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Serie PC100 metallgedichtete Druckregler

Genauigkeit unter Druck. Regelung mit Präzision.
Modelle PC115 / PC125

Die Druckregler und -messgeräte der Serie PC100 kombinieren zahlreiche hochleistungsfähige Technologiemerkmale, um ultrapräzisen Fertigungsprozessen, wie zum Beispiel der anspruchsvollen Halbleiterfertigung oder der Dampfabscheidung, eine neue Stufe hinsichtlich Druckregelgenauigkeit und -zuverlässigkeit zu bieten.

Die auf der bewährten Brooks Technologie des Massedurchflussreglers GF100 beruhende Serie PC100 besticht durch folgende Merkmale, die insgesamt zu weniger Serviceunterbrechungen und einer höheren Verfügbarkeit beitragen: Ein hochreiner, vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg; eine verbesserte, speziell auf Vermeidung der Sensordrift ausgelegte Sensortechnologie; eine Bedienerschnittstelle und Gerätediagnosefähigkeiten, die die Durchführung der Geräteevaluation und Fehlerbehebung wesentlich erleichtern.


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Merkmale

  • Ansprechzeit: <1 Sekunde
  • Endwertdurchflussraten bis zu 10 sl/min
  • Transmitterdruckbereich: 1000 torr Endwert 
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Oberflächenrauigkeit Ra 0,13 µm
  • Der PC125 mit integriertem Durchflussmesser ist eine Kombination aus einem Durchflusssensor aus hoch korrosionsbeständigem Hastelloy® C22 und einem ARM-Highspeed-Prozessor.
  • Schnell wirkende, membranlose Ventileinheit
  • Gut lesbares LCD-Display mit leicht zugänglichem Taster zur lokalen Anzeige von Durchfluss, Temperatur und Netzwerkadresse
  • Unabhängiger Diagnose-/Serviceanschluss
  • DeviceNet Protokoll

Vorteile

  • Hochleistungskomponenten ermöglichen ein schnelles Ansprechen und eine Einstellzeit für eine verbesserte Druckregelung
  • Reduzierung des Streugasverbrauchs und der damit verbundenen Kosten
  • Korrosionsbeständiger, vollständig aus Metall bestehender und SEMI F20-konformer Strömungsweg mit insgesamt reduzierten Oberflächen und Totvolumen sorgt für schnelleres Abtrocknen während der Spülschritte
  • Gerätelangzeitstabilität der Temperatur- und Druckaufnehmer maximiert Ertrag und Durchsatz 
  • Benutzerprogrammierbare Einschaltfunktion für Prozesse, die eine langsam steigende Druckregelung erfordern

Anwendungen

  • Hochentwickelte Ätzwerkzeuge für Halbleiter
  • Systeme für chemische Dünnschicht-Gasphasenabscheidung (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Systeme mit physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD)

Gerätetyp
Pressure Controller
Unterscheidungsmerkmal

Control Mode: Downstream or Upstream

Ultra-High Purity

Digital Pressure Control

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)

10 slm (N2 or H2 only)

Genauigkeit

Pressure Reading: ± 1% of reading

Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S.

Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S

Wiederholbarkeit

< ±0.2% F.S.

Temperaturkoeffizient

Zero: < 0.05% F.S./°C

Span: < 0.08% of reading/°C

Maximaler Druck

1000 Torr FS

Druckregelbereich

> 2 to 100%

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

< 1 sec typ. (excluding system time constant)

Temperaturbereich
10 - 50°C
Leckrate

External: 1 x 10-10 atm scc/sec He max

Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad

5 µ inch Ra

Medienberührte Teile

SEMI F20 HP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

Ventil

Normally Closed

Elektrisch
Diagnosefähigkeit
Available

Analoge Kommunikation

Digitale Kommunikation

DeviceNet™

Elektrischer Anschluss

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

Spannungsversorgung

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc

PC115 PC125
Unterscheidungsmerkmal

Control Mode: Downstream and Upstream

Embedded Thermal Flow Sensor: No

Control Mode: Downstream

Embedded Thermal Flow Sensor: Yes

Durchflussbereich (Maximalwert)

20 sccm - 5 slm (N2 and H2 only)

10 slm (N2 and H2 only)

Druckregelbereich

Downstream: >2 to 100%

Upstream: >15 to 100%*

*Assuming hard vacuum on the outlet and 150 Torr min DP to achieve max flow

>2 to 100%

Maximaler Druck

Transducer Pressure Range: 1000 Torr F.S.

Transducer Over Pressure Limit: 2 x F.S. range

Transducer Pressure Range: 1000 Torr F.S.

Transducer Over Pressure Limit: 2 x F.S. range

Dichtungsmaterial

Metal Seal

Metal Seal

Elektrischer Anschluss

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - PC100 Series pdf English

Steuert und Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte