Hochreine und ultrareine Gas-Massendurchflussregler für die Halbleiterindustrie

Maximale Geräteverfügbarkeit und -produktivität
Für viele Prozesse in der Halbleiter- und Elektronikfertigung ist es wichtig, dass Massendurchflussregler vielseitig und absolut zuverlässig sind. Ihre hohen Investitionen in die Prozessanlagen rechnen sich nur dann, wenn diese kontinuierlich und fehlerfrei in Betrieb sind.

Wenn dagegen die Drift die definierten Sollwerte überschreitet, steht die Produktion still. Erfordern neue Fertigungsprozesse mehrere Gase und verschiedene Massendurchflussregler, legt dies Ihren Prozess schnell für mehrere Tage lahm.

Die Lösung dafür sind MultiFlo®-fähige Massendurchflussregler der Serie GF. Die metallgedichteten Massendurchflussregler und -messgeräte führen genau und wiederholbar Prozessgase in ultrahoher Reinheitsstufe zu. Die Serie GF wurde dafür im Dauerbetrieb auf einem Zuverlässigkeits-Level getestet, das dem Siebenfachen des Halbleiterindustriestandards entspricht. Ein vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg und der korrosionsbeständige Hastelloy®-Sensor garantieren Ihnen höchste Gasreinheit und feuchtefreien Durchfluss.

Dank modernster MultiFlo® Technologie unterstützen diese Massendurchflussregler unzählige Gasarten und -kombinationen. So erhöhen sie nicht nur Ihre Prozessflexibilität und -effizienz, sondern profitieren auch von höchster Reinheit und Produktivität
Serie GF100
Serie GF100
Modell GF100 EtherCAT
Modell GF100 EtherCAT
Gerätetyp

Massedurchflussregler

Massedurchflussregler
Unterscheidungsmerkmal

High Purity/Ultra-High Purity

Standard GF Series

High Flow GF Series

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

EtherCAT Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Embedded Diagnostics

Ultra-stable Flow Sensor

Improved Valve Shutdown

Dichtungsmaterial Metal Metal
Reinheitsgrad 4 - 10µ inch Ra

5 - 10µ inch Ra

Durchflussbereich (Maximalwert)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

Genauigkeit

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%

High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%

Maximaler Druck

Standard GF Series: 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Standard GF Series: up to 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Maximale Temperatur 50oC 50oC
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

EtherCAT®