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压力和真空产品
附件和软件 Cables, Filters, Valves, Secondary Electronics, Software
质量流量控制器和仪表
汽化产品
可变面积流量计(转子流量计)
半导体产品 Ultra-high purity products for the semiconductor industry
布鲁克斯仪器的 CMC 系列电容压力计能够在各种工作温度范围下可靠、准确地进行真空度测量,是经济实惠的优质大型非加热式计量仪表替代产品。该产品采用紧凑型设计并具有经认证的性能,非常适用于因需要减少仪表占用空间而对现有测量工具进行升级的客户。
产品采用全接液设计和 Iconel® 接液表面技术,即使在最激烈的过程条件下也可确保实现可靠的可重复操作。布鲁克斯仪器将精密组件和宽温度补偿工作范围相结合提供了一流的零点性能和跨温度系数从而能够确保最佳测量稳定性。
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Unheated
10, 20, 50, 100 and 1000 Torr Full Scale
Type A = 0.25% of Reading
Type B = 0.50% of Reading
On Zero
0.002% FS / °C
On Span
0.027% FS / °C
0-10 Vdc (<10k Ohm load)
—
15-Pin DSub on 6” cable
9-Pin DSub
5-Pin terminal strip
CE
Directive 89/336/EEC
RoHS Directive (2011/65/EU)
REACH Directive EC 1907/2006
±0.25% of reading
±0.50% of reading (optional)