SLA7840 金属密封压力控制器和流量计

高纯度流路,极高的可重现性、稳定性和响应速度
型号 SLA7840
布鲁克斯 SLA7840 型设备为高纯度金属密封仪器,可同时控制压力并测量流速。远程压力传感器信号辅以可调节积分 PID 控制元件和共面控制阀可将压力维持在目标值。相较于其他金属密封控制器,共面阀可降低压力变化产生的影响并降低泄漏速度,从而使设备在长时间使用的条件下更加稳定。

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SLA7840 数据表

特点

  • 一体化压力传感器
  • 响应时间:<1 秒
  • 流量测量范围宽,满量程流速测量范围可达 0 - 3 sccm 至 0 – 30,000 sccm
  • 最大压力为 500 psig
  • 全金属密封流路:最高达 32µ 英寸的 Ra 表面处理
  • 共面阀可降低泄漏速度
  • 多气体/多量程功能可存储并与设定多达 10 种气体校准信息并且仅需一台设备即可实现
  • DeviceNet® 和模拟通信选件

优势

  • 共面阀控制范围的提升可降低过程压力变化所产生的影,响从而使设备在长时间使用时更加稳定。
  • 全金属接液流路可使工艺条件不受颗粒物、水汽和污染物影响
  • 设备还可配置为质量流量控制器以用于校准或测试
  • 多气体/多量程功能可减少库存
  • 共面阀可扩大控制范围从而减少过程控制所需部件数量
  • 封装结构紧凑,节省空间,容易改装
  • 数字通信便于调试,能减少系统布线
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产品类型

Pressure Controller & Flow Meter

{FFC2FF86-9427-48CC-B0AA-845A1E620577}
区别

Control Mode: Downstream or Upstream

Remote Transducer

Wide Flow & Pressure Range

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性能
{A8A93341-B802-4FD3-89BF-4E81CE170784}
流量范围-满量程容量

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

{829C7976-BE50-4D03-A41D-937485EB3168}
精度

±1% of rate 20-100% F.S.

±0.2% F.S. < 20% F.S.

{01247712-5A0A-4268-A2E8-768A1A8C8464}
重复性

±0.2% of rate

{5160C967-F1BB-4895-B33C-7DD5622ACAA7}
温度系数

Zero: Less than 0.035% FS per °C

Span: Less than 0.1% of Rate per °C

{815BCCB6-644A-4A79-9A02-2BD7DE5F8082}
压力范围
Dependent upon remote pressure transducer, maximum 500 psig.
{377403FA-2DC8-4786-B83D-0201EAC5624F}
压力控制范围

20:1

{22B38BD9-0F72-45C9-AED1-959AD203A470}
响应时间-常闭

< 1 sec typical for a 20-100% setpoint step with max 2% overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

{9B192206-E575-49BA-A597-67EAAE26D5D0}
等级


{46151B14-16A8-4C1B-B313-A321C14DFFEE}
最大压力
500 psig
{C43509B4-8508-4E0C-9AF9-9E9CEA9CFA36}
环境温度范围

Operating: 0°C to 60°C

Non-Operating: -25°C to 100°C

Fluid: 0°C to 65°C

{FFF868D2-06D4-4E5F-8DE6-F28C7F86B81E}
漏率

Inboard to Outboard

1 x 10-10 atm scc/sec Helium max

{12E9D148-8616-41F2-913E-62A36D094732}
机械
{F338B6E3-71EA-441D-962D-F1878A11748A}
密封材料
Metal
{5952A75C-EBC4-4C93-81BA-6B450F0E58BF}
纯净等级

32 µ inch Ra

{27ECE8E7-DE03-4C64-9BD5-06F6CE4544B4}
接液材料

316L Vacuum Arc Remelt (VAR)

316L

High-Alloy Ferritic Stainless Steel

External/Internal Seals: Nickel

Valve Seat: 316L Stainless Steel - standard

{EA904E18-B326-473C-8B1D-5DA15BB39636}
阀门

Normally Closed

{08CE084D-960F-47F1-B8C8-3FE517D4AA95}
电气
{410BEBB1-2D76-4090-A114-945FCEC0CD0D}
诊断能力
Available

{1A02B62B-79F9-4E53-AD00-C1A4D7DB4A2B}
模拟通讯

0 - 5 Vdc

{088B442C-F11A-4F90-BD6F-FBFA9B7741E1}
数字通讯
DeviceNet™
{2E622D01-A432-455D-BA8F-3DDFCA1774AC}
电气连接

Analog via 15-Pin "D" Connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

{ABEF4842-7738-4789-8129-FB34656B6164}
电源-功耗

Analog: +15 Vdc, ±5% (traditional -15 Vdc pin is ignored)

DeviceNet™: 11 - 25 Vdc

SLA7840
流量范围-满量程容量

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq. 

压力控制范围

20:1

最大压力

500 psig

密封材料

Metal

电气连接

15-Pin "D" Connector

5-Pin "M12" Connector

文件名 文件类型 文档语言
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Supplemental Manual - DeviceNet™ pdf English