Exakte Durchflussmessung mit Massendurchflussreglern von Brooks Instrument

Durchflussmessgeräte mit unübertroffener Prozesspräzision

Für die genaue Regelung Ihrer Prozesse ist eine präzise Durchflussmessung erforderlich – nicht nur in der Zuleitung und Prozesskammer, sondern auch an jedem anderen Punkt. Mit Massendurchflussreglern, auch Mass Flow Controller (MFC) genannt, erhalten Sie wertvolle Informationen. Sie können Ihren Prozess in Echtzeit überwachen und die Produktivität jederzeit sicherstellen.

Ob Präzision, Ansprechempfindlichkeit, Genauigkeit oder Wiederholbarkeit: Im Bereich der Durchflussmessung setzen Sie mit Brooks Instrument auf den globalen Marktführer mit höchsten Anforderungen. Über Jahrzehnte haben wir Innovationen in der thermischen Massendurchflusstechnologie entwickelt, von denen Sie heute und in Zukunft profitieren.

Warum Sie sich für unsere Massendurchflussregler entscheiden sollten

  • Ein ideal auf industrielle Anwendungen zugeschnittenes Produktportfolio, das auch die komplexesten Anforderungen erfüllt. Dazu gehören sowohl elastomergedichtete als auch metallgedichtete MFCs.
  • Gasart- und Bereichswechsel in einem Gerät sowie Verbesserung der Genauigkeit bei Prozessgasen. Dank der innovativen MultiFlo™ Technologie muss das Gerät dafür nicht aus dem System entfernt werden.
  • Ultrarein entsprechend den Anforderungen der Dünnschicht- und Halbleiter-Industrie sowie weiterer Hightech-Industrien.
Finden Sie Ihren idealen MFC
Brooks GF100 cutaway
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  • Breiteste Durchfluss- und Druckbereiche
  • Langzeitstabilität liefert zuverlässige Werte 
  • Auch Produkte mit Zulassung für explosionsgefährdete Bereiche lieferbar 
  • Für Schlauchreinigung/Nassreinigung geeignetes 
{18886FAC-2FF5-450F-8969-7D17F1954F23}
Art des Mediums
Gas
{FF1F572E-D25F-41B7-8A12-E6D0153C9FBC}
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 2500 lpm
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Genauigkeit
± 0.6% der SP
{5926F692-5544-4A73-B01B-FAD04C270B7C}
Maximaler Druck
4500 psig
{3E832D90-A88A-4F1F-A695-A417A3E4EFFA}
Temperatur
65oC
{936BB9F8-90E4-435D-8978-2534DBC0C8A8}
Ausgangstyp
Analog & Digital
  • Für gegenüber Feuchtigkeit oder Sauerstoff empfindliche Prozesse
  • Hochreiner Strömungsweg minimiert Prozesskontaminationen und erhöht den Ertrag. 
  • Extrem schnelles Ansprechen 
{4B16B008-8B97-4936-913D-8968C3C47CB6}
Art des Mediums
Gas
{1978A936-D391-47B0-9DD8-781560753BC4}
Durchflussbereich (Maximalwert)
.06 sccm - 300 slm
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Genauigkeit
SP ±1%
{34182DC6-D16A-437F-8683-DC2BFDE0E72E}
Maximaler Druck
150 psig
{6CC6EE13-EA1C-4D01-A096-93E9C793477A}
Temperatur
50oC
{3EB75C7E-C7A1-457B-917D-CFC92B29932C}
Ausgangstyp
Analog & Digital
Component datasource missing. Select a datasource for this component.
  • Höchste Genauigkeit für Prozesse mit sehr geringem Durchfluss
  • Dichtemessgerät für inhärente Flüssigmedien 
  • Geräte für sowohl Flüssig- als auch Gasanwendungen 
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Art des Mediums
Gas, Liquids
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Durchflussbereich (Maximalwert)

10 - 27,000 gram/hr

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Genauigkeit
0.2% - 0.5% of Rate
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Maximaler Druck
4500 psi
{35273F94-A47A-4174-AD0C-694431AD18A5}
Temperatur
65oC
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Ausgangstyp
Analog & Digital