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5850EMH系列高温质量流量控制计

页面副小标题 - 已被验证的长期稳定性,高温应用中超高纯表现
型号 5850EMH / 5851EMH

来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性,为高温气体测量和控制提供了最先进的性能,具有多种选择,允许最大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器,其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。

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5850EMH 系列数据表

特点

  • 高泄漏完整性(小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He)
  • 宽流速范围(0.003 - 100 slpm)
  • 高纯度 VAR 316L 不锈钢
  • 无磨粒
  • 氦泄漏检查端口
  • 常闭阀(可选常开阀)
  • 电致动阀复位
  • 低命令流量断流
  • TTL 兼容"关阀"功能

优势

  • 稳定、可靠的产品平台
  • 高流量,高达 100 lpm(N2 当量)
  • 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
  • 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修

应用

  • 光纤制造——MCVD,OVD,AVD
  • 水汽流量控制
产品类型
Mass Flow Controller
区别

Highest Flow Range

Proven, reliable technology

性能
流量范围-满量程容量
100 slm (N2 equivalent)
精度

1% of FS

重复性
<±0.25% SP
线性

Included in accuracy.

响应时间-常闭

<3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

零点稳定性
机械
密封材料
Metal
纯净等级
接液材料

316L, 316L VAR, & high alloy ferric SS

阀门

Normally Open

Normally Closed

等级
最大温度
105oC
压差范围

50 - 350 kPa (7 - 50 psid)

最大压力

1 MPa (145 psi)

漏率
1x10-10 atm cc/sec He (1x10-11 Pa m3 /sec)
电气


诊断能力
模拟通讯

0-5 Vdc

数字通讯
电气连接

15-Pin "D" connector

电源-功耗

±15 Vdc @ 350 mA (max)

5850EMH 5851EMH
流量范围-满量程容量 3 sccm - 30 slm (N2 equivalent) 10 - 100 slm (N2 equivalent)
精度

±1% FS

±1% FS

重复性 < ±0.25% of SP < ±0.25% SP
响应时间-常闭

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

模拟通讯

0-5 Vdc

0-5 Vdc

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Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Quick Start Guide pdf English