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SolidSense II® Druckaufnehmer

Maximieren der Prozesspräzison mit genauer und stabiler Regelung der ultrahohen Reinheit.
Modelle GF / GI
Für die Druckmessung in hochreinen und in Spezialgasanwendungen innerhalb zahlreicher Branchen müssen Druckaufnehmer die Stabilität und Genauigkeit aufrechterhalten. Für diese Zielsetzungkombinieren die Druckaufnehmer SolidSense II® von Brooks Instrument unverschweißte, korrosionsbeständige Werkstoffe mit einem Design, das überragende Nullpunktstabilität und Genauigkeit von 0,25% des Endwerts liefert.

Wir vermeiden die Probleme mit Nullpunkt- und Endwertdrift, Temperaturverschiebung und Gehäusebelastung, die bei vergleichbaren Aufnehmern des Wettbewerbs zu Wartungsproblemen und Ausfallzeiten führen. Stattdessen weisen die SolidSense II® Geräte ein robustes, wartungsarmes Design auf, das die Gesamtbetriebskosten senkt.


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Datenblatt Serie SolidSense II®

Merkmale

  • Material: Hochtemperaturvergütetes Gehäuse aus Edelstahl 316L mit einteilig gefertigtem Sensor
  • Keine Schweißnähte oder Verbindungen zwischen unähnlichen Werkstoffen
  • Druckbereich: Endwert 2,1 bis 205 bar
  • Modelle mit integriertem Display oder programmierbarem Display mit vollständigem Funktionsumfang verfügbar.
  • Digitale Temperaturkompensation verwendet die Mehrpunkttemperaturkompensationsmethode.
  • Proprietäre mikrogefertigte Silizium-DMS weisen eine sehr geringe Nullpunktdrift auf.
  • Strömungsweg ohne Totbereiche ermöglicht komplette Entfernung von Restgas. 
  • Ausgänge: 4 bis 20 mA, 0 bis 10 V DC, 0,05 bis 5,05 V DC

Vorteile

  • Die glatte Oberflächenrauigkeit und korrosionsbeständige Werkstoffe stellen kontaminationsfreie Messungen sicher – ideal für viele Halbleiter- und Industrieanwendungen.
  • Beständigkeit gegen H2-Versprödung erhöht die Lebensdauer.
  • Langzeitstabile, wiederholbare Sensorleistung bei wechselnden Temperaturen sichert die zuverlässige Leistung.
  • Erhaltung der Genauigkeit durch überlegene Stabilität
  • Verminderter Zeitaufwand für die Kalibrierung durch Entfall einer eingangs erforderlichen Nullpunkteinstellung.
  • Doppelt vorhandene präzisionsangepasste DMS-Sensorpaare sichern die Leistungsfähigkeit.
  • Sensorbefestigung durch spannungsabbauendes Schmelzglaskleben erhöht die Lebensdauer. 
  • Digitale Temperaturkompensation verbessert über den gesamten Temperaturbereich die thermische Stabilität.

Anwendungen

  • Halbleiterherstellung 
  • Systeme zur Speicherung und Bereitstellung ultrareiner Medien
  • Dünnschichtprozesse
  • Forschung in Chemie und Petrochemie
  • Forschungs- und Analyseprojekte
  • Nahrungsmittel und Getränke
  • Pharmazeutik

Gerätetyp

Pressure Transducers

Unterscheidungsmerkmal
Ultra-High Purity
Leistung
Druckbereich
-15 psi - 3000 psi
Berstdruck
400% full scale
Druckfest
200% full scale up to 2,000 psi, 150% full scale for higher ranges
Genauigkeit
0.25% Full Scale (BFSL)
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil
< 5 msec
Temperaturkoeffizient

>100 PSI Ranges:  Full Scale:+0.02% full scale/OF (-4OF to 140OF, -20OC to 60OC) +0.50% full scale (68OF to 140OF, 20OC to 60OC) 0 to 10 Vdc version

<100 PSI Ranges:  Full Scale:+0.04% full scale/OF (-4OF to 140OF, -20OC to 60OC) +1.00% full scale (68OF to 140OF, 20OC to 60OC) 0 to 10 Vdc version

Mechanisch
Verwendete Materialien
Housing: Stainless steel, polymer plastics
Oberflächenbeschaffenheit
Compliant with SEMI F19
Medienberührte Teile
VIM-VAR 316L stainless steel, SEMI F20
Sauberkeit
Compliant to ASTM F1374-92 (2005)
Totvolumen
1.79cc
Prozessanschluss
Multiple configurations including tube, NPT, Face Seal and Surface Seal
Kennwerte
Temperaturbereich

Non-display version: -20OF to 180OF (-29OC to 82OC)

Integrated Display Version:-20°F to 140°F (-29°C to 60°C)

Temperaturkompensation
-4OF to 140OF (-20OC to 60OC) / 68OF to 140OF (20OC to 60OC) 0-10 Vdc version
Lagertemperaturbereich

Non-display: -40OF to 180OF (-40C to 82OC)

 Integrated display: -40°F to 167°F (-40°C to 75°C)

Elektrisch
Analoge Kommunikation
0-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0.2-5.2 Vdc, 2-10 Vdc, 4-20 mA



Versorgungsstrom

Non-display Version: Max. 10 mA

Integrated Display: Max. 30 mA

Benötigte Spannungsversorgung

Display Version:10 to 30 Vdc for 4 to 20 mA output     Integrated Display Version:15 to 30 Vdc for 4 to 20 mA output and no signal output

Display Version:11 to 30 Vdc for 0 to 5 Vdc output      Integrated Display Version:11 to 30 Vdc for 0 to 5 Vdc output

Display Version: 13 to 32 Vdc for 0 to 10 Vdc output   Integrated Display Version:13 to 30 Vdc for 0 to 10 Vdc output

Beachtung
Zertifikate und Zulassungen

EMC: Compliant to EU Directive 2004/108/EC

FM Approved: Non-Incendive for use in Class I, Div II Groups A, B, C and D Hazardous Applications

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

GF GI
Unterscheidungsmerkmal ATEX available

Integrated Display

Konfiguration Single-Ended Single-Ended
Druckbereich Vacuum - 4,000 psi Vacuum - 4,000 psi
Genauigkeit 1% FS 0.25% Full Scale (BFSL)
Ausgangstyp Analog Voltage or Current Analog Voltage or Current
Zertifikate und Zulassungen

ATEX

Equipment Group II, category 3 G

Compliant to EU Directive 94/9/EC

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Data Sheet - ATEX pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English
DateinameDateityp
GIF-M-VM-L DXF
GIF-M-VM-L IGS
GIF-M-VM-L STEP
GFD-B-CS DXF
GFD-B-CS IGS
GFD-B-CS STEP

Die LR-056 ist eine kleine Druckaufnehmeranzeige zur präzisen Drucküberwachung.