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Metallgedichtete Druckregler von Brooks Instrument

Stabile Druckregelung und höchste Prozessgasreinheit für beste Ergebnisse

Ob Zuverlässigkeit, Langlebigkeit oder Genauigkeit: Die metallgedichteten Druckregler von Brooks Instrument erfüllen all Ihre Erwartungen. Sie sind mit der Regeltechnologie unserer thermischen Massendurchflussregler ausgestattet und beseitigen so Regeldifferenz und Hysterese.

Mit metallgedichteten Druckreglern entfällt auch die Sauerstoffpermeation. Das führt zu einer verbesserten Gasreinheit. Weil Metalldichtungen unbegrenzt halten, reduziert sich außerdem Ihr Wartungsaufwand.

Die elektronischen Druckregler von Brooks Instrument können mit internen Druckaufnehmern für Druckregelungen im Bereich von 1,33 mBar bis 35 Bar ergänzt werden. Sie können die Druckregler so genau an Ihren Durchflussprozess anpassen und erhalten absolut zuverlässige Ergebnisse – Tag für Tag.

Für welche Anwendungen metallgedichtete Druckregler eingesetzt werden:

  • Fertigungsprozesse für Siliziumhalbleitergeräte – Ätzen, Abtragen, CVD, ALD, PVD, Epi, Diffusion, Implantation und RTP
  • Fertigungsprozesse für Halbleiterverbundgeräte – MOCVD
  • Präzisionsgefertigte Oberflächenbeschichtungen
  • Analysesysteme
  • Vakuumprozessanwendungen

Wählen Sie das Druckregelgerät, das Ihre Projektanforderungen am besten erfüllt.

PRODUKTE

SLA7840
SLA7840
Serie PC100
Serie PC100
Gerätetyp

Pressure Controller & Flow Meter

Pressure Controller
Unterscheidungsmerkmal

Control Mode: Downstream or Upstream

Remote Transducer

Wide Flow & Pressure Range

Control Mode: Downstream or Upstream

Ultra-High Purity

Digital Pressure Control

Druckregelbereich

20:1

> 2 to 100%

Durchflussbereich (Maximalwert)

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

10 slm (N2 or H2 only)

Genauigkeit

±1% of rate 20-100% F.S.

±0.2% F.S. < 20% F.S.

Pressure Reading: ± 1% of reading

Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S.

Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

< 1 sec typical for a 20-100% setpoint step with max 2% overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

< 1 sec typ. (excluding system time constant)

Wiederholbarkeit

±0.2% of rate

< ±0.2% F.S.

Dichtungsmaterial Metal Metal
Reinheitsgrad

32 µ inch Ra

5 µ inch Ra

Diagnosefähigkeit Available

Available

Analoge Kommunikation

0 - 5 Vdc

Digitale Kommunikation DeviceNet™

DeviceNet™