B5-4700-B1C9-E382A7B7CACD}
Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
{4133F208-C666-415C-B6FE-F1877422381C}
Diagnose und Anzeige
{97D761CA-2851-4ED0-A1CD-F42559FF6030}
Diagnosefähigkeit

{0162F6AA-B99D-4CB8-9AD4-A95DDA3E04C3}
Status Leuchten
MFC Gesundheit, Netzwerkstatus
{B9B24DC5-A4D2-4CBE-AD51-7E26B18618BC}
Alarme

Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

{AF6D6F2E-63AD-4F06-93C0-AAF8E2AC9783}
Diagnose/Service-Port

N/A

 

{73BEBF95-6EB5-42F0-AC39-EDC8D38EC382}
Elektrisch
{69999E75-097B-4696-A63F-A89263BBA3E2}
Analoge Kommunikation

4-20 mA

0-5 Vdc

{0303F12A-37EB-420A-BF47-53D86C711922}
Digitale Kommunikation

{BC195D12-9EB6-454A-86DE-F0B51AC868DE}
Elektrischer Anschluss

15 Pin D Connector (DA-15P)

{D6A6D2FA-C38B-49FA-9514-158EAF2DFE65}
Spannungsversorgung

Normalerweise geschlossen: 3.25 watts

Normalerweise geöffnet: 10.5 watts

{7153A00C-56D3-4DFD-8862-3144B0058333}
Beachtung
{4AEEF581-7C84-4BF3-A1BF-B46966DF9571}
EMV

(89/336/EEC) per 61326

{69EA7516-24C1-40C6-BDA0-2E27979519B9}
Einhaltung von Umweltvorschriften

N/A

5850EM 5851EM
Unterscheidungsmerkmal
Durchflussbereich (Maximalwert)

.06 sccm - 30,000 sccm

10 - 100 slpm Nitrogen
Oberflächenbeschaffenheit

5 Ra internal finish (optional)

Electropolished wetted surfaces (optional)

Electropolished wetted surfaces (optional)

Enhanced process (5 Ra avg.) internal surface finish(optional)

High purity VAR 316L Stainless Steel

Genauigkeit

1% Vollausschlag inklusive Linearität

1.5% Vollausschlag inklusive Linearität (>20 slpm)

1 % Vollausschlag inklusive Linearität

Wiederholbarkeit

0.25% Rate

0.2% Rate

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen

<3 sec

Normalerweise geschlossen

<3 sec

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange

N/A

N/A

Druckschwankungsabhängigkeit

.008% per psi Nitrogen

0.03% per psi up to 150 psig

Diagnosefähigkeit

MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Analoge Kommunikation

4-20 mA

0-5 Vdc

4-20 mA

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

N/A

Profibus

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual - 5850EM pdf English
Installation & Operation Manual - 5851EM pdf English
Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte