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Hochreine und ultrareine Gas-Massendurchflussregler für die Halbleiterindustrie

Maximale Geräteverfügbarkeit und -produktivität
Für viele Prozesse in der Halbleiter- und Elektronikfertigung ist es wichtig, dass Massendurchflussregler vielseitig und absolut zuverlässig sind. Ihre hohen Investitionen in die Prozessanlagen rechnen sich nur dann, wenn diese kontinuierlich und fehlerfrei in Betrieb sind.

Wenn dagegen die Drift die definierten Sollwerte überschreitet, steht die Produktion still. Erfordern neue Fertigungsprozesse mehrere Gase und verschiedene Massendurchflussregler, legt dies Ihren Prozess schnell für mehrere Tage lahm.

Die Lösung dafür sind MultiFlo®-fähige Massendurchflussregler der Serie GF. Die metallgedichteten Massendurchflussregler und -messgeräte führen genau und wiederholbar Prozessgase in ultrahoher Reinheitsstufe zu. Die Serie GF wurde dafür im Dauerbetrieb auf einem Zuverlässigkeits-Level getestet, das dem Siebenfachen des Halbleiterindustriestandards entspricht. Ein vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg und der korrosionsbeständige Hastelloy®-Sensor garantieren Ihnen höchste Gasreinheit und feuchtefreien Durchfluss.

Dank modernster MultiFlo® Technologie unterstützen diese Massendurchflussregler unzählige Gasarten und -kombinationen. So erhöhen sie nicht nur Ihre Prozessflexibilität und -effizienz, sondern profitieren auch von höchster Reinheit und Produktivität
Serie 9861
Serie 9861
Serie GF100
Serie GF100
Serie GF125
Serie GF125
Gerätetyp Mass Flow Controller

Massedurchflussregler

Massedurchflussregler

Unterscheidungsmerkmal

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Standard GF Series

High Flow GF Series

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

Dichtungsmaterial Metal Metal

Metal

Reinheitsgrad 4 μ inch Ra 4 - 10µ inch Ra 4 - 5µ inch Ra
Durchflussbereich (Maximalwert) 10 slm (N2 equivalent)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

3 sccm - 300 slm

Genauigkeit

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F. S. 2-35%

Maximaler Druck

620 kPa (90 psi)

Standard GF Series: 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Standard GF Series: 100 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Maximale Temperatur 150oC 50oC 50oC
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

Digitale Kommunikation

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

DeviceNet™

RS485 L-Protocol