Direkte Vakuummessung
Herausforderung: Sensordrift im Vakuum und Stillstandszeiten des Prozessgeräts reduzieren
Bei den meisten kammerbasierten Herstellungsprozesse muss die Erzeugung, Messung und Regelung des Vakuums in folgender Weise erfolgen:- Sauber: Damit ein Prozess das Verunreinigungsniveau bis in den PPT-Bereich (parts per trillion, Teile pro Billion) reduzieren kann, ist ein Leerpumpen der Kammer auf Hochvakuum erforderlich.
- Realisierbar: Die meisten Dünnschichtbeschichtungen — insbesondere Metalle — lassen sich nicht bei Normaldruck abscheiden.
- Wiederholbar: Vakuum erlaubt eine viel bessere Wiederholbarkeit von Dünnschichtprozessen, weil Verunreinigungen (O2, H2O, H2 usw.) bei jedem Prozessablauf entfernt werden.
Lösung: Digitale Kapazitätsmanometer der Serie XacTorr®
Die digitalen Vakuumkapazitätsmanometer der Serie XacTorr® CMX von Brooks Instrument sind mit branchenführenden Merkmalen ausgestattet, die die Zuverlässigkeit der Messungen verbessern, Drift praktisch ausschließen, Membrankontaminationen widerstehen und thermische Einflüsse minimieren. Das Ergebnis ist ein außergewöhnlich zuverlässiges Kapazitätsmanometer, das als leistungsfähiges Gerät dazu beiträgt, bei jedem Evakuieren einer Prozesskammer den erforderlichen Grad der Kontaminationsfreiheit sicherzustellen.PRODUKTE
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| Gerätetyp | Capacitance Manometer | Capacitance Manometer |
| Unterscheidungsmerkmal |
Unheated
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Heated or Unheated Analog or Digital
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| Druckbereich |
10, 20, 50, 100 and 1000 Torr Full Scale |
0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr mBar & Pascal References Available |
| Genauigkeit |
Type A = 0.25% of Reading Type B = 0.50% of Reading |
CMX0: 0.25% of Reading CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading CMX1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading |
| Temperatur | Ambient |
CMX0 Ambient CMX1 45°C CMX2 100°C CMX3 160°C |
| Analoge Kommunikation |
0-10 Vdc (<10k Ohm load) |
0-10 Vdc 5k Ohm load |
| Digitale Kommunikation |
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DeviceNet™ RS485 |