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蒸汽输送模块

蒸气输送模块是用于输送超高纯度水蒸汽的自足式模块。相比闪蒸系统,他们能提高蒸汽精度,使流速更快,控制范围更广,功耗更小。

关键应用

  • 硅半导体后金属刻蚀工艺
  • 硅半导体金属带材工艺
  • 在低于大气压的环境中超高纯增湿

了解我们的蒸汽输送模块如何挖掘您的工艺潜力。

VDM300
VDM300
产品类型

DI Water Vapor Delivery Module

 

区别

Ultra High Purity DIW Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT interface

蒸发方式 Vapor Draw
流体类型 UHP DI Water
流量范围-满量程容量

3000 sccm

最大压力

Vapor Outlet: 200 torr