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产品 压力和真空产品 CMC 系列

CMC 系列电容压力计

经认证的紧凑型非加热式计量仪表，可提供经济有效的真空度测量
型号 CMC

布鲁克斯仪器的 CMC 系列电容压力计能够在各种工作温度范围下可靠、准确地进行真空度测量，是经济实惠的优质大型非加热式计量仪表替代产品。该产品采用紧凑型设计并具有经认证的性能，非常适用于因需要减少仪表占用空间而对现有测量工具进行升级的客户。

产品采用全接液设计和 Iconel® 接液表面技术，即使在最激烈的过程条件下也可确保实现可靠的可重复操作。布鲁克斯仪器将精密组件和宽温度补偿工作范围相结合提供了一流的零点性能和跨温度系数从而能够确保最佳测量稳定性。

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CMC 系列数据表

特点

  • 适用于 10 Torr - 1000 Torr 过程真空度范围
  • 有两种精度水平可供选择：读数的 0.25% 或 0.50%（可选）
  • 在各种工作温度下均具有出色的性能
  • 相较于传统非加热式电容压力计体积小 40%
  • 全焊接结构和 Inconel® 接液表面

优势

  • 可选择具有高精度校准功能的选件以满足昂贵的优质非加热式压力计对精度的要求
  • 一流的零点性能和跨温度系数
  • 节省空间的设计有助于器件适配有限的设备空间
  • 相较于易于发生故障（包括内部应力）的其他设计，拥有最佳的测量结果重现性

应用

  • 超导体制造
  • 薄膜沉积工艺 – 玻璃、网格和光学涂层
  • 冻干易腐材料
  • 适用于医疗仪器的高科技涂层（手术仪器、牙钻等）
产品类型
Capacitance Manometer
区别

Unheated

性能
温度
Ambient
压力范围

10, 20, 50, 100 and 1000 Torr Full Scale

精度

Type A = 0.25% of Reading

Type B = 0.50% of Reading

测量范围
4 Decades
温度效应

On Zero

0.002% FS / °C

 

On Span

0.027% FS / °C

机械
裸露材料
Inconel
超压极限
45 psia
大小
Compact
电气
模拟通讯

0-10 Vdc (<10k Ohm load)

数字通讯

—

电气连接

15-Pin DSub on 6” cable

9-Pin DSub

5-Pin terminal strip

电源-功耗
< 200 mW
认证和批准
电磁兼容性

CE

Directive 89/336/EEC

符合环保要求

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

CMC
温度 Ambient
压力范围 10, 20, 50, 100 and 1000 Torr Full Scale
精度

±0.25% of reading

±0.50% of reading (optional)
模拟通讯 0 - 10 Vdc
数字通讯 —
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