汽化产品

先进的汽化技术使汽化产品纯净而且更高效

许多工业和半导体工艺需要转换液体,包括将水和其他液体前体转换为高度受控的纯蒸汽。

汽化是从液相到气相的相变。因此,汽化器是一种将液体材料转换为气态的系统。汽化以许多不同方式来实现,所有的现代汽化器都具有以下几个共同特点:

  • 提高温度和/或降低液体的环境压力
  • 采用封闭式系统来捕获和控制蒸汽流量
  • 利用反馈与控制回路系统来规范汽化速率

关键应用

  • 水的汽化/加湿
  • 化学汽相沉积
  • 沉积薄膜,以增强热、光或硬度特性
  • 汽化单体适用于真空高分子膜沉积
  • 产生校准蒸汽
  • 汽化液态烃
Brooks vapor products illustration
Enthalpy of System -
  • 等离子体刻蚀和光刻胶剥离设备的蒸汽传输
  • 超高纯去离子水汽化应用
  • 仅限于副大气压工艺腔室
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产品类型
DI Water Vapor Delivery Module
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区别

High Purity DIW Vapor Delivery

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT Digital Communications

Enhance User Interface

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蒸发方式
Vapor Draw
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流体类型
DI Water
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蒸汽容量

3000 sccm (DI Water) 

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最大压力
200 Torr
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