Quantim® QMC 科里奥利质量流量计和控制器

新的第三代Quantim® QMC科里奥利质量流量控制器是非常低流量气体和液体的测量和控制应用的理想选择。

使用布鲁克斯仪器Quantim® 新系列QMC科里奥利流量计和控制器，实现对极低流量气体和液体的最准确、稳定、可重复和可重现的测量和控制。

该第三代Quantim® QMC科里奥利系列旨在提高工艺质量、生产效益和吞吐量，并缩短从实验室到中试工厂再到量产的扩展时间。这些设备使用配备物联网的现代数字架构，结合下一代传感器设计，在调节气体或流体流量时，响应时间更快，几乎没有过冲，提高了零点稳定性，并扩展了I/O选项。

此外，MFC提供多种变量输出，包括质量流量、体积流量、密度和温度。它们还包括一套先进的报警和现场诊断，可主动监测工艺过程，以更早地识别系统问题，并在需要MFC维护或校准时警示操作员。

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Quantim® 系列数据表

特点

真实的质量流量测量
精确的密度测量
新的I/O：0-10 Vdc，0-20 mA，RS485 S-协议
可提供多种材料选择、外壳类型和危险区域分类
新的易于访问的外部服务端口
全新的Quantim® QMC科里奥利系列与之前的布鲁克斯仪器Quantim®型号在形状、匹配和功能上兼容

优势

可以修改化学工艺和/或过程条件，而无需更改或重新校准测量系统
Quantim® QMC 采用全不锈钢结构，可与大多数工艺流体兼容
可通过2.5毫米插孔、外部服务端口以及我们免费下载的Brooks Expert Support Tool（BEST）软件访问流量计，启用板载警报和诊断功能，以增强过程监控和预测性维护，简化安装，支持故障排除和校准验证

应用

催化剂研究
化学试验装置中的质量平衡计算
液体前体输送至蒸发器
精密涂层
高精度填充站
计量泵反馈/控制回路
真空工艺
半导体晶圆加工

产品类型

质量流量控制器和仪表

区别

第三代科里奥利传感器和电子部件提供了更卓越的性能和可靠性

性能

重复性

±0.05% 或 ±[0.5 x (零点稳定值/流量) x 100]%的实时流量，取两者大的

响应时间-常闭

控制器： <2 秒

米： <0.5 秒

流量范围-满量程容量

10 - 27,000 gram/hr

温度精度

± 0.5°C

精度

标准流量精度（如下）或[(零点稳定值/流量）x100]%的实时流量，取两者大的

液体：0.2%的实时流量

气体：0.5%的实时流量

压差范围

液体: 10 - 200 psi

气体: 10 - 150 psi

密度范围

0 - 2.0 g/cc

密度精度

± 0.005 g/cc

漏率

弹性体密封：外漏1 x 10-9 atm. cc/sec, 氦气 (最大)

金属密封：1 x 10-10 atm. cc/sec, 氦气 (最大)

机械

接液材料

316L, 316L VAR, High Alloy Ferritic Stainless & 17-7PH

密封材料

Viton

可选: Buna, Kalrez, EPDM, Metal

外壳

标准： IP40

可选： IP65 或 IP66

进口过滤器

Size 2 传感器: 1 & 10 micron

Size 3 & 4 传感器: 10, 20, 30 & 40 micron

接头

参见数据表

电气连接

IP40：15 针 D 型连接器

IP65/IP66：通过 PG11 电缆接头、1/2" FNPT 导管或 M20 导管连接的 15 导体接线板

电气

模拟通讯

0-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

数字通讯

RS-485 (Smart Protocol)

等级

温度范围

0 - 60^oC

最大压力

标准: 500 psig

可选: 1500 psig

电源-功耗

电压: +14 - 27 Vdc

额定电流: 300 - 400 mA (控制器); 100 - 150 mA (流量计)

最大电流: 715 mA @ 14 Vdc (控制器); 470 mA @ 14 Vdc (流量计)

最大功率: 10.0 W (控制器); 6.6 W (流量计)

诊断

诊断能力

LED状态指示灯集电极开路报警输出通过数字I/O提供高级诊断、报警和警告。

承诺

认证和批准

UL 认证/认可：

非易燃，I 类 2 分区，A、B、C 和 D 组

粉尘防燃，II 类 2 分区 F 组和 G 组

ATEX 4 IECEx:

II 3 G Ex nA II T4 和 II 3D T 135°C

认证和批准

EMC 指令 2014/30/EU per EN 61326-1: 2013

ROHS 指令 2011/65/EU and 2015/863

压力设备指令 2014/34/EU，SEP

文件名	文件类型	文档语言
Data Sheet	pdf	English
Quick Start Guide	pdf	English
Installation Manual	pdf	English
RS485 Supplemental Manual	pdf	English

请使用以下指南（数据表中的型号代码信息）翻译下面提供的 CAD 配置。如果您需要帮助或找不到所需的信息，请联系应用工程部或当地的布鲁克斯仪器代表。

示例: QMC - C - B - A - 1L - 1 - A

仪表系列	类型	阀门类型	附文	工艺连接	电气连接	内嵌式过滤器
QMC	C - Controller	A - No Valve	A - IP40	1A - 标准阀体 - 5/16" - 24 UNF	1 - 15 针 D 型	A - 无
	M - Meter	B - Normally Closed	B - IP40	1B - 1/16" 压缩管材	3 - PG11 电缆接头	B - 在线滤芯过滤器，10 微米
			C - IP66	1C - 1/4" 压缩管材	4 - 1/2" FNPT 导管	C - 在线滤芯过滤器，20 微米
			D - IP65	1D - 1/8" 压缩管材	6 - M20 导管	D - 在线滤芯过滤器，30 微米
			I - IP65	1G - 6mm 压缩管材		E - 在线滤芯过滤器，40 微米
			J - IP65	1J - 1/8" NPT(F)		F - 在线滤芯过滤器，1 微米
				1K - 1/4" NPT(F)		Z - 仅过滤器外壳/无滤芯
				1L - 1/8" VCR
				1M - 1/4" VCR
				1P - 1/4" VCO
				2A - 3.2mm UPG

文件名	文件类型
QMC-C-B-A-2A-1-A	zip
QMC-C-B-A-1M-1-A	zip
QMC-C-B-A-1M-1-Z	zip

0250 读数应用

Controls and powers up to 4 devices

Brooks Expert Support Tool (BEST)

A Windows™ based application providing expanded control of Brooks Instrument MFCs and Pressure Controllers.

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