In Branchen, in denen Präzision alles ist – wie bei der Dünnschichtabscheidung und Beschichtungen – können selbst kleine Unregelmäßigkeiten bei der Gasdurchflussregelung den Unterschied zwischen perfekter Produktqualität und kostspieligen Nacharbeiten oder Ausfallzeiten ausmachen. Bei einem Hersteller von Dünnschichtabscheidungssystemen konnte der Hersteller des Durchflussmessers keinen technischen Support leisten, was fast zu einer Beeinträchtigung der Produktionslinie geführt hätte.
Glücklicherweise sprang Brooks Instrument ein und lieferte nicht nur technischen Support, sondern auch Reaktionsschnelligkeit und Anwendungskompetenz, wodurch das Vertrauen des Herstellers in seine Geräte wiederhergestellt wurde.
Dies ist eine Geschichte darüber, wie technische Exzellenz und fundiertes Fachwissen dazu beigetragen haben, Frustration in Zuversicht zu verwandeln.
Die Herausforderung: Schlechte Unterstützung, instabile Prozesse
Ein Hersteller von Dünnschicht-Beschichtungssystemen, der sich auf Hochvakuum-Prozesstechnologie und -ausrüstung spezialisiert hat – bekannt für hochpräzise Beschichtungsanlagen für die Optik-, Solar- und Luftfahrtindustrie – hatte mit langen Lieferzeiten und schlechtem Kundenservice seitens seines aktuellen Durchflussmesserlieferanten zu kämpfen.
Brooks Instrument: Technisches Know-how trifft auf Engineering-Partnerschaft
Nachdem der Lieferant des Durchflussmessers nicht reagiert hatte, vereinbarte der Hersteller einen Termin für ein Telefonat mit einem Durchflussexperten von Brooks Instrument. Innerhalb weniger Tage arbeiteten sie mit einem engagierten Ingenieur von Brooks Instrument zusammen, der sich ein umfassendes Bild von ihrem System machte. Der OEM betonte sogar, dass er von Brooks Instrument einen besseren Kundenservice erhalten habe als von seinem derzeitigen Lieferanten für Durchflussmesser.
So hat Brooks Instrument einen Unterschied gemacht:
1. Anwendungsspezifische Überprüfung
Das Team von Brooks Instrument führte eine vollständige Überprüfung der Ausrüstung durch, einschließlich:
- Gasarmaturen-Design
- Erforderliche Durchflussbereiche und Gase
- Reaktionszeit und Genauigkeitstoleranzen
- Integration in bestehende Steuerungssysteme
Sie stellten mehrere Diskrepanzen zwischen den Fähigkeiten des bisherigen Massendurchflussreglers und den tatsächlichen Systemanforderungen des OEM fest.
2. Umstellung auf den Massendurchflussregler SLA5850 mit PROFINET und kapazitivem Manometer der Serie XacTorr®
Brooks Instrument empfahl den Massendurchflussregler SLA5850 mit PROFINET speziell für:
- Langfristige Sensorstabilität – entscheidend für die Minimierung von Kalibrierungsabweichungen
- Breiter Durchfluss- und Druckbereich
- Hohe Genauigkeit
Diese Steuerungen boten außerdem eine verbesserte digitale Kommunikation, wodurch die Integration in ihr Steuerungssystem nahtlos erfolgte.
Als Nächstes empfahl Brooks Instrument ein Kapazitätsmanometer speziell für:
- Verbesserte Stabilität mit hervorragendem Schutz vor Ablagerungen von Prozessgasen
- Schnelles Aufheizen, präzise Temperaturregelung und schnelle Reaktion auf Änderungen
Die Ergebnisse: Verbesserte Erträge, Stabilität und Vertrauen
Innerhalb weniger Wochen nach der Einführung stellte das Team des OEM Folgendes fest:
- Stabiler, wiederholbarer Gasfluss die verbesserte Filmgleichmäßigkeit
- Reduzierte Nacharbeit aufgrund einer besseren Konsistenz der Ablagerungen
- Wiederhergestelltes Vertrauen in ihrem Dünnschicht-Abscheidungssystem
Der Unterschied lag nicht nur in der Ausrüstung. Es war die Kombination aus technisch überlegener Durchflussmessung und Vakuumsteuerungstechnologie sowie dem Zugang zu jahrzehntelangem echtem Ingenieurswissen, die es ihrem Team ermöglichte, wieder auf Kurs zu kommen – und dort zu bleiben.
Warum es wichtig ist
In fortschrittlichen Fertigungsbereichen wie Dünnschichtbeschichtung, PVD, CVD und ALD ist die Fehlerquote äußerst gering. Massendurchflussmesser und Vakuummessgeräte sind nicht nur Komponenten – sie sind entscheidende Faktoren für Prozessstabilität, Wiederholbarkeit und Produktqualität.
Diese Fallstudie zeigt Folgendes:
- Technische Daten allein reichen nicht aus. Ohne reaktionsschnellen Support und Anwendungswissen kann selbst die beste Ausrüstung versagen.
- Brooks Instrument bietet beides Modernste Massendurchflussregler und umfassender technischer Support, der Kunden dabei hilft, reale Probleme schnell zu lösen.
- Vertrauen entsteht durch Fachwissen. Und genau diese Kombination ist es, die Ingenieure immer wieder zu Brooks Instrument zurückkehren lässt.
Entdecken Sie die Durchfluss- und Druckregelungslösungen von Brooks Instrument
Wenn Sie mit ähnlichen Herausforderungen konfrontiert sind – schlechter Support oder mangelnde Anwendungskompetenz –, ist es vielleicht an der Zeit, über eine bessere Lösung nachzudenken.
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