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GF135 系列金属密封热质量流量控制器

性能与智能
型号 GF135

使用 GF135 高级诊断式压力变化补偿型 (PTI) 质量流量控制器确保关键流量过程的准确控制并使通量最大化。全球首台“智能”质量流量控制器,真正意义上的变革者:该产品执行累积衰减比流量测定,无需停止过程气体输送。半导体制造商可利用该产品实时验证过程气体流量准确性、检查泄漏情况并监视传感器稳定性同时无需将流量控制器从气路上拆除。

GF135 PTI MFC 将全金属接液流路、超快速稳定功能和业内领先的过程气体精度相结合,能够改变各种淀积工艺的生产效率和吞吐率。

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GF135 系列数据表 Download Published MFC White Paper

特点

  • 长期零点稳定性,每年变动小于满量程的 ± 0.5%
  • 稳定时间极短:<300 ms - <400 ms
  • 满量程流速:3 sccm 至 5 slm
  • 超高纯度流路 - 4µ 英寸 Ra 表面处理
  • 借助衰减率 (ROD) 技术实现的嵌入式实时流量故障检测与预测功能
  • 加强过程气体测量精度 - 最大可提升三倍 - 经气体实测优化的高级气体建模功能
  • 第三代压力变化补偿 (PTI) 技术
  • 高清晰度的可旋转电子 LCD 显示屏能够本地显示流量、温度、压力和网络地址
  • DeviceNet™、RS-485 和模拟接口

优势

  • 实时流量故障检测功能可更快速地根据流量偏差进行调节并能够提高晶圆成品率
  • 传感器稳定性跟踪功能可通过预防性维护延长系统运行时间
  • 阀泄漏跟踪功能有助于最大限度降低"第一片晶圆效应"
  • 提高过程气体测量精度,使其满足挑战性的 10 nm 级过程气体化学控制要求
  • 产品拥有市场领先的流量稳定速度,可减少非生产性流量稳定步骤,支持先进的 3D 设备加工
  • 提高压力变化补偿能力并实现高级过程气体控制,从而强化蚀刻和沉积控制
  • 耐腐蚀 Hastelloy® 传感器拥有无可比拟的长期稳定性,可确保产率和通量最大化
  • 支持表面安装和 VCR MFC 的插入式更换,便于对现有系统中的关键气路进行升级

应用

  • 半导体高级蚀刻工具
产品类型
Mass Flow Controller
区别

Real-Time Flow Error Detection

Advanced Diagnostics

性能
流量范围-满量程容量

3 sccm - 5 slm (N2 Eq.)

瞬时压力波动不敏感

< 1% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

精度

±1% S.P. 10-100% F.S.

±1% S.P. plus ±0.04% F.S. 2-10% F.S.

重复性
< ±0.15% S.P.
线性

Included in accuracy

响应时间-常闭

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

多气体多量程

控制范围

1 - 100%

阀门关闭

< 0.5% of F.S. N2

零点稳定性
< ±0.5% F.S. per year
温度系数

Span: 0.05% S.P./°C

Zero: 0.005% F.S./°C

机械
密封材料

Metal

纯净等级
4µ inch Ra
接液材料

SEMI F20 HP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

阀门

Normally Closed

等级
最大温度

50oC

压差范围

3-860 sccm = 7-45 psid

861 - 5000 sccm = 10-45 psid

*Typical pressure drops. Contacts Brooks Technical Support for more information.

最大压力

100 psia max

漏率
1x10-10 atm cc/sec He
诊断和显示
诊断能力
Available

状态灯

MFC Health

Network Status

报警

Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption, Sensor Drift, Flow Error, Valve Leak

诊断/服务端口

RS485 via 2.5mm jack

显示

Top Mount Electronically Rotatable Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

电气
模拟通讯

0-5 Vdc

数字通讯

DeviceNet™

RS485

电气连接

Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

电源-功耗

Analog/RS485: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

(Under typical operating conditions)

承诺
电磁兼容性

EC Directive 2004/108/EC

CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

符合环保要求

RoHS Directive (2011/65/2006)

REACH Directive EC 1907/2006

GF135
流量范围-满量程容量 3 sccm - 5 slm (N2 Eq.)
响应时间-常闭

<300 ms (<860 sccm N2 equivalent)

<400 ms (861-5000 sccm N2 equivalent)

(to within ±2% FS)

气体

Ar, BCl3, C4F6-q (@ 800 Torr), C4F8 (@ 1200 Torr), C5F8, CF4, CH2F2, CH3F, CHF3, Cl2, CO2,

H2, HBr, He, N2, N2O, NF3, NH3, O2, SF6, SiCl4 (@ 100 Torr), SiH2Cl2, SiH4, SiHCl3

衰减速率 ROD by default is disabled/off. It should not be enabled until after the MFC is installed and properly commissioned.
表面抛光 4µ inch Ra
FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English Japanese
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series pdf English
FilenameFile Type
GF135-CX-G2 STEP
GF135-CX-G2 IGS
GF135-CX-G2 DXF
Commissioning software that provides users with a simple means to create a performance baseline during initial installation of the MFC.