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可变面积流量计(转子流量计)
半导体产品 Ultra-high purity products for the semiconductor industry
布鲁克斯仪器 9861 系列高温热质量流量控制器和仪表专为在高温相关苛刻条件下输送可冷凝前体和掺杂剂设计,该产品采用高纯度、无泄漏一体化金属流路,可确保兼容所有过程气体和蒸汽。获得专利的 IsoSensor™ 是一种稳定性极高的流量传感器,可兼容加热气体管线和烘干系统中苛刻的环境温度。IsoSensor™ 传感器的超低漂移性能可使高温应用无需频繁重新调零和重新校准。
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Highest Flow Accuracy
Highest Operating Temperature
Digital Communication
1% of SP@ 35 - 100% FS
0.35% of FS @ <35% FS
±0.5% FS (included in accuracy)
<1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
316L SS/ KM-45/ 304 SS/ MO+
Normally Closed
Meter (no valve)
1.33 - 350 kPa (10 torr - 50 psia)
*Contact Brooks Technical Support for more information.
620 kPa (90 psi)
0-5 Vdc
RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)
Analog via 9- or 15-Pin "D" connector & 20 Pin Card Edge connector
Controller (Analog & RS-485L): 5 Watts max @ ±15 Vdc (160 mA max)
Meter (Analog): 5 Watts max @ ±15 Vdc (50 mA max)
±1% SP @ 35 - 100% FS
±0.35% FS @ <35% FS
≤ 1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
RS485L Protocol