Genauigkeit unter Druck. Regelung mit Präzision.
Die Druckregler und -messgeräte der Serie PC100 kombinieren zahlreiche hochleistungsfähige Technologiemerkmale, um ultrapräzisen Fertigungsprozessen, wie zum Beispiel der anspruchsvollen Halbleiterfertigung oder der Dampfabscheidung, eine neue Stufe hinsichtlich Druckregelgenauigkeit und -zuverlässigkeit zu bieten.
Die auf der bewährten Brooks Technologie des Massedurchflussreglers GF100 beruhende Serie PC100 besticht durch folgende Merkmale, die insgesamt zu weniger Serviceunterbrechungen und einer höheren Verfügbarkeit beitragen: Ein hochreiner, vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg; eine verbesserte, speziell auf Vermeidung der Sensordrift ausgelegte Sensortechnologie; eine Bedienerschnittstelle und Gerätediagnosefähigkeiten, die die Durchführung der Geräteevaluation und Fehlerbehebung wesentlich erleichtern.