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金属密封压力控制器

稳定的压力控制以及更高的过程气体纯度,最大限度优化处理效果

布鲁克斯仪器的金属密封压力控制器的设计特点是经久耐用,同时还具备持久和得到认可的准确性,全球液体测量和控制领域的领军企业用户均信赖布鲁克斯。我们的电子压力控制器将核心控制技术用于自身业内领先的热质量流量控制器。

电子压力控制器不存在传统机械弹簧式隔膜压力调节器所导致的衰减和滞后问题。同时,选择金属密封压力控制器可提高气体纯度,原因是此类控制器不使用会发生氧渗透的弹性体,并且金属密封件能够减少维护次数可无限期使用。

另外还提供带有内部压力传感器的布鲁克斯压力控制器以在 torr 级至 500 psig 范围内进行压力控制。结果:能够始终确保关键半导体工艺准确执行并得到最严格控制的压力控制器。

关键应用

  • 硅材料半导体器件制造工艺 – 蚀刻、剥膜、CVD、ALD、PVD、Epi、扩散、植入和 RTP
  • 化合物半导体器件加工工艺 – MOCVD
  • 设计精密的表面涂层
  • 分析系统
  • 真空处理应用

选择最适合自身项目要求的压力控制设备。

产品

SLA7840
SLA7840
PC100 系列
PC100 系列
产品类型

Pressure Controller & Flow Meter

Pressure Controller
区别

Control Mode: Downstream or Upstream

Remote Transducer

Wide Flow & Pressure Range

Control Mode: Downstream or Upstream

Ultra-High Purity

Digital Pressure Control

压力控制范围

20:1

> 2 to 100%

流量范围-满量程容量

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

10 slm (N2 or H2 only)

精度

±1% of rate 20-100% F.S.

±0.2% F.S. < 20% F.S.

Pressure Reading: ± 1% of reading

Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S.

Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S

响应时间-常闭

< 1 sec typical for a 20-100% setpoint step with max 2% overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

< 1 sec typ. (excluding system time constant)

重复性

±0.2% of rate

< ±0.2% F.S.

密封材料 Metal Metal
纯净等级

32 µ inch Ra

5 µ inch Ra

诊断能力 Available

Available

模拟通讯

0 - 5 Vdc

数字通讯 DeviceNet™

DeviceNet™