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Kapazitätsmanometer von Brooks Instrument

Hochentwickelte Manometer für dauerhafte Vakuumgenauigkeit

Für das Ergebnis Ihres Vakuumprozesses ist das Erreichen eines präzisen Druckniveaus notwendig. Kapazitätsmanometer von Brooks Instrument bieten Ihnen genau das: Höchste Präzision für dauerhafte Vakuumgenauigkeit.

Die hochentwickelten Manometer sind nicht nur extrem zuverlässig, sie minimieren auch thermische Einflüsse und Drift. Darüber hinaus widerstehen Kapazitätsmanometer Membrankontaminationen und eignen sich so auch für schwierige Vakuumanwendungen.

In welchen Bereichen Kapazitätsmanometer eingesetzt werden:

  • Halbleiterfertigung
  • Dünnschichtabscheidungsprozesse – Glas-, Gewebe- und optische Beschichtungen
  • Gefriertrocknung leichtverderblicher Materialien
  • Hightech-Beschichtungen medizinischer Instrumente (chirurgische Instrumente, Zahnbohrer)
Wählen Sie das Kapazitätsmanometer, das Ihre Projektanforderungen am besten erfüllt. 

PRODUKTE

Serie CMC
Serie CMC
Serie XacTorr®
Serie XacTorr®
Gerätetyp Capacitance Manometer Capacitance Manometer
Unterscheidungsmerkmal

Unheated

Heated or Unheated

Analog or Digital

 

Druckbereich

10, 20, 50, 100, 500 and 1000 Torr Full Scale

0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr

mBar & Pascal References Available

Genauigkeit

Type A = 0.25% of Reading

Type B = 0.50% of Reading

CMX0: 0.25% of Reading

CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading

CMX1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading

Temperatur Ambient

CMX0 Ambient

CMX1 45°C

CMX2 100°C

CMX3 160°C

Analoge Kommunikation

0-10 Vdc (<10k Ohm load)

0-10 Vdc 5k Ohm load
Digitale Kommunikation

DeviceNet™

RS485

Größe Compact Large