5866RT 弹性体密封压力控制器和流量计

功能丰富,适用于各种流量测量范围的高压应用
型号 5866RT
布鲁克斯 5866RT 型金属或弹性体密封压力控制器和流量计能够控制压力并测量流速。5866RT 型可接收远程压力传感器信号并利用可调节的积分式 PID 控制电子元件和控制阀,将压力维持在目标值。凭借着密封选件、电抛光接液表面以及较宽的压力和流量测定范围,5866RT 型设备可为各种工艺提供可靠的测量结果。

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5866RT 数据表

特点

  • 一体化压力传感器
  • 响应时间:<0.8 秒
  • 流量测量范围宽,满量程流速测量范围可达 0 - 3 sccm 至 0 – 30,000 sccm
  • 满量程压力测量范围宽(最大压力可达 1500 psig)
  • 可以使用选配的金属密封件
  • 电抛光接液表面(可选)
  • 电致动阀复位
  • 适用于阀前或阀后控制
  • 模拟接口

优势

  • 消除衰减、滞后和提升现象
  • 高泄漏完整性
  • 更好地控制压力和流量
  • 可通过顶部安装的 DIP 开关进行动态精细调节

应用

  • 薄膜加工
  • 化工研究
  • 石化研究
  • 实验室
  • 燃料电池
  • 生命科学
{D2D139DD-5602-4B58-9816-25FFE744D4D2}
产品类型

Pressure Controller & Flow Meter

{AB310584-3FE7-492D-87CA-96108F8ACCDF}
区别

Remote Transducer

Pressure Control & Flow Measurement

{AC33C19D-CFED-4FB8-8E50-870657C2CD34}
性能
{8C385242-2566-4FAF-A740-01D5753AE0CB}
流量范围-满量程容量

Any range 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

{08A3432B-4DED-4156-B139-A2361485EF48}
精度

Flow Accuracy:

 ±1% F.S. including linearity at the calibration conditions

±1.5% F.S. for flow rates greater than 20 slm

{6F0AB09C-1A49-4DC0-8512-252CD22D1870}
重复性

±0.25% of rate

{2837365E-D2B2-4A0A-84A1-F8C582730702}
温度系数

0.1% F.S. per °C

{3D3D1079-6B71-4B0B-BF34-010288E854F1}
压力范围
Dependent upon remote pressure transducer
{278FF35E-6127-41EC-AE62-6E0126D40545}
压力控制范围

100:1 for a remote transducer with a 0-10 V output

{5C802199-C60E-48B1-81A4-7A451FE08512}
响应时间-常闭

Pressure Response Time:

< 0.8 sec typical for a 0-100% command step with <2% pressure overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

{0E296DA0-3B2A-4E8F-BD53-2D1131E5AA17}
等级
{301DB8E0-77F0-4BDE-BD73-B077EB51A5D1}
最大压力
1500 psig
{26581697-E249-4174-856A-3DBDFC3C8AFC}
温度范围
0 - 65°C
{57A38ACC-F9BA-4DB6-9C9F-4EEA1F910994}
漏率

Inboard to Outboard

Metal Seal: 1 x 10-10 atm cc/sec He max 

Elastomer Seal: 1 x 10-9 atm cc/sec He max

{0B30E349-72C2-4CB6-9FCE-9D9D120184DD}
机械
{83A68B74-F525-48A8-9301-7DD6422EC59C}
密封材料
Elastomer or Metal
{15593491-CF95-4382-9688-9ECD63B16425}
接液材料

Wetted Parts: Standard 316L/316L VAR Stainless Steel

Valve Seat: Standard Viton® fluoroelastomers or metal

External/Internal Seals: flouroelastomers or metal

Optional: Buna-N, Teflon® or Kalrez®

{E0F2EAA4-5466-434E-B0BD-32C52BD57E48}
阀门

Normally Closed

Normally Open

No Valve (elastomer, upstream configuration only)

{40380015-2DC3-4133-8676-AFA8CA6CC046}
电气
{D3FC93D9-109E-439D-A6CC-46CE2439E047}
模拟通讯

0-5 V

{DE54BDDB-3F43-4DA7-B0C0-F868F79C8A08}
数字通讯

{C8DC96A5-70A5-4B4D-8B4F-A7EFA8D1B0E2}
电气连接

15-Pin "D" Connector

{85136DED-F0BB-4E6E-8A95-A88EAF9B891C}
电源-功耗

Normally Closed: 3.5 watts; +15 Vdc (±5%) @ 35 mA, -15 Vdc (±5%) @ 180 mA

Normally Open: 10.5 watts; ±15 Vdc (±5%) @ 350 mA

{A61CB646-C77E-48AD-B21D-276E5047C8BC}
诊断能力

{D240032C-F212-4DA6-8F89-3CC7C65700C3}
承诺
{FB7B9B2B-6544-4FB5-B8DC-2BC43F0C6C84}
认证和批准
{A73C4D47-2310-42D5-9311-E43935397925}
电磁兼容性

EMC Directive 89/336/EEC EN 61326-1

{7F34FD08-D7D8-4BA7-95A1-A1530DCE90A8}
大小

Compact

5866RT
流量范围-满量程容量

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

压力控制范围

100:1 for a remote transducer with a 0-10 V output

最大压力

1500 psig

密封材料

Elastomer or Metal Seal

电气连接

15-Pin "D" Connector

文件名 文件类型 文档语言
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English