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MultiFlo™ 配置器

OVERVIEW

用户可通过基于 Windows™操作系统的 MultiFlo™ 配置器软件轻松便捷地重新设定气路上设备的气体和量程并且无需将其卸下,适用设备包括 GF100 系列、GF40 系列、GF80 系列和 Celerity/UNIT 品牌的质量流量控制器。

MultiFlo™ 技术是布鲁克斯仪器公司的专利技术,可为工艺工程师们提供以下独有技术资源:综合性气体数据库 - 基于数千种天然气体的检测结果构建,旨在建立修正函数以表明各种气体之间的热性能和物理特性差异。

我们公司推出的易用型 MultiFlo™ 配置器应用拥有市面上最丰富的气体数据库,可提高过程气体准确性从而使用户能够将具有 MultiFlo 功能的 MFC 最大限度应用于各类应用。

如果您刚刚接触 MultiFlo™ 和 FloCom 数据库,请下载各软件包的最新版本。如果您的 MFC 上已安装了早期版本的 MultiFlo 软件或 FloCom 数据库,则必须先将其卸载,然后安装最新版的 MultiFlo™ 配置器和/或 FloCom 数据库。

请注意,各新版 MultiFlo™ 配置器和 FloCom 数据库均有所更改(GF100 系列和 Celerity/Unit 品牌设备也可能采用完全相同的原蕴涵式)。如果公司需严格按照原有程序执行操作,则建议您在确认上述新版本变更之前继续使用当前的已认证版本。如果尚未更新至最新版 MultiFlo™.配置器,切勿更新数据库软件。

如果您有任何问题,请联系技术人员或当地的布鲁克斯仪器公司销售代表寻求帮助。

DOCUMENTATION

FilenameFile TypeDocuments By Language
Quick Start Guide pdf English
FloCom Database db170725 - GF4X Gas Listing xls English
FloCom Database db170725 - GF1XX Gas Listing xls English

VERSIONS

MultiFlo™ 配置器 V5.34

版本 5.34 拥有以下功能:

  • Ability to set Mac ID’s greater than 128 and connect via MultiFlo™ to devices that have Mac ID’s up to 239
  • Ability to access DNET settings for PC115/PC125 and label printing fixes for 1.5L vs 2L devices
  • Additional producer and consumer options available, and added data units and data type for DNET configuration options
  • Ability to configure devices that are bins SH51-SH54

版本 5.34 有所更改(GF100 系列和 Celerity/Unit 品牌设备也可能采用完全相同的原蕴涵式)。如果公司需严格按照原有程序执行操作,则建议您在确认上述新版本变更之前继续使用 V5.32 版本

MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db170725

现在包括:

  • Added the following gases/mixtures to the database: SEMI 气体代码 266, 393, 556, 561, 562, 564, 566, 567, 568, 569, 629, 661, 669, 720, 746, 754, 755, 756, 757, 758, 759, 760, 761, 1048
  • The following gases/mixtures were added to the GF40 & GF100 Series SA/SH Bin tables (40-54): SEMI 气体代码 266, 393, 556, 561, 562, 564, 566, 567, 568, 569, 629, 630, 641, 720, 746, 754, 755, 756, 757, 758, 759, 760, 761, 1048
  • Added GF100 Series SA/SH high-flow bins (49-54) to the following gases/mixtures: SEMI 气体代码 607

MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db170131

现在包括:

  • Added the following gases/mixtures to the database: SEMI 气体代码 619, 768, 789, 1026, 1027, 1041, 1042, 1043, 1044
  • The following gases/mixtures were added to the SA/SH Bin tables (40-54): SEMI 气体代码 136, 176, 503, 504, 505, 507, 508, 510, 511, 512, 515, 518, 519, 520, 521, 522, 530, 531, 533, 534, 539, 540, 541, 543, 545, 548, 619, 725, 768, 789, 1026, 1027, 1041, 1042, 1043, 1044
  • Added SA/SH high-flow bins (50-54) to the following gases/mixtures: SEMI 气体代码 4, 11, 28, 39, 596 (SH49-54), 694, 1036 (SH bins only)
  • Added SA/SH high-flow bins (51-54) to the following gases/mixtures: SEMI 气体代码 513, 822, 1028, 1029, 1030, 1031, 1032, 1033, 1034, 1035, 1037, 1038, 1039

MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db160713

现在包括:

  • 13 new gases added to SA/SH bin tables
    • SEMI Gas Codes: 822, 1028, 1029, 1030, 1031, 1032, 1033, 1034, 1035, 1036, 1037, 1038, 1039
  • Added to the Neon (SEMI Gas Code: 2) bin table
    • SA bins: 48, 50, 51, 52, 53, 54
    • SH bins: 48, 49, 50, 51, 52, 53, 54

MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db160127

现在包括:

  • Three new gases added to SA/SH bin tables
  • SEMI 气体代码: 730, 1024, 1025

MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db150916

现在包括:

  • 气体仓表中新增两种气体:SH/SA 51-54(详情请参见支持文件
  • SEMI 气体代码: 28, 53

MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db141110

现在包括:

  • SA/SH 气体仓表中新增四种新气体
  • SEMI 气体代码: 26, 387, 583, 709
  • 新增加支持 SEMI 气体代码 722 (5%B2H6/H2)。建议所有 B2H6 气体混合物采用的客户特殊要求 (CSR).

MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db140824

现在包括:

  • SA/SH 气体仓表中新增 11 种新气体
  • SEMI 气体代码:123, 514, 675, 1006, 1007, 1008, 1009, 1010, 1011, 1012, 1013

MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db140602

现在包括:

  • SA/SH 气体仓表中新增 7 种新气体:SEMI 气体代码:73、360、385、907、1003、1004、1005
  • 新增加支持 GF135,SEMI 气体代码 70
  • 新增加支持 SDS 气体,SEMI 气体代码 324

MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db140128

现在包括:

  • 九种新气体:SEMI 气体代码:30, 79, 102, 113, 249, 627, 1000, 1001, 1002
  • 针对空气和 NO 发布两种高流量气体仓(SH51-54 和 SA51-54)
  • 新增支持 GF135 N2O, CHF4, SiH2Cl2.

MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db131013

MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db13064

现在包括:

  • 98 种新气体

MultiFlo™ 配置器 V5.32

版本 5.32 拥有以下功能:

  • 气体详情页面新增了“气体模型”和“FloCom+ 版本”列
  • GF135 不可配置型设备现已能够设置页面方向 Post 页面创建
  • 更新至固件 1.28 后可设置 dncIdleEventEnable=Enable(选中后)

版本 5.32 有所更改(GF100 系列和 Celerity/Unit 品牌设备也可能采用完全相同的原蕴涵式)。如果公司需严格按照原有程序执行操作,则建议您在确认上述新版本变更之前继续使用 V5.26 版本

MultiFlo™ 配置器 配置器 V5.26

版本 5.26 拥有以下功能:

  • 可更改在不可配置 GF 设备上的安装方向.
  • 现在可通过“设备设置”画面配置 DNet 轮询 I/O 状态转换.
  • 现可通过任何采用 Windows 配置的打印机打印标签。必须将打印机设置为“Generic/Text Based”并且必须支持 ZPL.

版本 5.26 有所更改(GF100 系列和 Celerity/Unit 品牌设备也可能采用完全相同的原蕴涵式)。如果公司需严格按照原有程序执行操作,则建议您在确认上述新版本变更之前继续使用 V5.22 版本.