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产品 压力和真空产品 金属密封压力控制器 PC100 系列

PC100 系列金属密封压力控制器

压力准确，控制精确
型号 PC115 / PC125

PC100 系列压力控制器和压力表结合大量高性能技术特点，为高要求的半导体、气相沉积和其他超精密制造工艺提供了新的压力控制准确度和可靠性水平。

建立于可靠的 Brooks GF100 质量流量控制器技术之上，PC100 系列特有高纯度全金属流路，专门设计的增强传感器技术以消除传感器漂移，以及用户界面和设备诊断能力，可使设备评价和故障排除更容易，产生有限的维修中断和减少停机时间。

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PC100 系列数据表

特点

  • 响应时间：<1 秒
  • 满量程流速高达 10 slm
  • 传感器压力范围：1000 Torr FS
  • 全金属密封流路：5µ 英寸 Ra 表面抛光
  • PC125 使用嵌入式流量计，包括与高速 ARM 处理器结合在一起的高耐腐蚀性 Hastelloy® C-22 流量传感器
  • 快速作用无隔膜阀组件
  • 带有易接近按钮的高可视性 LCD 显示屏，用于流量、温度和网络地址本地指示
  • 独立的诊断/维护端口
  • DeviceNet™ 协议

优势

  • 高性能部件可提供快速响应和设置时间以改进压力控制
  • 减少旁通排气气体消耗以及相关减排成本
  • 遵从 SEMI F20 的全金属耐腐蚀接液流路与整体减少的表面积及未波及体积一起确保在清洗步骤更快干透
  • 长期热或压力传感器设备稳定性最大限度提高产量和吞吐量
  • 用于要求缓慢上升压力控制过程的用户可编程启动功能

应用

  • 半导体高级蚀刻工具
  • 薄膜化学气相沉积系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
  • 物理气相沉积（PVD）系统
{1F295648-8F02-4CB1-9CDF-88EBBA5382A5}
产品类型
Pressure Controller
{4E5FEAE0-D850-4C40-B132-0F558FAAB63A}
区别

Control Mode: Downstream or Upstream

Ultra-High Purity

Digital Pressure Control

{1E77F782-55E2-4D8D-8516-2D3E24D1F5AE}
性能
{EBFA0A0A-3B9B-437B-AEAE-5D064E59D8BE}
流量范围-满量程容量

10 slm (N2 or H2 only)

{CB3889BC-A2BE-4951-AC6C-7D6B17269372}
精度

Pressure Reading: ± 1% of reading

Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S.

Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S

{6E1E9F1C-5174-437E-8556-0ACF1984C4DA}
重复性

< ±0.2% F.S.

{3D67A3EF-67C3-4836-A6D8-3416ABE14B50}
温度系数

Zero: < 0.05% F.S./°C

Span: < 0.08% of reading/°C

{BC52041F-E6E9-45FD-919E-3EB374FED1B4}
最大压力

1000 Torr FS

{59A3993D-AD07-4548-A7E5-767AC39E2529}
压力控制范围

> 2 to 100%

{96A8F9D9-4C0E-4EFA-B1C2-512C3DC4D5CC}
响应时间-常闭

< 1 sec typ. (excluding system time constant)

{C4A5CCCC-0CFC-4FF7-BDC0-AFC7BD16EC5B}
温度范围
10 - 50°C
{06A13040-4CE2-460E-AB6D-0A2C9445EF31}
漏率

External: 1 x 10-10 atm scc/sec He max

{37EF911C-5AB2-41E6-BDAA-0E5546E2429E}
机械
{04647A1A-77D1-48E5-94C0-4C345575D054}
密封材料
Metal
{E2F8F805-5FB4-44D6-BDB9-A2BCD08CF825}
纯净等级

5 µ inch Ra

{5FE329ED-7253-468D-9BFF-4F336F85BAA8}
接液材料

SEMI F20 HP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

{A6C13564-F3F4-471D-8513-B10CE67199BC}
阀门

Normally Closed

{9087A477-4469-499E-AD0B-2A74CD529E1C}
电气
{B0432B84-4C46-443F-8E01-8EFFF1A638D3}
诊断能力
Available

{341B13DE-D3FE-44E9-89FB-EFDD9BE856F3}
模拟通讯

—

{C271A315-618F-4564-AC87-AD3EF24F8AAF}
数字通讯

DeviceNet™

{F5DAA319-818A-4B18-A962-970AAE88CB6B}
电气连接

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

{A793B5B6-6477-433B-9416-B30E562055A5}
电源-功耗

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc

{950A2A75-EF73-4614-97EE-6B825856F986}
承诺
{94A26102-AF48-4FDF-A2EF-344FA253289B}
电磁兼容性

EC Directive 2014/30/EU

CE: EN61326-1: 2013

{83C59269-0EAD-42B1-BA1D-8AE95AC04833}
符合环保要求

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

PC115 PC125
区别

Control Mode: Downstream and Upstream

Embedded Thermal Flow Sensor: No

Control Mode: Downstream

Embedded Thermal Flow Sensor: Yes

流量范围-满量程容量

20 sccm - 5 slm (N2 and H2 only)

10 slm (N2 and H2 only)
压力控制范围

Downstream: >2 to 100%

Upstream: >15 to 100%*

*Assuming hard vacuum on the outlet and 150 Torr min DP to achieve max flow

>2 to 100%
最大压力

Transducer Pressure Range: 1000 Torr F.S.

Transducer Over Pressure Limit: 2 x F.S. range

Transducer Pressure Range: 1000 Torr F.S.

Transducer Over Pressure Limit: 2 x F.S. range
密封材料

Metal Seal

Metal Seal
电气连接

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector
文件名 文件类型 文档语言
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - PC100 Series pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English
0250 读数应用
0250 读数应用
Controls and powers up to 4 devices
Brooks Expert Support Tool (BEST)
Brooks Expert Support Tool (BEST)
A Windows™ based application providing expanded control of Brooks Instrument MFCs and Pressure Controllers.