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压力和真空产品
附件和软件 Cables, Filters, Valves, Secondary Electronics, Software
质量流量控制器和仪表
汽化产品
可变面积流量计(转子流量计)
半导体产品 Ultra-high purity products for the semiconductor industry
半導體製造是一個極其複雜的過程,需要數千個精確控制的步驟。 由於這些步驟中的大多數使用了氣體和真空的關鍵混合物,因此測量和調節它們是一致性、質量和產量的關鍵。 在整個半導體製造過程中使用廣泛的 Brooks Instrument 解決方案,包括質量流量控制器、壓力控制器、PLC 等,以幫助確保取得成功和盈利的結果。
應用示例
控制液体或固体前体的蒸汽输送是化学气相沉积(CVD)、金属有机气相沉积(MOCVD)和原子层沉积(ALD)工艺的一个基本要求。
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