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Direkte Vakuummessung

Herausforderung: Sensordrift im Vakuum und Stillstandszeiten des Prozessgeräts reduzieren

Bei den meisten kammerbasierten Herstellungsprozesse muss die Erzeugung, Messung und Regelung des Vakuums in folgender Weise erfolgen:
  • Sauber: Damit ein Prozess das Verunreinigungsniveau bis in den PPT-Bereich (parts per trillion, Teile pro Billion) reduzieren kann, ist ein Leerpumpen der Kammer auf Hochvakuum erforderlich.
  • Realisierbar: Die meisten Dünnschichtbeschichtungen — insbesondere Metalle — lassen sich nicht bei Normaldruck abscheiden.
  • Wiederholbar: Vakuum erlaubt eine viel bessere Wiederholbarkeit von Dünnschichtprozessen, weil Verunreinigungen (O2, H2O, H2 usw.) bei jedem Prozessablauf entfernt werden.
Die Erzielung solcher Ergebnisse erfordert eine außergewöhnlich zuverlässige und wiederholbare Vakuumdirektmessung—und eine prozessverursachte Sensorkontamination ergibt eine Ausgangsdrift und instabile Kammerdruckmessungen. 

Lösung: Digitale Kapazitätsmanometer der Serie XacTorr®

Die digitalen Vakuumkapazitätsmanometer der Serie XacTorr® CMX von Brooks Instrument sind mit branchenführenden Merkmalen ausgestattet, die die Zuverlässigkeit der Messungen verbessern, Drift praktisch ausschließen, Membrankontaminationen widerstehen und thermische Einflüsse minimieren. Das Ergebnis ist ein außergewöhnlich zuverlässiges Kapazitätsmanometer, das als leistungsfähiges Gerät dazu beiträgt, bei jedem Evakuieren einer Prozesskammer den erforderlichen Grad der Kontaminationsfreiheit sicherzustellen.

PRODUKTE

Serie CMC
Serie CMC
Serie XacTorr®
Serie XacTorr®
Gerätetyp Capacitance Manometer Capacitance Manometer
Unterscheidungsmerkmal

Unheated

Heated or Unheated

Analog or Digital

 

Druckbereich

10, 20, 50, 100, 500 and 1000 Torr Full Scale

0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr

mBar & Pascal References Available

Genauigkeit

Type A = 0.25% of Reading

Type B = 0.50% of Reading

CMX0: 0.25% of Reading

CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading

CMX1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading

Temperatur Ambient

CMX0 Ambient

CMX1 45°C

CMX2 100°C

CMX3 160°C

Analoge Kommunikation

0-10 Vdc (<10k Ohm load)

0-10 Vdc 5k Ohm load
Digitale Kommunikation

DeviceNet™

RS485