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Massedurchflussregler und -messgeräte

Massedurchflussregeltechnologie. Unübertroffene Prozesspräzision

Für die genaue Regelung beliebiger Prozesse ist ein präzises Messen der Vorgänge erforderlich — in der Zuleitung, in der Prozesskammer, an jedem Punkt — die erlangten Informationen dienen der Aufrechterhaltung eines zielgerichteten und produktiven Prozesses in Echtzeit.

Als global führendes Unternehmen in der Präzisionsmessung und -regelung der Prozessmedien hat Brooks Instrument über Jahrzehnte Innovationen in die thermische Massedurchflusstechnologie eingeführt. Die kontinuierliche Vorstellung neuer Produkte und Verbesserungen bestehender Systeme erschloss neue Stufen der Präzision, Ansprechempfindlichkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit für den thermischen Massedurchfluss.

Wesentliche Gründe, warum unsere Massedurchflussgeräte die weltweit weiteste Verbreitung und Verwendung finden:

  • Das beste auf die Industrie zugeschnittene Produktportfolio zur Erfüllung der umfangreichsten Anforderungen.
  • Gasart- und Bereichswechsel in einem Gerät sowie Verbesserung der gegebenen Prozessgasgenauigkeit. Dank der innovativen MultiFlo™ Technologie ist dafür kein entfernen des Geräts aus dem System erforderlich.
  • Umfassendes Produktportfolio mit sowohl elastomergedichteten als auch metallgedichteten Geräten.
  • Für die Anforderungen der Dünnschicht-, Halbleiter- und sonstigen Hightechindustrien entwickelte ultrareine Geräte.

WESENTLICHE ANWENDUNGEN

  • Werkzeuge zur Halbleiter- und LED-Herstellung

  • Dünnschichtabscheidungssysteme

  • Bioreaktoren in Pharmabereichen

  • Pilotanlagen für Gase und Flüssigkeiten in Chemie und Petrochemie

  • Spülgas, Prozessanalyse und analytische Durchflussmessung

How to Choose a Mass Flow Controller
Brooks GF100 cutaway

GF125, Massedurchflussregler
  • Breiteste Durchfluss- und Druckbereiche
  • Langzeitstabilität liefert zuverlässige Werte 
  • Auch Produkte mit Zulassung für explosionsgefährdete Bereiche lieferbar 
  • Für Schlauchreinigung/Nassreinigung geeignetes 
Art des Mediums
Gas
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 2500 lpm
Genauigkeit
SP ± 0.9%
Maximaler Druck
4500 psig
Temperatur
65oC
Ausgangstyp
Analog & Digital
  • Für gegenüber Feuchtigkeit oder Sauerstoff empfindliche Prozesse
  • Hochreiner Strömungsweg minimiert Prozesskontaminationen und erhöht den Ertrag. 
  • Extrem schnelles Ansprechen 
Art des Mediums
Gas
Durchflussbereich (Maximalwert)
.06 sccm - 300 slm
Genauigkeit
SP ±1%
Maximaler Druck
150 psig
Temperatur
50oC
Ausgangstyp
Analog & Digital
  • Höchste Betriebstemperatur
  • Hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit 
  • Ultrareine Konstruktion 
Art des Mediums
Gas, Vapor
Durchflussbereich (Maximalwert)

3 sccm - 10 slm

Genauigkeit
SP ±1%
Maximaler Druck
145 psig
Temperatur
150oC
Ausgangstyp
Analog & Digital
  • Höchste Genauigkeit für Prozesse mit sehr geringem Durchfluss
  • Dichtemessgerät für inhärente Flüssigmedien 
  • Geräte für sowohl Flüssig- als auch Gasanwendungen 
Art des Mediums
Gas, Liquids
Durchflussbereich (Maximalwert)

10 - 27,000 gram/hr

Genauigkeit
0.2% - 0.5% of Rate
Maximaler Druck
4500 psi
Temperatur
65oC
Ausgangstyp
Analog & Digital