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Hochtemperatur-Massendurchflussregler der Serie 9861

Optimale Präzision und Effizienz bei der Hochtemperatur-Durchflussregelung
Verfügbare Modelle 9861

Die thermischen Hochtemperatur-Massendurchflussregler der Serie 9861 sind ideal geeignet für die Hochtemperaturbereitstellung Ihrer kondensierfähigen Vorprodukte und Dotiersubstanzen. Der vollständig aus Metall gefertigte Medienweg bietet Ihnen hohe Oberflächengüte und Dichtheit. So können Sie alle Arten von Prozessgasen und
-dämpfen messen.

Der patentierte, hoch-stabile Strömungssensor IsoSensor™ ist ausgelegt für die erhöhten Umgebungstemperaturen in beheizten Gasleitungen und Einbrennanlagen. Durch das extrem niedrige Driftverhalten des IsoSensor™ sind Nullpunkt-Neueinstellungen und Neukalibrierungen viel seltener notwendig, als bei Hochtemperaturanwendungen normalerweise üblich.

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Datenblatt Serie 9861

Merkmale

  • Extrem stabiler patentierter Durchflussmesssensor IsoSensor™ 
  • Strömungsweg mit sehr hoher Oberflächengüte
  • Externe Elektronik verfügt standardmäßig über zwei analoge elektrische Steckverbinder
  • Digitale Mess- und Regelarchitektur

Ihre Vorteile

  • Geringe Wartungs- und Gesamtbetriebskosten, dank hoher Sensorstabilität und langer Betriebszeit
  • Gesamter medienberührter Strömungsweg aus Metall für Integrität und Reinheit des Mediums (Gas/Dampf)
  • Standardisierung und Inventarverkleinerung dank des mitgelieferten 20-poligen Crad-Edge-Steckers und eines 9- oder 15-poligen D-Steckverbinders
  • Verbesserte Genauigkeit und Prozessregelung

Aufgaben, für die Massendurchflussregler der Serie 9861 verwendet werden können

  • LWL-Herstellung - MCVD
  • Herstellungsverfahren für Siliziumhalbleitergeräte
Gerätetyp
Mass Flow Controller
Unterscheidungsmerkmal

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)
10 slm (N2 equivalent)
Genauigkeit

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

Wiederholbarkeit
<±0.15% FS
Linearität

±0.5% FS (included in accuracy)

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

Nullstabilität
<±0.5% FS per °C
Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad
4 μ inch Ra
Medienberührte Teile

316L SS/ KM-45/ 304 SS/ MO+

Ventil

Normally Closed

Meter (no valve)

Kennwerte
Maximale Temperatur
150oC
Differenzdruckbereich

1.33 - 350 kPa (10 torr - 50 psia)

*Contact Brooks Technical Support for more information.

Maximaler Druck

620 kPa (90 psi)

Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
Elektrisch


Diagnosefähigkeit
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

Elektrischer Anschluss

Analog via 9- or 15-Pin "D" connector & 20 Pin Card Edge connector

Spannungsversorgung

Controller (Analog & RS-485L): 5 Watts max @ ±15 Vdc (160 mA max)

Meter (Analog): 5 Watts max @ ±15 Vdc (50 mA max)

9861
Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 10 slm (N2 equivalent)
Oberflächenbeschaffenheit 4µ inch Ra
Genauigkeit

±1% SP @ 35 - 100% FS

±0.35% FS @ <35% FS

Wiederholbarkeit < ±0.15% FS
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

 

Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

RS485L Protocol

 

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DateinameDateityp
9861-4R-U STEP
9861-4R-U IGS
9861-4R-U DXF