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Exakte Durchflussmessung mit Massendurchflussreglern von Brooks Instrument

Durchflussmessgeräte mit unübertroffener Prozesspräzision

Für die genaue Regelung Ihrer Prozesse ist eine präzise Durchflussmessung erforderlich – nicht nur in der Zuleitung und Prozesskammer, sondern auch an jedem anderen Punkt. Mit Massendurchflussreglern, auch Mass Flow Controller (MFC) genannt, erhalten Sie wertvolle Informationen. Sie können Ihren Prozess in Echtzeit überwachen und die Produktivität jederzeit sicherstellen.

Ob Präzision, Ansprechempfindlichkeit, Genauigkeit oder Wiederholbarkeit: Im Bereich der Durchflussmessung setzen Sie mit Brooks Instrument auf den globalen Marktführer mit höchsten Anforderungen. Über Jahrzehnte haben wir Innovationen in der thermischen Massendurchflusstechnologie entwickelt, von denen Sie heute und in Zukunft profitieren.

Warum Sie sich für unsere Massendurchflussregler entscheiden sollten

  • Ein ideal auf industrielle Anwendungen zugeschnittenes Produktportfolio, das auch die komplexesten Anforderungen erfüllt. Dazu gehören sowohl elastomergedichtete als auch metallgedichtete MFCs.
  • Gasart- und Bereichswechsel in einem Gerät sowie Verbesserung der Genauigkeit bei Prozessgasen. Dank der innovativen MultiFlo™ Technologie muss das Gerät dafür nicht aus dem System entfernt werden.
  • Ultrarein entsprechend den Anforderungen der Dünnschicht- und Halbleiter-Industrie sowie weiterer Hightech-Industrien.
Finden Sie Ihren idealen MFC
  • Breiteste Durchfluss- und Druckbereiche
  • Langzeitstabilität liefert zuverlässige Werte 
  • Auch Produkte mit Zulassung für explosionsgefährdete Bereiche lieferbar 
  • Für Schlauchreinigung/Nassreinigung geeignetes 
Art des Mediums
Gas
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 2500 lpm
Genauigkeit
SP ± 0.9%
Maximaler Druck
4500 psig
Temperatur
65oC
Ausgangstyp
Analog & Digital
  • Für gegenüber Feuchtigkeit oder Sauerstoff empfindliche Prozesse
  • Hochreiner Strömungsweg minimiert Prozesskontaminationen und erhöht den Ertrag. 
  • Extrem schnelles Ansprechen 
Art des Mediums
Gas
Durchflussbereich (Maximalwert)
.06 sccm - 300 slm
Genauigkeit
SP ±1%
Maximaler Druck
150 psig
Temperatur
50oC
Ausgangstyp
Analog & Digital
  • Höchste Genauigkeit für Prozesse mit sehr geringem Durchfluss
  • Dichtemessgerät für inhärente Flüssigmedien 
  • Geräte für sowohl Flüssig- als auch Gasanwendungen 
Art des Mediums
Gas, Liquids
Durchflussbereich (Maximalwert)

10 - 27,000 gram/hr

Genauigkeit
0.2% - 0.5% of Rate
Maximaler Druck
4500 psi
Temperatur
65oC
Ausgangstyp
Analog & Digital
Brooks GF100 cutaway

GF125, Massedurchflussregler