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Metallgedichtete thermische Massendurchflussregler der Serie 5850EM

Bewährte Langzeitstabilität mit den Durchflussmessern 5850EM
Modelle 5850EM / 5851EM

Die metallgedichteten Massendurchflussregler der Serie 5850EM bieten Ihnen die Stabilität, die Sie zur erfolgreichen Prozessregelung benötigen. Die MFCs dieser Serie werden zur Messung und Regelung von Hochdruckgasdurchflüssen eingesetzt.

Dank der metallgedichteten Bauart und elektropolierten medienberührten Flächen profitieren Sie von herausragender Durchflussintegrität und Gesamtprozesseffizienz. Weder eine kontinuierliche Überwachung noch eine Gasdruckanpassung zur Erhaltung eines stabilen Gasdurchflusses sind erforderlich.


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Datenblatt Serie 5850EM

Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <0,2 % des Endwerts pro Jahr
  • Einschwingzeit bei Änderungsbefehlen <3 Sekunden mit vernachlässigbaren Unter- und Überschreitungen
  • Breiter Durchflussbereich – von 3 sml/min bis zu 30sl/min
  • Hochdruckversion mit bis zu 100 bar
  • Optional prozessintern verbesserte Oberflächenrauigkeiten - Ra durchschnittlich 0,13 µm
  • Beliebige Einbaulage
  • Mechanisch und elektrisch kompatibel mit sonstigen Massedurchflussreglern
  • TTL-kompatible Ventilübersteuerung (Auf / Zu) zur Spülung und Abschaltung

Ihre Vorteile

  • Verbesserte Gasreinheit und Dichtheit durch einen vollständig aus Metall bestehenden Strömungsweg
  • Bewährte Langzeitstabilität und -genauigkeit über einen breiten Prozess- und Anwendungsbereich
  • Exzellente Rendite durch zuverlässige Leistung
  • Wegfall der kontinuierlichen Gasdrucküberwachung und -anpassung dank des abnehmbaren Durchflusssensors
  • Unkomplizierte Installation und Wartung mit rein anlogen Ein- und Ausgängen

In welchen Bereichen Massendurchflussregler der 5850EM Serie zum Einsatz kommen

  • LWL
  • LED/MOCVD
  • Halbleiterproduktion

  • Solar
Gerätetyp
Mass Flow Controller
Unterscheidungsmerkmal

Large installed base with proven long term performance

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
.06 sccm - 30,000 sccm
Genauigkeit

1% F.S. incl. linearity

1.5% F.S. incl. linearity >20 slpm

Wiederholbarkeit

0.2% of rate

Linearität

±0.5% F.S. (included in accuracy)

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve: <3 sec

Optional: 600 msec

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange

Druckschwankungsabhängigkeit
Regelbereich

2-3% - 100%

Anzahl der Gerätegrundgrößen

N/A

Schleichmengenunterdrückung

N/A

Nullstabilität
< ±0.5% F.S. per year
Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad

316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel

Medienberührte Teile

Valve Seat: 316L, Viton® fluoroelastomers, Buna-N, Kalrez® or Teflon®

Ventil

Normally Closed, Normally Open

Meter (no valve)

Kennwerte
Maximale Temperatur
65oC
Differenzdruckbereich

5 - 50 psi (gas and range dependent)

Maximaler Druck

1500 psi

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Diagnose und Anzeige
Diagnosefähigkeit

Status Leuchten
MFC Health, Network Status
Alarme

Control Valve Output, Network Interruption

Diagnose/Service-Port

N/A

 

Elektrisch
Analoge Kommunikation

4-20 mA

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

Elektrischer Anschluss

15 Pin D Connector (DA-15P)

Spannungsversorgung

Normally Closed valve: 3.25 watts

Normally Open valve: 10.5 watts

Beachtung
EMV

(89/336/EEC) per 61326

Einhaltung von Umweltvorschriften

N/A

5850EM 5851EM
Unterscheidungsmerkmal
Durchflussbereich (Maximalwert)

.06 sccm - 30,000 sccm

10 - 100 slpm Nitrogen
Oberflächenbeschaffenheit

5 Ra internal finish (optional)

Electropolished wetted surfaces (optional)

Electropolished wetted surfaces (optional)

Enhanced process (5 Ra avg.) internal surface finish(optional)

High purity VAR 316L Stainless Steel

Genauigkeit

1% F.S. including linearity

1.5% F.S. including linearity (>20 slpm)

1 % F.S. including linearity

Wiederholbarkeit

0.25% Rate

0.2% Rate

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve

<3 sec

Normally Closed Valve

<3 sec

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange

N/A

N/A

Druckschwankungsabhängigkeit

.008% per psi Nitrogen

0.03% per psi up to 150 psig

Diagnosefähigkeit

MFC Health, Network Status

MFC Health, Network Status

Analoge Kommunikation

4-20 mA

0-5 Vdc

4-20 mA

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

N/A

 

Profibus

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

 

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual - 5850EM pdf English
Installation & Operation Manual - 5851EM pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte