汽化产品

许多工业和半导体工艺需要转换液体，包括将水和其他液体前体转换为高度受控的纯蒸汽。

汽化是从液相到气相的相变。因此，汽化器是一种将液体材料转换为气态的系统。汽化以许多不同方式来实现，所有的现代汽化器都具有以下几个共同特点：

• 提高温度和/或降低液体的环境压力
• 采用封闭式系统来捕获和控制蒸汽流量
• 利用反馈与控制回路系统来规范汽化速率

关键应用

• 水的汽化/加湿
• 化学汽相沉积
• 沉积薄膜，以增强热、光或硬度特性
• 汽化单体适用于真空高分子膜沉积
• 产生校准蒸汽
• 汽化液态烃