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Produkte Massendurchflussmesser Elastomergedichtet thermisch Serie GF40

Elastomergedichtete thermische Massendurchflussregler der Serie GF40

Ein Gerät. Mehrere Gase und Durchflüsse. Maximale Flexibilität
Verfügbare Modelle GF40

Die elastomergedichteten Massendurchflussregler und Durchflussmessgeräte der Serie GF40 bieten Ihnen maximale Prozessflexibilität und -produktivität. Zusammen mit der MultiFlo™ Technologie sind sie ideal für die verschiedensten Prozesse geeignet.

Ganz gleich ob unterschiedliche Gase verwendet werden, die Gas-Arten häufig wechseln oder Sie Bereiche neu definieren müssen: Sie können sich jederzeit auf die hohe Genauigkeit der Gasmessung und -regelung verlassen.


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Sprechen Sie mit einem unserer Anwendungsexperten, wir helfen Ihnen gerne:

Rufen Sie an unter: +49 351 215 2040

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Datenblatt Serie GF40

Merkmale

• Programmierbare Multigas/Multirange Technologie
• Brooks® MultiFlo™ Gasdatenbank mit einer Vielzahl an Gasen und Gasgemischen zur Anpassung der Geräte
• Ausregelzeit von unter 1 Sekunde und Genauigkeit von <1 % des Sollwerts für anspruchsvolle Anwendungen
• Passgenau auf viele Gase zugeschnitten
• Schnell ansprechender Sensor aus robustem Hastelloy®
• Leicht zugänglicher Diagnose- und Serviceanschluss ist unabhängig von der Gerätekommunikation
• Multiprotokoll-Kommunikation mit DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus® und RS-485 Analogschnittstelle

Ihre Vorteile

• MultiFlo™ Technologie für neue Gaskalibrierungen und Endwertbereiche ohne Demontage des MFC von der Gasleitung sowie Maximierung der Betriebszeit
• Unkomplizierte MultiFlo™ Programmierung: Auswahl eines neuen Gases in weniger als 60 Sekunden
• Reduzierung der Lagerhaltung an gas- und bereichsspezifischen Reglern bei OEMs und große Endanwendern
• Exzellente Prozessgasgenauigkeit, unterstützt durch überlegene Messtechniksysteme und Kalibrierungen nach weltweiten Normen
• Korrosionsbeständiger Sensor aus Hastelloy® für unerreichte Langzeitstabilität zur Sicherstellung eines maximalen Ertrags und Durchsatzes
• Erleichterung der Fehlerbehebungs- und Diagnosearbeiten durch einen separaten Serviceanschluss
• Verschiedene Elastomerdichtungen für unterschiedlichen Anwendungsbereiche
• Bessere Integration in bestehende Systeme dank der Multiprotokollkommunikationsschnittstelle

Typische Einsatzfelder elastomergedichteter Durchflussmesser der Serie GF40

• Solarzellenherstellung
• Bioreaktoren der Biowissenschaft
• Vakuumprozesse
• Nanotechnologie und MEMS-Herstellung
• Plasma-, Glas- und  Bahnbeschichtungssysteme
• Verteiler-/Gasversorgungssysteme
{401C5C5F-E447-4C89-AE9A-7AB9531800B5}
Gerätetyp
Massedurchflussregler
{85D6B977-1CF9-4752-8A3D-4A1088016856}
Unterscheidungsmerkmal

Hohe Genauigkeit

MultiFlo™ Funktionalität

Kompakte Größe

Geeignet für die gesamte Palette an Gasen

{4E6BA170-D9B9-4E88-B422-6E7D941017EB}
Leistung
{B8CBEAA1-9B67-4F93-8C9E-128F709C488F}
Durchflussbereich (Maximalwert)
3 sccm - 50 slpm
{4091AF3B-8E51-462D-AB96-3C8C5F50CACB}
Genauigkeit

1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%

{430B01B9-6AC3-4A2E-A47E-3EE4A08AAC87}
Wiederholbarkeit

0.20% SP

{279F2CEC-549F-4FEB-8417-236707ACE451}
Linearität

±0.5% FS (in der Genauigkeit enthalten)

{D598FBEC-ADC6-4536-B3FE-F81D371B5B9B}
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

{55583860-F6FB-4C11-9221-42CEA7121314}
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Available
{9B669EE1-BBCF-4001-A23E-82E1E01BD337}
Regelbereich

2-100%

                                        

 

{595E4D12-1536-4B83-9EA7-07DC8C5FDD44}
Anzahl der Gerätegrundgrößen

10 Bins

{0EDA30F7-20EC-43A9-BB2F-971CE3D90ECF}
Schleichmengen-Unterdrückung

Schließt das Ventil, wenn der Sollwert unter 1,5% des konfigurierten Bereiches fällt

{F0FE01D0-412B-473D-B2A9-716EEFEBB8FB}
Nullstabilität
<±0.5% FS per year
{177D8BF4-A5BA-4507-A921-1CCC1217ACB6}
Druckkoeffizient

0.03% per psi (0-50psi N2)

{EDF6FC6E-51A3-471C-936C-0EAFAE78FF3E}
Kennwerte
{170B6E7F-8429-42D4-884E-8CDA7CA51329}
Temperaturbereich

5-50oC (41-122oF)

{7B7D20F0-4595-4BAB-A1F6-052EC6D9D08F}
Maximaler Druck

150 psig/10 bar

{5B0169F5-649F-4B58-9FB4-EC506037713E}
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-55000 sccm = 25-45 psid

