发展历程

自成立以来一直以创新制胜

创立于 1946 年:第二次世界大战结束后第一个完整的和平年;世界上第一台计算机 ENIAC 诞生;“自动化”一词才开始使用。Stephen A. Brooks 成立 Brooks Rotameter Company,在宾夕法尼亚州兰斯代尔开始运营。

这家新公司的优势是以转子流量计结构的创新侧板、定位销钉原理为基础。该优质仪器从始至终都能够提供可靠的结果,我们不懈追求的这项技术帮助行业转变了测量和控制基本过程的方式,因此也成为我们宝贵的传统。

成长的催化剂

在不断发展并取得成功的七十年中,布鲁克斯仪器开发了多项具有颠覆性的流体测量和控制技术,例如耐用的流线型 Sho-Rate® 变面积流量计。该流量计于 1958 年首次推出,1965 年 3 月 NASA 将其用于双子座太空计划中的太空服泄漏测试。

从那时起,加入布鲁克斯仪器大家庭的公司在我们的创新传统中发挥着同等重要的作用。Tylan General 和 UNIT Instruments 等突破性的质量流量技术创新公司与布鲁克斯仪器同心协力,决心成为改变质量流量技术发展和应用的促进者。

释放质量流量潜力

我们的传统包括推出并不断推进质量流量测量和控制,这项技术在创造推动数字领域发展的全球半导体工业方面发挥了重要作用。

20 世纪 70 年代,随着 Tylan FC-260 的推出,质量流量控制器 (MFC) 首次在阿波罗飞船上用于精确测量氧气流量,这是半导体制造商首次将过程气体自动控制应用到自己的工具之中,实现了工业规模的吞吐率和产量。

1980 年,UNIT Instruments 推出了 UFC1000,它提供了一种响应更快、更安全的常闭 MFC 阀,更适用于刻蚀等要求苛刻的工艺。90 年代初至中期,布鲁克斯仪器发布的首款金属密封 MFC (5850EM) 具有更高的可靠性和耐气体腐蚀性,同时还发布了具有更高精度和易于集成到处理工具的首款全数字 MFC。

质量流量装置增加的每项创新或技术特征都围绕一个基本目标:帮助制造商将工艺结果的精度和准确度提高到一个新的水平。

增强应用性能

我们的技术一直不只是促进我们所服务行业取得突破的催化剂。我们还致力于不断提高其在实际应用中的性能,从而提高流程灵活性,提供更广泛的仪器选择,以及满足独特的操作需求。

例如,1998 年,布鲁克斯仪器发布了 Mf 系列,这是首个不受气候影响和适合危险区域的 MFC,使技术能够胜任户外的冲洗/软管冲洗应用和危险区域使用。布鲁克斯仪器还推出了首款基于 Coriolis 的微型 MFC,显著提高了低流量液体测量和控制的精度。

21 世纪初,针对特定领域出现了多项创新:

  • 紧凑型表面贴装 MFC 的推出,使原始设备制造商能够减少气体面板尺寸多达 60%,从而节省制程设备周围的宝贵空间。
  • 随着首款数字电容式真空计的推出时,真空测量进入了新的时代。
  • 2001 年,MultiFlo® 质量流量技术为热质量流量计和流量控制器用户提供了对不同气体和流量组合输送进行编程的能力,所有这一切都通过一台装置实现
  • 2004 年,Celerity Instrumentation(前身为 UNIT Instruments)发布了首款抗压力瞬变(PTI) MFC——IFC125,具有市场领先的响应时间和进口压力变化补偿。

秉持创新传统

2009 年,布鲁克斯仪器收购了 Celerity Instrumentation 公司,其中包括 Tylan、Mykrolis 和 UNIT Instruments 等行业领导者的技术传承。我们基于以这些技术传承为基础不断在如下多个方面取得进展:

  • GF100 系列:用于半导体行业的多功能通用 MFC 平台,融合了 MultiFlo®、PTI 等先进技术,设定了精度、性能和长期价值的行业标杆。
  • GF135 MFC:第一款集成了实时流量误差检测的 MFC,使半导体制造商能够验证工艺气体的准确性,检查阀门泄漏和实时监测传感器稳定性,无需从气体管线上拆除流量控制器。
  • MT3809 VA 流量计:现在配有改进的变送器和 HART 7 功能,以及可就地操作的数字 LCD 显示屏,修改参数无需拆卸盖子,也就是说即使在危险区域也可以更改参数。
今天,我们的创新传统持续推动和激励我们增强现有平台,开发和部署新技术,所有这些只为了一个目标:不断帮助客户改变系统性能和运营绩效。