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Hochreine und ultrahochreine Druckregler

Herausforderung: Für verbesserte Werkzeugergebnisse die Verwendung der Druckregelung erhöhen.

Jedes den Prozessgasdurchfluss messende und regelnde System kann die Abscheidungsregelung und Prozessleistungsfähigkeit durch gleichzeitige – und genaue – Druckmessung und -regelung verbessern. Viele Fabriken verwenden zentral angeordnete Gasvorratsspeicher und Steuerschränke zur Bedienung mehrerer Geräte; weil zwischen Einlass- und Auslassseite eines Massedurchflussreglers eine unvermeidbare Druckdifferenz besteht, lassen sich die Geräteeffizienz und Waferqualität (Ausbeute) nur durch Druckmanagement in Echtzeit steigern.

Lösung: Ultrareine digitale Druckregler der Serie PC100

Die auf der bewährte Brooks Technologie des Massedurchflussreglers GF100 beruhende Serie PC100 weist einen hochreinen und vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg, verbesserte Sensortechnologie und erweiterte Diagnosefähigkeiten auf, die die Durchführung der Geräteevaluation und Fehlerbehebung wesentlich erleichtern.

Die Serie PC100 weist einen proprietären, hoch korrosionsbeständigen Sensor aus Hastelloy® C-22 auf, der eine verbesserte Genauigkeit bei niedrigen Sollwerten, überlegene Reproduzierbarkeit bei erhöhten Temperaturen und eine verbesserte Langzeitstabilität bietet. Kombiniert mit Merkmalen, die schnelleres Ansprechen und kürzere Einschwingzeiten ermöglichen, erlangen Gerätebauer und Endbenutzer durch Implementierung der Halbleiterdruckregler von Brooks Instrument das Potential, kürzere Stillstandszeiten und verbesserte Produktivität zu erzielen.


PRODUKTE

SLA7840
SLA7840
Serie PC100
Serie PC100
Gerätetyp

Pressure Controller & Flow Meter

Pressure Controller
Unterscheidungsmerkmal

Control Mode: Downstream or Upstream

Remote Transducer

Wide Flow & Pressure Range

Control Mode: Downstream or Upstream

Ultra-High Purity

Digital Pressure Control

Druckregelbereich

20:1

> 2 to 100%

Durchflussbereich (Maximalwert)

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

10 slm (N2 or H2 only)

Genauigkeit

±1% of rate 20-100% F.S.

±0.2% F.S. < 20% F.S.

Pressure Reading: ± 1% of reading

Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S.

Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

< 1 sec typical for a 20-100% setpoint step with max 2% overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

< 1 sec typ. (excluding system time constant)

Wiederholbarkeit

±0.2% of rate

< ±0.2% F.S.

Dichtungsmaterial Metal Metal
Reinheitsgrad

32 µ inch Ra

5 µ inch Ra

Diagnosefähigkeit Available

Available

Analoge Kommunikation

0 - 5 Vdc

Digitale Kommunikation DeviceNet™

DeviceNet™