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4800 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器

响应时间极快,适用于对时间要求严格的工艺
型号 4850 / 4860

热式质量流量计和控制器的响应速度越快,工艺就越高效,生产效率越高。响应速度是 4800 系列的主要优势:该产品将基于 MEMS 的高级热传感器与独有的 PID 算法相结合以优化控制阀的响应速度,因此使4800 系列控制器能够根据设定值变化快速匹配实际的流量。本地操作界面 (LOI) 的选项能便于用户对设备进行查看、控制和配置,无需远程二次仪表。

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4800 系列数据表

特点

  • 流量响应时间(完成时间)<0.75 s
  • 创新型 MEMS 传感器和独有的 PID 算法
  • 尺寸小巧,不足常规热式MFC的 一半:1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)
  • 本地操作界面 (LOI) 选项可简化设置和操作;免费提供 LabVIEW VI 下载以进行设备监测和调零
  • 通过 RS-232 实现数字化功能

优势

  • 非常适用于各种常见的无腐蚀性气体
  • 响应速度快,可在切换工艺配方时确保各步骤的迅速完成
  • 非常适用于各 OEM:尺寸小巧,可轻松集成至紧凑的设备空间内并有助于加快安装
  • 可选本地操作界面 (LOI) 是本地指示、设定值控制和设备配置的一站式解决方案;无需借助远程二次仪表
  • 拥有多种通信方式,可轻松满足用户需求

应用

  • 热处理、切割/焊接等其他热式工艺
  • 太阳能/薄膜物理气相沉积 (PVD) 系统
  • 用于测量和控制反应物、校准和样品气体流量的分析设备
产品类型
Mass Flow Controller
区别

Ultra-fast Response Times

Optional Local Operator Interface

Compact Size

Suitable for Non-corrosive Gases

性能
流量范围-满量程容量
50 sccm - 40 slpm
气体
精度

3.0% of FS

1.0% of FS (optional)

重复性

0.15% FS

响应时间-常闭

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

多气体多量程
控制范围

2-100%

                                        

 

温度系数
等级
温度范围

5-50oC (41-122oF)

最大压力

150 psig/10 barg

压差范围

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-55000 sccm = 25-45 psid

*Contact Brooks Technical Support for more information.

漏率
1x10-10 atm cc/sec He
机械
密封材料
Elastomer Seal
接液材料

316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055

诊断和显示
诊断能力

Available

电气
模拟通讯

0-5 Vdc
4-20 mA

数字通讯
RS232
输入和输出

0-5 Vdc, 4-20 mA, RS-232 (Standard with all analog I/O options)

电气连接

Compact

电源-功耗

$$

附加设备
现场操作界面
P/N: 273L156ZZZ
显示区域
28mm wide x 11mm high
最大温度
50°C
湿度
5 - 95% RH (ambient)
电气连接

Two 15-pin D-sub connectors

  • One for connection to the 4800 Series
  • One for the remote connection
电源适配器
P/N: 641Z059AAA
电源要求
The LOI optionally includes a wall mount power adaptor with a 3.5-mm DC-plug. The adaptor works with input voltages of AC 90-240 V/47-63Hz. The adaptor supports European, U.K., Australia and U.S. wall plugs. Power can also be supplied by a remote connection via the D-connector.
承诺
电磁兼容性
EMC Directive 2004/108/EC: per EN 61326:2006
认证和批准

ATEX Zone 2

CSA Div 2/Zone 2 (Recognized)

符合环保要求

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

大小

Compact

4850 4860
产品类型

Mass Flow Controller

 

Mass Flow Meter
流量范围-满量程容量 50 sccm - 40 slpm 50 sccm - 40 slpm
精度

3.0% F.S.

1.0% F.S. (optional)

3.0% F.S.

1.0% F.S. (optional)

重复性

0.15% F.S.

0.15% F.S.

响应时间-常闭

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec

最大压力 150 psig/10 barg 150 psig/10 barg
诊断能力

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights: MFC Health, Network Status

Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack

模拟通讯 0-5 Vdc
4-20 mA
0-5 Vdc
4-20 mA
数字通讯 RS232 RS232
FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Installation & Operation Manual - Local Operator Interface pdf English
Profibus® Supplemental Manual - 4800 pdf English
RS232 Supplemental Manual - 4800 pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: 4850 - B1 - 2 - STEP

  Meter Series 
   Mechanical Connections 
   Accessories 
  4850    1A - 9/16” -18unf straight thread
   0 - None
     B1 - 1/4” tube compression w/filter
   1 - LOI w/Power Adapter
     C1 - 1/8” tube compression w/filter
   2 - LOI w/o Power Adapter
     D1 - 3/8” tube compression w/filter
 

 

FilenameFile Type
4850-B1-2 STEP
Controls and powers up to 4 devices
监测流量并执行基础功能。