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Home Produkte Massedurchflussregler Metallgedichtet thermisch Serie 5850EM

Serie 5850EM metallgedichtete thermische Massedurchflussregler

Bewährte Langzeitstabilität. Ultrareine Funktion für Hochdruckanwendungen
Modelle 5850EM / 5851EM
Die metallgedichteten Massedurchflussregler der Serie 5850EM messen und regeln Hochdruckgasdurchflüsse in Reinstmedien Umgebungen mit einer bewährten, auf der Leistungsfähigkeit der weitverbreitet eingesetzten Serien 5850E und i beruhenden, Stabilität. Ihre metallgedichtete Bauart und elektropolierten medienberührten Flächen sichern die herausragende Durchflussintegrität und Gesamtprozesseffizienz. Weder eine kontinuierliche Überwachung noch eine Gasdruckanpassung zur Erhaltung eines stabilen Gasdurchflusses sind erforderlich.

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Datenblatt Serie 5850EM

Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <0,2 % des Endwerts pro Jahr
  • Einschwingzeit bei Änderungsbefehlen <3 Sekunden mit vernachlässigbaren Unter- und Überschreitungen
  • Breiter Durchflussbereich – von 3 sml/min bis zu 30sl/min
  • Hochdruckversion mit bis zu 100 bar
  • Optional prozessintern verbesserte Oberflächenrauigkeiten - Ra durchschnittlich 0,13 µm
  • Beliebige Einbaulage
  • Mechanisch und elektrisch kompatibel mit sonstigen Massedurchflussreglern
  • TTL-kompatible Ventilübersteuerung (Auf / Zu) zur Spülung und abschaltung

Vorteile

  • Verbesserte Gasreinheit und Dichtheit durch einen vollständig aus Metall bestehenden Strömungsweg
  • Bewährte Langzeitstabilität und -genauigkeit über einen breiten Prozess- und Anwendungsbereich
  • Exzellente Rendite durch zuverlässige Leistung
  • Wegfall der kontinuierlichen Gasdrucküberwachung und -anpassung dank des abnehmbaren Durchflusssensors
  • Unkomplizierte Installation und Wartung mit rein anlogen Ein- und Ausgängen

Anwendungen

  • LWL
  • LED/MOCVD
  • Halbleiter
  • Solar
Gerätetyp
Mass Flow Controller
Unterscheidungsmerkmal

Large installed base with proven long term performance

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
.06 sccm - 30,000 sccm
Genauigkeit

1% F.S. incl. linearity

1.5% F.S. incl. linearity >20 slpm

Wiederholbarkeit

0.2% of rate

Linearität

±0.5% F.S. (included in accuracy)

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve: <3 sec

Optional: 600 msec

Multi-Gas & Range Configurability

—

Druckschwankungsabhängigkeit
—
Regelbereich

2-3% - 100%

Anzahl der Gerätegrundgrößen

N/A

Schleichmengenunterdrückung

N/A

Nullstabilität
< ±0.5% F.S. per year
Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad

316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel

Medienberührte Teile

Valve Seat: 316L, Viton® fluoroelastomers, Buna-N, Kalrez® or Teflon®

Ventil

Normally Closed, Normally Open

Meter (no valve)

Kennwerte
Maximale Temperatur
65oC
Differenzdruckbereich

5 - 50 psi (gas and range dependent)

Maximaler Druck

1500 psi

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnose und Anzeige
Diagnosefähigkeit
—

Statuslampen
MFC Health, Network Status
Alarm

Control Valve Output, Network Interruption

Diagnose/Service-Port

N/A

 

Elektrisch
Analoge Kommunikation

4-20 mA

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

—

Elektrischer Anschluss

15 Pin D Connector (DA-15P)

Spannungsversorgung

Normally Closed valve: 3.25 watts

Normally Open valve: 10.5 watts

Beachtung
EMV

(89/336/EEC) per 61326
Einhaltung von Umweltvorschriften

N/A

5850EM 5851EM
Unterscheidungsmerkmal
Durchflussbereich (Maximalwert)

.06 sccm - 30,000 sccm

 10 - 100 slpm Nitrogen
Oberflächenbeschaffenheit

5 Ra internal finish (optional)

Electropolished wetted surfaces (optional)

Electropolished wetted surfaces (optional)

Enhanced process (5 Ra avg.) internal surface finish(optional)

High purity VAR 316L Stainless Steel
Genauigkeit

1% F.S. including linearity

1.5% F.S. including linearity (>20 slpm)

1 % F.S. including linearity
Wiederholbarkeit

0.25% Rate

0.2% Rate
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve

<3 sec

Normally Closed Valve

<3 sec
Multi-Gas & Range Configurability

N/A

N/A
Druckschwankungsabhängigkeit

.008% per psi Nitrogen

0.03% per psi up to 150 psig
Diagnosefähigkeit

MFC Health, Network Status

MFC Health, Network Status
Analoge Kommunikation

4-20 mA

0-5 Vdc

4-20 mA

0-5 Vdc
Digitale Kommunikation

N/A

 

Profibus

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

 
DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual - 5850EM pdf English
Installation & Operation Manual - 5851EM pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English
Serie 0250

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte