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Hochreine und ultrareine Gas-Massendurchflussregler und -messgeräte

Herausforderung: Geräteverfügbarkeit und -produktivität maximieren

Für viele Halbleiterprozessgeräte ist die Zuverlässigkeit und vielseitige Leistungsfähigkeit des Massedurchflussreglers von fundamentaler Wichtigkeit. Die hohen Investitionen für Prozessgeräte rechnen sich nur dann, wenn diese im laufenden Produktionsbetrieb stehen. Überschreitet die Drift eines Massedurchflussregler ausschlaggebende Sollwerte oder erfordern neue Fertigungsprozesse mehrere Gase (und mehrere Massedurchflussregler), dann eskaliert die Stillstandszeit für Umstellungen und/oder Neukalibrierung oder Instandsetzung.

Lösung: Der hochentwickelte MultiFlo®-fähige Massedurchflussregler der Serie GF

Genaue und wiederholbare Bereitstellung von Prozessgasen in ultrahoher Reinheitsstufe — diese Leistung bieten die metallgedichteten Massedurchflussregler und -messgeräte der Serie GF. Die Serie GF wurde im Dauerbetrieb entsprechend dem Siebenfachen des Halbleiterindustriestandards auf Zuverlässigkeit getestet. Ein vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg und korrosionsbeständiger Hastelloy®-Sensor gewährleisten die höchste Stufe für Gasreinheit und feuchtefreien Durchfluss. Und die einzigartige programmierbare MultiFlo® Technologie ermöglicht einem Massedurchflussregler, unzählige Gasarten und Bereichskombinationen zu unterstützen.

Das Ergebnis: Erhöhte Prozessflexibilität und -effizienz kombiniert mit den branchenweit höchsten Reinheitsstufen für Prozessgas, um zur Maximierung von Ertrag und Produktivität beizutragen. 


Serie 9861
Serie 9861
Serie GF100
Serie GF100
Serie GF125
Serie GF125
Serie GF135
Serie GF135
Gerätetyp Mass Flow Controller

Mass Flow Controller

Mass Flow Controller

Mass Flow Controller
Unterscheidungsmerkmal

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Standard GF Series

High Flow GF Series

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

Real-Time Flow Error Detection

Advanced Diagnostics

Dichtungsmaterial Metal Metal

Metal

Metal

Reinheitsgrad 4 μ inch Ra 4 - 10µ inch Ra 4 - 5µ inch Ra 4µ inch Ra
Durchflussbereich (Maximalwert) 10 slm (N2 equivalent)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

3 sccm - 300 slm

3 sccm - 5 slm (N2 Eq.)

Genauigkeit

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F. S. 2-35%

±1% S.P. 10-100% F.S.

±1% S.P. plus ±0.04% F.S. 2-10% F.S.

Maximaler Druck

620 kPa (90 psi)

Standard GF Series: 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Standard GF Series: 100 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

100 psia max

Maximale Temperatur 150oC 50oC 50oC

50oC

Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

RS485