电容压力计

先进的压力计技术可为您提供持久的测量精度保障

每种真空室工艺均需要精确的 Torr 水平保障以维持目标过程效率。布鲁克斯仪器的电容压力计采用行业领先的高级传感器设计,能够提升测量可靠性、最大限度减少漂移、耐隔膜污染并能够使热效应最小化并且由于布鲁克斯电容压力计产品均为全数字化设备,因此在宽动态范围内具有极高的精度。结果表明布鲁克斯电容压力计系列产品非常可靠,适用于各种真空度测量应用。

关键应用

  • 超导体制造
  • 薄膜沉积工艺 – 玻璃、网格和光学涂层
  • 冻干易腐材料
  • 适用于医疗仪器的高科技涂层(手术仪器、牙钻等)

选择最适合自身项目要求的电容压力计。

CMC 系列
CMC 系列
XacTorr® 系列
XacTorr® 系列
产品类型 Capacitance Manometer Capacitance Manometer
区别

Unheated

Heated or Unheated

Analog or Digital

 

压力范围

10, 20, 50, 100 and 1000 Torr Full Scale

0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr

mBar & Pascal References Available

精度

Type A = 0.25% of Reading

Type B = 0.50% of Reading

CMX0: 0.25% of Reading

CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading

CMX1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading

温度 Ambient

CMX0 Ambient

CMX1 45°C

CMX2 100°C

CMX3 160°C

模拟通讯

0-10 Vdc (<10k Ohm load)

0-10 Vdc 5k Ohm load
数字通讯

DeviceNet™

RS485

大小 Compact Large