*Kontaktieren Sie gerne unseren Technischen Service für weitere Informationen

{979D5D9B-7109-4C2E-9E3C-48AEF44743DA}
Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
{B630BC60-9E07-427E-B377-5B0810A2B020}
Mechanisch
{D3A18DDA-24FC-4D77-B17D-7D9C82FE20F4}
Dichtungsmaterial

Elastomerdichtung

{B48DDCAE-901A-499D-9C22-FEEA1BE3CB6B}
Oberflächenbeschaffenheit
32µ inch Ra
{A7F69D55-8885-4FA3-9030-108E9CF720AA}
Medienberührte Teile

316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055

{CE6916E3-668E-4AED-8555-49F4C1D958ED}
Ventil

Normalerweise geschlossen

Normalerweise geöffnet

Zähler (kein Ventil)

{4825F789-6AC0-452E-9B5A-D1B345D4D5C0}
Diagnose
{E30F071F-D5C1-47C2-B303-2ED8AAAA9844}
Diagnosefähigkeit

Verfügbar

{87C6F242-81D8-4670-8268-FB09DB343DBC}
Diagnose/Service-Port

Verfügbar

{FF050C1C-9989-499B-8DDD-D145556C5119}
Elektrisch
{DB7C7415-9565-4D3C-BF20-3004CB2E2DBC}
Analoge Kommunikation

0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA

{F0D53125-7F59-4D1D-8A06-C458BD6D5F65}
Digitale Kommunikation

DeviceNetTM
EtherCAT®
Profibus®
RS485

{EF8D242D-4752-40C5-8428-06E05B5D5044}
Elektrischer Anschluss
DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)

EtherCAT®: 5-pin M8 with threaded coupling nut/2 x RJ45

Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D/1 x 9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)
{122753E9-9ECE-4B29-AD62-90D09D883D95}
Spannungsversorgung
Analog / RS-485

From +12 Vdc to +24 Vdc: 7 Watt/8 Watt

DeviceNet™

From +11 Vdc to +25 Vdc: 7 Watt/8 Watt

EtherCAT® / Profibus®

From +13.5 Vdc to +27 Vdc: 7 Watt/8 Watt
{F76C62CC-4EBB-4D9E-8BEB-C9196A1B4B50}
Beachtung
{D0EB512E-048B-46F6-B187-BB52DF7C2682}
Zertifikate und Zulassungen

CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Safety EN61010-1

{C411D614-A5D2-4FD1-BCB2-A4441DF2D33A}
Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

{2B5B0F79-5BB4-4E84-BC1A-630F6CB50DB4}
Größe
Kompakte
GF40
Durchflussbereich (Maximalwert)

3 sccm - 50 slm
Genauigkeit

1% S.P. 35-100%

0.35% F.S. 2-35%
Maximaler Druck 150 psig/10 bar
Wiederholbarkeit <0.20% S.P.
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange MultiFlo™ Available
Diagnosefähigkeit

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack
Analoge Kommunikation

 0-5 V,  0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA
Digitale Kommunikation

DeviceNet™

EtherCAT™

Profibus®

RS485
Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Data Sheet pdf German English French Japanese Spanish
Installation & Operation Manual pdf English Japanese
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
Profibus® Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80 pdf English

Verwenden Sie den folgenden Leitfaden (Modellcodeinformationen aus dem Datenblatt), um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übertragen. Wenn Sie Fragen haben oder Hilfe benötigen, wenden Sie sich bitte an unsere Anwendungstechniker oder Ihren lokalen Brooks Instrument Vertreter – wir helfen Ihnen gerne.

Beispiel: GF040 - N2 - S5

Messgerät Serie
  Fitting
  Kommunikation/Verbindung
GF040
   XX - 9/16” - 18 UNF
   P5 - Profibus / Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
    T1 - 1/8” tube compression
   P0 - Profibus / Analog (Input 0-20 mA; Output 0-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
    T2 - 1/4” tube compression
   P4 - Profibus / Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.
    T3 - 3/8” tube compression
   E5 - EtherCAT™ / (Output 0-5 V); 2xRJ45 signal 2-Pin power
    T4 - 1/2” tube compression
   D5 - DeviceNet / Analog (Output 0-5 V); 5-Pin mico signal and power / 3-Pin analog signal
    T6 - 6 mm tube compression
   S5 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V)15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    T0 - 10 mm tube compression
   S1 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    R2 - 1/4” RC (BSP)
   S0 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 0-20 mA ; Output 0-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    VX - 1/4” VCR
   S4 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol)
    O2 - 1/4” VCO
   L5 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol)
    N2 - 1/4” NPT
   L1 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol)

 

Serie 0250
Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Serie 0260
Serie 0260

Steuert und überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.

MultiFlo™ Konfigurator
MultiFlo™ Konfigurator
Brooks Expert Support Tool (BEST)
Brooks Expert Support Tool (BEST)

Eine Windows™ basierte Anwendung, die eine erweiterte Steuerung von Brooks Instrument MFCs und Druckreglern.

Brooks LabVIEW™ DLL
Brooks LabVIEW™ DLL
Mit dieser Software können Sie digitale MFC, Druckregler oder andere Auswertungselektronik von Brooks Instrument ohne lizensierte LabVIEW-Version ansprechen. Für eigene LabVIEW-Applikationen sind DLL erforderlich.
Smart DDE
Smart DDE

Smart DDE ist eine Software für den dynamischen Datenaustausch. Sie ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und Brooks® Geräten mit RS485-S-Protokoll.