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Metallgedichtete Druckregler der Serie PC100

Präzise Regelung auch unter hohem Druck
Verfügbare Modelle PC115 / PC125

Ob Halbleiterfertigung oder Dampfabscheidung: Die Druckregler und -messgeräte der Serie PC100 liefern Ihnen auch in ultrapräzisen Fertigungsprozessen genaue und zuverlässige Druckregelwerte.

Die Serie PC100 basiert auf der Technologie des Massendurchflussreglers GF100. Sie profitieren von einem hochreinen, vollständig aus Metall bestehenden Strömungsweg und einer speziell auf die Vermeidung von Sensordrift ausgelegten Sensortechnologie.

Außerdem sind Druckregler der Serie PC100 mit modernsten Diagnosefähigkeiten ausgestattet. Diese erleichtern Ihnen die Geräteevaluation und Fehlerbehebung wesentlich. So minimieren Sie Ihren Wartungsaufwand und steigern die Verfügbarkeit Ihrer Geräte.

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Datenblatt Serie PC100

Merkmale

  • Ansprechzeit: <1 Sekunde
  • Endwertdurchflussraten bis zu 10 sl/min
  • Transmitterdruckbereich: 1000 torr Endwert 
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Oberflächenrauigkeit Ra 0,13 µm
  • Durchflusssensor aus hoch korrosionsbeständigem Hastelloy® C22
  • ARM-Highspeed-Prozessor
  • Schnell reagierende, membranlose Ventileinheit
  • Benutzerfreundliches LCD-Display mit leicht zugänglichem Taster zur lokalen Anzeige von Durchfluss, Temperatur und Netzwerkadresse
  • Unabhängiger Diagnose-/Serviceanschluss
  • DeviceNet Protokoll

Ihre Vorteile

  • Hochleistungskomponenten ermöglichen ein schnelles Ansprechen und eine Einstellzeit für eine verbesserte Druckregelung
  • Reduzierung des Streugasverbrauchs und der damit verbundenen Kosten
  • Korrosionsbeständiger, vollständig aus Metall bestehender und SEMI F20-konformer Strömungsweg mit insgesamt reduzierten Oberflächen und Totvolumen sorgt für schnelleres Abtrocknen während der Spülschritte
  • Hohe Langzeitstabilität, maximierter Ertrag und Durchsatz
  • Individuelle Einschaltfunktion für Prozesse, die eine langsam steigende Druckregelung erfordern

Für welche Aufgaben Druckregler der Serie PC100 eingesetzt werden:

  • Hochentwickelte Ätzwerkzeuge für Halbleiter
  • Systeme für chemische Dünnschicht-Gasphasenabscheidung (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Systeme mit physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD)

Gerätetyp
Pressure Controller
Unterscheidungsmerkmal

Control Mode: Downstream or Upstream

Ultra-High Purity

Digital Pressure Control

Leistung
Durchflussbereich (Maximalwert)

10 slm (N2 or H2 only)

Genauigkeit

Pressure Reading: ± 1% of reading

Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S.

Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S

Wiederholbarkeit

< ±0.2% F.S.

Temperaturkoeffizient

Zero: < 0.05% F.S./°C

Span: < 0.08% of reading/°C

Maximaler Druck

1000 Torr FS

Druckregelbereich

> 2 to 100%

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

< 1 sec typ. (excluding system time constant)

Temperaturbereich
10 - 50°C
Leckrate

External: 1 x 10-10 atm scc/sec He max

Mechanisch
Dichtungsmaterial
Metal
Reinheitsgrad

5 µ inch Ra

Medienberührte Teile

SEMI F20 HP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

Ventil

Normally Closed

Elektrisch
Diagnosefähigkeit
Available

Analoge Kommunikation

Digitale Kommunikation

DeviceNet™

Elektrischer Anschluss

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

Spannungsversorgung

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc

Beachtung
EMV

EC Directive 2014/30/EU

CE: EN61326-1: 2013

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

PC115 PC125
Unterscheidungsmerkmal

Control Mode: Downstream and Upstream

Embedded Thermal Flow Sensor: No

Control Mode: Downstream

Embedded Thermal Flow Sensor: Yes

Durchflussbereich (Maximalwert)

20 sccm - 5 slm (N2 and H2 only)

10 slm (N2 and H2 only)

Druckregelbereich

Downstream: >2 to 100%

Upstream: >15 to 100%*

*Assuming hard vacuum on the outlet and 150 Torr min DP to achieve max flow

>2 to 100%

Maximaler Druck

Transducer Pressure Range: 1000 Torr F.S.

Transducer Over Pressure Limit: 2 x F.S. range

Transducer Pressure Range: 1000 Torr F.S.

Transducer Over Pressure Limit: 2 x F.S. range

Dichtungsmaterial

Metal Seal

Metal Seal

Elektrischer Anschluss

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - PC100 Series pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Mit dieser Windows-basierten Software können Sie alle Massendurchflussregler  und die Druckregler der Serien SLA5800 und SLAMf steuern und konfigurieren.