XacTorr® 系列电容压力计

最大限度降低漂移和热效应。最大限度优化真空处理结果

型号 CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3

使真空依赖型工艺的效率和性能最大化：选择布鲁克斯仪器的 XacTorr® 系列数字式真空电容压力计。XacTorr® 系列设备同时拥有各种业内领先的功能技术，可提升测量可靠性、最大限度减少漂移、耐隔膜污染并能够使热效应最小化。

先进的 Mark-IV 传感器提供不用于压力测量的表面区域 – 可用于累积颗粒和可压缩蒸汽。因此减少了仪表重新调零的工作、延长了传感器寿命并且不会带来传感器漂移风险。此外，还有快速响应传感器可供选择，用于提供高级闭环控制性能。

结果：超精确、可重复并且高效的真空度测量，可确保每次对仓室压力进行抽真空时都能够准确使其达到工艺所需的目标 Torr 值以实现洁净、无污染生产。

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XacTorr® 系列数据表

特点

适用于 0.10 Torr - 1000 Torr 过程真空度范围
有多种精度水平可供选择
Mark IV 专利传感器
数字化架构可实现超高精确度的宽动态范围操作
双区域温控功能可提高测量稳定性和可重现性
多段数字校准功能可提供高级窗口显示已知精度
智能触控式零点调节
可单独轻松访问的诊断维护端口
DeviceNet® 和模拟通信选件

优势

漂移较低，能够为过程气体沉积提供极好的保护
无需使用手动电位计，不存在电子漂移
快速预热、闭阀温度控制并能够根据变化做出快速响应
多段校准功能可提供高级窗口显示已知精度以及对环境温度影响的实时补偿
如果压力过高或者未达到目标温度则无法调零
诊断端口允许用户在设备运行期间提供监视和数据采集功能，实现仓室和工具匹配以及“实时”高级故障排除

应用

超导体制造
薄膜沉积工艺 – 玻璃、网格和光学涂层
冻干易腐材料
适用于医疗仪器的高科技涂层（手术仪器、牙钻等）

产品类型

Capacitance Manometer

区别

Heated or Unheated

Analog or Digital

性能

温度

CMX0 Ambient

CMX1 45°C

CMX2 100°C

CMX3 160°C

压力范围

0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr

mBar & Pascal References Available

精度

CMX0: 0.25% of Reading

CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading

CMX1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading

测量范围

4 Decades

温度效应

On Zero

0.002% FS / °C

On Span

0.02% FS / °C

机械

裸露材料

Inconel® and/or AISI 316L Stainless Steel

超压极限

17 psia or 125% of Full Scale, whichever is greater

大小

Large

电气

模拟通讯

0-10 Vdc 5k Ohm load

数字通讯

DeviceNet™

RS485

电气连接

Analog/RS485 via 9-Pin or 15-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Various cable adaptors available. See product data sheet for more information.

电源-功耗

CMX0 power required is 200 mA @ ±15 Vdc

Power Input at Initial Warm-up Analog Models, Typical Values¹: CMX1 - 270 mA@±15 Vdc (±5%); CMX2 - 620 mA @ ± 15 Vdc (±5%)

Power Input at Steady State Analog Models, Typical Values¹:CMX1 - 175 mA @ ±15 Vdc (±5%); CMX2 - 350 mA @ ± 15 Vdc (±5%)

Power Input at Initial Warm-up DeviceNet Models, Typical Values: CMX1 - 400 mA @ 24 Vdc; CMX2 - 900 mA @ 24 Vdc

Power Input at Steady State DeviceNet Models, Typical Values: CMX1 - 300 mA @ 24 Vdc CMX2 - 600 mA @ 24 Vdc

1. 15-Pin Male Sub D Model requires an additional 40 mA to power the internal relays (if energized).

认证和批准

电磁兼容性

Fully CE Certified to EMC Directive 89/336/EEC

	CMX0	CMX1	CMX2	CMX3
温度	Ambient	45^oC	100^oC	160^oC
压力范围	1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr	0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr	0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr	1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr
精度	0.25% of Reading	0.15% of Reading 1 - 1000 Torr Ranges 0.25% of Reading <1 Torr Ranges	0.15% of Reading 1 - 1000 Torr Ranges 0.25% of Reading <1 Torr Ranges	0.50% of Reading 1000 Torr Ranges 0.25% of Reading 10 - 100 Torr Ranges 0.35% of Reading 1 - 2 Torr Ranges
模拟通讯	0 - 10 Vdc RS485	0 - 10 Vdc RS485	0 - 10 Vdc RS485	0 - 10 Vdc RS485
数字通讯	RS485 DeviceNet	RS485 DeviceNet	RS485 DeviceNet	RS485 DeviceNet

文件名	文件类型	文档语言
Data Sheet	pdf	English
Data Sheet - CMX160	pdf	English
Installation & Operation Manual	pdf	English
DeviceNet™ Supplemental Manual - XacTorr® Series	pdf	English

文件名	文件类型
CMX-0-XXX-1-4	STEP
CMX-0-XXX-2-2	DXF
CMX-0-XXX-2-2	IGS
CMX-0-XXX-2-2	STEP
CMX-0-XXX-2-3	IGS
CMX-0-XXX-2-3	DXF
CMX-0-XXX-2-3	STEP
CMX-0-XXX-2-4	DXF
CMX-0-XXX-2-4	IGS
CMX-0-XXX-2-4	STEP
CMX-0-XXX-2-5	DXF
CMX-0-XXX-2-5	IGS
CMX-0-XXX-2-5	STEP
CMX-0-XXX-2-N	IGS
CMX-0-XXX-2-N	STEP
CMX-1-XXX-1-4	IGS
CMX-1-XXX-1-4	STEP
CMX-1-XXX-L-N	DXF
CMX-1-XXX-L-N	STEP
CMX-1-XXX-P-N	STEP
CMX-2-XXX-1-N	IGS
CMX-2-XXX-1-N	STEP
CMX-3-XXX-4-0	DXF
CMX-3-XXX-4-0	IGS
CMX-3-XXX-4-0	STEP
CMX-3-XXX-D-4	DXF
CMX-3-XXX-D-4	IGS
CMX-3-XXX-D-4	STEP

XacTorr® 通信与诊断 GUI

An independent means of communicating with the capacitance manometer without interrupting tool communications.

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