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Historie

Von Anfang an innovationsgetrieben

Es begann 1946: das erste Jahr des Friedens nach dem Zweiten Weltkrieg; ENIAC, der erste Computer wurde enthüllt; das Wort "Automatisierung" wurde etabliert. Und die „Brooks Rotameter Company“ wird in Lansdale, Pennsylvania von Stephen A. Brooks gegründet.

Das neue Unternehmen setzte auf ein innovatives Seitenplatten-Dübelprinzip in Rotameterbauweise: Ein neues, besseres Instrument, das zuverlässigere Ergebnisse lieferte. Bis heute engagiert sich Brooks Instrument für neue Technologien, um die Messung und Steuerung wesentlicher Prozesse in der Industrie zu verbessern.

Stetiges Wachstum

In den vergangenen sieben Jahrzehnten ist Brooks Instrument stetig gewachsen und hat Pionierarbeit geleistet. Unsere robusten, stromlinienförmigen Sho-Rate® Durchflussmessgeräte setzte die NASA schon zur Dichtheitsprüfung von Weltraumanzügen für das Gemini-Raumfahrtprogramm ein (1965).

Auch für all die anderen Unternehmen, die seither Teil von Brooks Instrument wurden, spielt das Thema Innovation eine große Rolle. Die Macher bahnbrechender Entwicklungen in der Massendurchflusstechnologie, z.B. Tylan General oder UNIT Instruments, gehören dazu. Genau wie wir hatten sie stets das Ziel, die Entwicklung und Anwendung der Massendurchflusstechnologie kontinuierlich zu verbessern.

Das Potenzial des Massendurchflusses

Massendurchflussmessung und -regelung ist eine Technologie, die maßgeblich zum Boom der globalen Halbleiterindustrie beigetragen hat – und damit zur Entstehung der digitalen Welt, wie wir sie heute kennen.

Bereits auf den Apollo-Missionen wurden Massenflussregler (MFCs) zur Überwachung der Sauerstoffversorgung eingesetzt. In den 1970er Jahren kam der Tylan FC-260 auf den Markt. Er ermöglichte es Halbleiterherstellern, Prozessgase automatisch zu steuern. So konnten Durchsatzmengen und Erträge auch im industriellen Maßstab gemessen werden.

1980 brachte UNIT Instruments den UFC1000 heraus, der ein schnelleres, sichereres, normal geschlossenes MFC-Ventil bot. Damit eignete es sich besser für anspruchsvolle Prozesse wie das Ätzen.

Anfang bis Mitte der 1990er Jahre brachte Brooks Instrument den ersten metallgedichteten MFC (5850EM) auf den Markt. Er überzeugte durch eine verbesserte Zuverlässigkeit und Beständigkeit gegen korrosive Gase. Auch die Entwicklung des ersten rein digitalen MFCs für noch höhere Präzision und eine einfachere Integration in Prozesswerkzeuge fällt in diese Zeit.

Jede Innovation und jedes technische Feature, das einem Massenflussgerät hinzugefügt wurde, half den Herstellern, ein neues Level an Präzision und Genauigkeit zu erreichen.

Verbesserte Leistung

Die Technologie, die wir entwickeln, war schon immer ein Katalysator für Durchbrüche in den Branchen unserer Kunden. Wir konzentrieren uns darauf, die Leistung in der Praxis kontinuierlich zu verbessern, um eine größere Prozessflexibilität und mehr Auswahl an Messgeräten anzubieten. Dadurch können wir auf spezifische betriebliche Anforderungen reagieren.

So brachte Brooks 1998 die Mf-Serie auf den Markt: Den ersten witterungsbeständigen MFC, den man auch im Freien, in Wasch-/Schlauchanwendungen sowie in Gefahrenbereichen einsetzen kann. Brooks entwickelte auch den ersten Coriolis-basierten Miniatur-MFC, der eine genauere Messung und Steuerung von Flüssigkeiten mit niedrigem Durchfluss erlaubt.

In den frühen 2000er Jahren gab es mehrere Innovationen für unterschiedliche Bereiche:

  • Kompakte, oberflächenmontierte MFCs, die es OEMs ermöglichen, die Größe der Gasfelder um bis zu 60% zu reduzieren und so viel Platz um die Prozessanlage herum zu sparen
  • Das erste digitale Kapazitätsmanometer zur Vakuummessung
  • MultiFlo®-Massendurchflusstechnologie zur Messung verschiedener Kombinationen von Gasen und Durchflussmengen mit einem Gerät (2001)
  • IFC125, der erste drucktransienten-unempfindliche (PTI) MFC von Celerity (ehemals UNIT Instruments) mit schnellster Reaktionszeit am markt und Kompensation von Eingangsdruckschwankungen (2004)

Für die Innovationen von heute

Im Jahr 2009 erwarb Brooks Instrument Celerity Instrumentation, zu dem Branchenführer wie Tylan, Mykrolis und UNIT Instruments gehörten. Mit der gemeinsamen Erfahrung und Kompetenz erzielten wir weitere Fortschritte wie diese:

  • Die GF100-Serie, eine sehr vielseitige, universelle MFC-Plattform für die Halbleiterindustrie, die MultiFlo®, PTI und andere fortschrittliche Technologien kombiniert. Sie setzt Industriestandards für Genauigkeit, Leistung und Langfristigkeit.
  • Der GF135 MFC, der erste MFC mit integrierter Echtzeit-Durchflussfehlererkennung, ermöglicht es Halbleiterherstellern, die Prozessgasgenauigkeit sowie  Dichtheit des Ventils zu überprüfen und die Sensorstabilität in Echtzeit zu überwachen, ohne den Durchflussregler aus der Gasleitung zu entfernen.
  • Der Durchflussmesser MT3809 VA verfügt über einen verbesserten Messumformer mit HART 7-Funktion und eine digitale LCD-Anzeige mit lokaler Bedienoberfläche. So können Parameteränderungen ohne Abnehmen der Abdeckung durchgeführt und sogar in Gefahrenbereichen vorgenommen werden.

Auch heute treibt uns der Wunsch nach Innovation an. Er inspiriert uns, unsere bestehenden Plattformen zu verbessern und neue Technologien zu entwickeln und einzusetzen - mit einem einzigen Ziel: Sie dabei zu unterstützen, Ihre Systeme und Abläufe noch besser zu machen.