9861 系列高温质量流量控制器和仪表

提升高温流量控制的准确性和效率
型号 9861

布鲁克斯仪器 9861 系列高温热质量流量控制器和仪表专为在高温相关苛刻条件下输送可冷凝前体和掺杂剂设计,该产品采用高纯度、无泄漏一体化金属流路,可确保兼容所有过程气体和蒸汽。获得专利的 IsoSensor™ 是一种稳定性极高的流量传感器,可兼容加热气体管线和烘干系统中苛刻的环境温度。IsoSensor™ 传感器的超低漂移性能可使高温应用无需频繁重新调零和重新校准。

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9861 系列数据表

特点

  • 超稳定的 IsoSensor™ 流量测量专利传感器
  • 高纯度流路
  • 远程控制电子元件(标配两个模拟电子连接器)
  • 数字测量和控制架构

优势

  • 传感器稳定性高,可保障超长运行时间、减少维护工作并降低总体拥有成本
  • 全金属接液流路可确保气体/蒸汽完整性和纯度
  • 包括 20 引脚卡缘连接器和 9/15 引脚“D”连接器,可实现标准化并减少库存
  • 强化准确性和过程控制

应用

  • 光纤制造 - MCVD
  • 硅材料半导体器件加工工艺
{A20011D5-683C-490E-B4CD-EE579093A5C6}
产品类型
Mass Flow Controller
{CBF4FD4D-CE24-4C7D-9D56-4D41A10F5B8A}
区别

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

{CAD8854A-287E-4ED2-AC93-15A6E05D0E3A}
性能
{E8262BB0-3AA1-4551-AC72-BE307940CA15}
流量范围-满量程容量
10 slm (N2 equivalent)
{824BAA21-5BC9-4F88-A8E7-D22AF3AF0D20}
精度

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

{BF9194EC-A2F4-4E97-9159-618027CF7039}
重复性
<±0.15% FS
{58B624C6-C290-47B4-AA1F-251F8C96F355}
线性

±0.5% FS (included in accuracy)

{0EFDF622-0BA3-41EA-AA47-62F397B5A7DE}
响应时间-常闭

<1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

{26BD560D-3312-4EAC-9C30-2DE7D92CBB0A}
零点稳定性
<±0.5% FS per °C
{CB1577DB-8FD1-46BD-91CB-5CC71DF2459C}
机械
{04E0F69D-D90A-45BF-A829-268407403732}
密封材料
Metal
{D04C0426-191D-409C-977D-14EADE8684EB}
纯净等级
4 μ inch Ra
{F6731195-1EAE-4E90-8CB5-F389B6EC2B8E}
接液材料

316L SS/ KM-45/ 304 SS/ MO+

{9022F4F6-F2C1-4294-9370-B2062A70D822}
阀门

Normally Closed

Meter (no valve)

{A13A01CD-108C-46FD-806C-D1B45508FE91}
等级
{569EE9BF-0811-4AED-AC79-CF44B7A5A1BF}
最大温度
150oC
{BBA5E8AE-CFCE-40C6-AA39-F480974398A1}
压差范围

1.33 - 350 kPa (10 torr - 50 psia)

*Contact Brooks Technical Support for more information.

{CF58B0E8-F777-456F-B8A4-3B835E603257}
最大压力

620 kPa (90 psi)

{4866EC39-7F22-4B9F-972B-4C5FA55D6920}
漏率
1x10-10 atm cc/sec He
{6A2E03D6-A721-4A16-B083-45FB4ED6CE07}
电气


{07C2BA46-FFB3-4949-A447-8B6464F581D8}
诊断能力
{1ACCA391-8001-44CB-AC46-95AC43849DCD}
模拟通讯

0-5 Vdc

{7E43B8A4-07B4-44F2-B751-18DBC16E323A}
数字通讯

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

{498BD734-305A-4FD6-B927-5037B9B93915}
电气连接

Analog via 9- or 15-Pin "D" connector & 20 Pin Card Edge connector

{0E109AAD-3260-4A46-B322-6D8937422B1D}
电源-功耗

Controller (Analog & RS-485L): 5 Watts max @ ±15 Vdc (160 mA max)

Meter (Analog): 5 Watts max @ ±15 Vdc (50 mA max)

9861
流量范围-满量程容量 3 sccm - 10 slm (N2 equivalent)
表面抛光 4µ inch Ra
精度

±1% SP @ 35 - 100% FS

±0.35% FS @ <35% FS

重复性 < ±0.15% FS
响应时间-常闭

1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

 

模拟通讯

0-5 Vdc

数字通讯

RS485L Protocol

 

Filename File Type Documents By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Filename File Type
9861-4R-U STEP
9861-4R-U IGS
9861-4R-U DXF