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SolidSense II® Druckaufnehmer

Maximale Prozesspräzison bei höchster Reinheit
Verfügbare Modelle GF / GI

Druckaufnehmer der SolidSense II Reihe bieten Ihnen höchste Nullpunktstabilität und eine Genauigkeit von 0,25% des Endwerts. Das ist ideal für die präzise Druckmessung auch in den anspruchsvollsten Branchen und Spezialgasanwendungen. Die Druckmesser sind aus unverschweißten, korrosionsbeständigen Werkstoffen gefertigt. Das macht Sie besonders robust und langlebig.

So vermeiden Sie Probleme mit dem Nullpunkt- und Endwertdrift, Temperaturverschiebungen und eine hohe Gehäusebelastung. Mit SolidSense II® Druckaufnehmern senken Sie Ihre Wartungskosten sowie Ausfallzeiten und somit die Gesamtbetriebskosten.

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Datenblatt Serie SolidSense II®

Merkmale

  • Material: Hochtemperaturvergütetes Gehäuse aus Edelstahl 316L mit einteilig gefertigtem Sensor
  • Keine Schweißnähte oder Verbindungen zwischen unähnlichen Werkstoffen
  • Druckbereich: Endwert 2,1 bis 205 bar
  • Integriertes, programmierbares Display verfügbar
  • Digitale Temperaturkompensation verwendet die Mehrpunkttemperaturkompensationsmethode
  • Proprietäre mikrogefertigte Silizium-DMS für einen geringen Nullpunktdrift
  • Strömungsweg ohne Totbereiche ermöglicht komplette Entfernung von Restgas. 
  • Ausgänge: 4 bis 20 mA, 0 bis 10 V DC, 0,05 bis 5,05 V DC

Ihre Vorteile

  • Glatte Oberflächen und korrosionsbeständige Werkstoffe für absolut kontaminationsfreie Messungen – ideal für viele Halbleiter- und Industrieanwendungen
  • Erhöhte Lebensdauer dank H2-Versprödungs-Beständigkeit und spannungsarme Schmelzglasverklebung des Sensors
  • Langzeitstabile, wiederholbare Sensorleistung bei wechselnden Temperaturen
  • Höchste Stabilität und Genauigkeit für Ihre Prozesse
  • Eine Nullpunkteinstellung ist nicht erforderlich, das spart Ihnen Zeit bei der Kalibrierung
  • Höchste Leistungsfähigkeit dank präziser DMS-Sensorpaare
  • Digitale Temperaturkompensation für verbesserte thermische Stabilität

Für diese Aufgaben werden SolidSense II® Druckaufnehmer eingesetzt:

  • Halbleiterherstellung 
  • Systeme zur Speicherung und Bereitstellung ultrareiner Medien
  • Dünnschichtprozesse
  • Forschung in Chemie und Petrochemie
  • Forschungs- und Analyseprojekte
  • Nahrungsmittel und Getränke
  • Pharmazeutik

Gerätetyp

Pressure Transducers

Unterscheidungsmerkmal
Ultra-High Purity
Leistung
Druckbereich
-15 psi - 3000 psi
Berstdruck
400% full scale
Druckfest
200% full scale up to 2,000 psi, 150% full scale for higher ranges
Genauigkeit
0.25% Full Scale (BFSL)
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil
< 5 msec
Temperaturkoeffizient

>100 PSI Ranges:  Full Scale:+0.02% full scale/OF (-4OF to 140OF, -20OC to 60OC) +0.50% full scale (68OF to 140OF, 20OC to 60OC) 0 to 10 Vdc version

<100 PSI Ranges:  Full Scale:+0.04% full scale/OF (-4OF to 140OF, -20OC to 60OC) +1.00% full scale (68OF to 140OF, 20OC to 60OC) 0 to 10 Vdc version

Mechanisch
Verwendete Materialien
Housing: Stainless steel, polymer plastics
Oberflächenbeschaffenheit
Compliant with SEMI F19
Medienberührte Teile
VIM-VAR 316L stainless steel, SEMI F20
Sauberkeit
Compliant to ASTM F1374-92 (2005)
Totvolumen
1.79cc
Prozessanschluss
Multiple configurations including tube, NPT, Face Seal and Surface Seal
Kennwerte
Temperaturbereich

Non-display version: -20OF to 180OF (-29OC to 82OC)

Integrated Display Version:-20°F to 140°F (-29°C to 60°C)

Temperaturkompensation
-4OF to 140OF (-20OC to 60OC) / 68OF to 140OF (20OC to 60OC) 0-10 Vdc version
Lagertemperaturbereich

Non-display: -40OF to 180OF (-40C to 82OC)

 Integrated display: -40°F to 167°F (-40°C to 75°C)

Elektrisch
Analoge Kommunikation
0-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0.2-5.2 Vdc, 2-10 Vdc, 4-20 mA



Versorgungsstrom

Non-display Version: Max. 10 mA

Integrated Display: Max. 30 mA

Benötigte Spannungsversorgung

Display Version:10 to 30 Vdc for 4 to 20 mA output     Integrated Display Version:15 to 30 Vdc for 4 to 20 mA output and no signal output

Display Version:11 to 30 Vdc for 0 to 5 Vdc output      Integrated Display Version:11 to 30 Vdc for 0 to 5 Vdc output

Display Version: 13 to 32 Vdc for 0 to 10 Vdc output   Integrated Display Version:13 to 30 Vdc for 0 to 10 Vdc output

Beachtung
Zertifikate und Zulassungen

EMC: Compliant to EU Directive 2004/108/EC

FM Approved: Non-Incendive for use in Class I, Div II Groups A, B, C and D Hazardous Applications

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

GF GI
Unterscheidungsmerkmal ATEX available

Integrated Display

Konfiguration Single-Ended Single-Ended
Druckbereich Vacuum - 4,000 psi Vacuum - 4,000 psi
Genauigkeit 1% FS 0.25% Full Scale (BFSL)
Ausgangstyp Analog Voltage or Current Analog Voltage or Current
Zertifikate und Zulassungen

ATEX

Equipment Group II, category 3 G

Compliant to EU Directive 94/9/EC

DateinameDateitypDokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English
Data Sheet - ATEX pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English Korean Russian Romanian Spanish
DateinameDateityp
GIF-M-VM-L DXF
GIF-M-VM-L IGS
GIF-M-VM-L STEP
GFD-B-CS DXF
GFD-B-CS IGS
GFD-B-CS STEP

Die LR-056 ist eine kleine Druckaufnehmeranzeige zur präzisen Drucküberwachung.