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汽化产品

先进的汽化技术使汽化产品纯净而且更高效

许多工业和半导体工艺需要转换液体,包括将水和其他液体前体转换为高度受控的纯蒸汽。

汽化是从液相到气相的相变。因此,汽化器是一种将液体材料转换为气态的系统。汽化以许多不同方式来实现,所有的现代汽化器都具有以下几个共同特点:

  • 提高温度和/或降低液体的环境压力
  • 采用封闭式系统来捕获和控制蒸汽流量
  • 利用反馈与控制回路系统来规范汽化速率

关键应用

  • 水的汽化/加湿
  • 化学汽相沉积
  • 沉积薄膜,以增强热、光或硬度特性
  • 汽化单体适用于真空高分子膜沉积
  • 产生校准蒸汽
  • 汽化液态烃
  • 等离子体刻蚀和光刻胶剥离设备的蒸汽传输
  • 超高纯去离子水汽化应用
  • 仅限于副大气压工艺腔室
产品类型
DI Water Vapor Delivery Module
区别

High Purity DIW Vapor Delivery

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT Digital Communications

Enhance User Interface

蒸发方式
Vapor Draw
流体类型
DI Water
蒸汽容量

3000 sccm (DI Water) 

最大压力
200 Torr
Brooks vapor products illustration

Enthalpy of System,