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产品 压力和真空产品 机械压力计、调节器、开关、传感器 PG系列仪表

PG系列机械压力表

适用于高纯度应用的可靠、高效的局部压力监测系统。
型号 PG15（C15 和 S15） / PG20（C20 和 S20）
PG15 和 PG20 机械压力表专为半导体行业严苛的高纯度应用而设计开发。这些压力表采用不锈钢材质，配备多刻度表盘，经久耐用，提供 1.5 英寸或 2 英寸两种表盘尺寸，以及多种过程连接方式、压力范围和接口方向，可提供可靠高效的本地压力监测方案。选择全球领先的压力表供应商，获得精准高效的测量结果。

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PG 系列数据表

特征

  • 不锈钢机芯，提供精准性能。
  • 316L不锈钢湿式部件
  • 仪表在无氧腔室内焊接，以符合严格的清洁度和安全规范。

好处

  • 机械式压力表提供了一种耐用高效的本地压力监测方法。

应用程序

  • 用于半导体加工的气体输送系统和工具，包括：
    • 散装气体
    • 燃气柜
    • 燃气分配
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产品类型
机械压力表
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区别

高纯度

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性能
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压力范围

15 - 4000 PSI

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精度
PG15：3/2/3% 或 B级，PG20：2/1/2% 或 A级
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爆裂压力
400%
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考验压力
110%满量程
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等级
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安全泄压
不受限制的后部防爆塞
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氦气检漏
4 x 10-9 内部标准流量 cc/sec
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洁净
ASME B40.1 四级
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机械
{2CE03364-084A-4FAE-A477-74D832523BA3}
外壳
300系列不锈钢，电解抛光处理
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边框和玻璃材料
透明聚碳酸酯材质，卡扣式或螺丝固定式。
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插座材料
316L不锈钢
PG15（C15 和 S15） PG20（C20 和 S20）
区别 1.5英寸表盘尺寸 2英寸表盘尺寸
压力范围 15 - 4,000 PSI 15 - 4,000 PSI
精度 3/2/3% 或 B 级 2/1/2% 或 A 类
插座定位 后中部或柄部安装 2/1/2% 或 A 类
文件名 文件类型 文档语言
Data Sheet pdf English
Installation and Operation Manual pdf English

请使用以下示例模型代码来转换下方提供的 CAD 配置。如果您需要帮助或找不到所需内容，请联系应用工程部门或您当地的 Brooks Instrument 代表。

示例：C - 15 - CS

插座方向  模型

联系

C

 15

CS -1.125" C-Seal - 仅 1.5" 刻度盘