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Thermische Hochtemperatur-Massendurchflussregler

Höchste Oberflächengüte für anspruchsvolle Hochtemperaturanwendungen

Viele der heutigen hochentwickelten Fertigungsprozesse elektronischer Geräte erfordern eine extrem genaue und in hohem Maße wiederholbare Messung und Regelung wertvoller ultrareiner Gase und flüssiger Vorprodukte.

Hochtemperaturfeste, metallgedichtete Massendurchflussreglern erfüllen diese Anforderungen. Durch die Kombination stabiler, hochgenauer Messsensoren und schneller Präzisionsregelventile mit leistungsfähiger digitaler Elektronik wird Ihre Chemie-Regelung noch präziser.

Die hochdichte, ultrareine Konstruktion mit einem vollständig aus Metall bestehendem Strömungsweg gewährleistet Ihnen absolute Reinheit. Außerdem schützt sie das jeweilige Prozessmedium vor Feuchtigkeit und Sauerstoff.


Für diese Aufgaben können Sie Hochtemperatur-MFCs einsetzen:

  • LWL-Herstellung - MCVD
  • Herstellungsverfahren für Siliziumhalbleitergeräte
  • CVD (Vorproduktbereitstellung in Dampfform)
  • Abtragen und Umleiten von Wasserdampf

PRODUKTE

Serie 5850EMH
Serie 5850EMH
Serie 9861
Serie 9861
Gerätetyp Mass Flow Controller Mass Flow Controller
Unterscheidungsmerkmal

Highest Flow Range

Proven, reliable technology

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

Durchflussbereich (Maximalwert) 100 slm (N2 equivalent) 10 slm (N2 equivalent)
Dichtungsmaterial Metal Metal
Reinheitsgrad 4 μ inch Ra
Genauigkeit

1% of FS

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

Wiederholbarkeit <±0.25% SP <±0.15% FS
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

<1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

Maximaler Druck

1 MPa (145 psi)

620 kPa (90 psi)

Maximale Temperatur 105oC 150oC
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)