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5866RT 弹性体密封压力控制器和流量计

功能丰富,适用于各种流量测量范围的高压应用
布鲁克斯 5866RT 型金属或弹性体密封压力控制器和流量计能够控制压力并测量流速。5866RT 型可接收远程压力传感器信号并利用可调节的积分式 PID 控制电子元件和控制阀,将压力维持在目标值。凭借着密封选件、电抛光接液表面以及较宽的压力和流量测定范围,5866RT 型设备可为各种工艺提供可靠的测量结果。

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5866RT 数据表

特点

  • 一体化压力传感器
  • 响应时间:<0.8 秒
  • 流量测量范围宽,满量程流速测量范围可达 0 - 3 sccm 至 0 – 30,000 sccm
  • 满量程压力测量范围宽(最大压力可达 1500 psig)
  • 可以使用选配的金属密封件
  • 电抛光接液表面(可选)
  • 电致动阀复位
  • 适用于阀前或阀后控制
  • 模拟接口

优势

  • 消除衰减、滞后和提升现象
  • 高泄漏完整性
  • 更好地控制压力和流量
  • 可通过顶部安装的 DIP 开关进行动态精细调节

应用

  • 薄膜加工
  • 化工研究
  • 石化研究
  • 实验室
  • 燃料电池
  • 生命科学
产品类型

Pressure Controller & Flow Meter

区别

Remote Transducer

Pressure Control & Flow Measurement

性能
流量范围-满量程容量

Any range 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

精度

Flow Accuracy:

 ±1% F.S. including linearity at the calibration conditions

±1.5% F.S. for flow rates greater than 20 slm

重复性

±0.25% of rate

温度系数

0.1% F.S. per °C

压力范围
Dependent upon remote pressure transducer
压力控制范围

100:1 for a remote transducer with a 0-10 V output

响应时间-常闭

Pressure Response Time:

< 0.8 sec typical for a 0-100% command step with <2% pressure overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

等级
最大压力
1500 psig
温度范围
0 - 65°C
漏率

Inboard to Outboard

Metal Seal: 1 x 10-10 atm cc/sec He max 

Elastomer Seal: 1 x 10-9 atm cc/sec He max

机械
密封材料
Elastomer or Metal
接液材料

Wetted Parts: Standard 316L/316L VAR Stainless Steel

Valve Seat: Standard Viton® fluoroelastomers or metal

External/Internal Seals: flouroelastomers or metal

Optional: Buna-N, Teflon® or Kalrez®

阀门

Normally Closed

Normally Open

No Valve (elastomer, upstream configuration only)

电气
模拟通讯

0-5 V

数字通讯

电气连接

15-Pin "D" Connector

电源-功耗

Normally Closed: 3.5 watts; +15 Vdc (±5%) @ 35 mA, -15 Vdc (±5%) @ 180 mA

Normally Open: 10.5 watts; ±15 Vdc (±5%) @ 350 mA

诊断能力

承诺
认证和批准
电磁兼容性

EMC Directive 89/336/EEC EN 61326-1

大小

Compact

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Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English